Шашырататын вакуумдық жабын - бұл материалдың жұқа қабықшаларын негізге жағу үшін қолданылатын құрылғы. Бұл процесс әдетте жартылай өткізгіштерді, күн батареяларын және оптикалық және электрондық қолданбаларға арналған әртүрлі жабын түрлерін өндіруде қолданылады. Оның қалай жұмыс істейтіні туралы негізгі шолу:
1. Вакуумдық камера: Ластануды азайту және тұндыру процесін жақсы бақылауға мүмкіндік беру үшін процесс вакуумдық камераның ішінде жүреді.
2. Нысаналы материал: Түсірілетін материал нысана деп аталады. Ол вакуумдық камераның ішіне орналастырылады.
3. Негіз: Негіз – жұқа қабықша салынатын материал. Ол сондай-ақ вакуумдық камераның ішіне орналастырылады.
4. Плазманың пайда болуы: Камераға инертті газ, әдетте аргон, енгізіледі. Нысанаға жоғары кернеу беріліп, плазма (еркін электрондар мен иондардан тұратын зат күйі) пайда болады.
5. Шашырату: Плазма иондары нысана материалымен соқтығысып, нысанадан атомдарды немесе молекулаларды құлатады. Содан кейін бұл бөлшектер вакуум арқылы өтіп, негізге түсіп, жұқа қабықша түзеді.
6.Басқару: Пленканың қалыңдығы мен құрамын нысанаға берілетін қуат, инертті газдың қысымы және шашырату процесінің ұзақтығы сияқты параметрлерді реттеу арқылы дәл басқаруға болады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 12 шілде