O le sputtering vacuum coater o se masini e fa'aaogaina e fa'aputu ai ni ata manifinifi o meafaitino i luga o se substrate. O lenei faiga e masani ona fa'aaogaina i le gaosiga o semiconductors, solar cells, ma ituaiga eseese o ufiufi mo fa'aoga opitika ma eletise. O se aotelega fa'avae lea o le auala e galue ai:
1. Potu e Fa'amamā ai Mea: O le fa'agasologa e faia i totonu o se potu e fa'amamā ai mea e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina ma fa'ataga ai le pulea lelei o le fa'agasologa o le fa'aputuina.
2. Meafaitino Fa'amoemoe: O mea e fa'aputuina e ta'ua o le sini. E tu'u lea mea i totonu o le potu e fa'amamā ai le ea.
3. Substrate: O le substrate o le mea lea o le a fa'apipi'i i ai le ata manifinifi. E tu'u fo'i i totonu o le potu e fa'amama ai le ea.
4. Fa'atupuina o le Plasma: O se kasa e le gaoioi, e masani lava o le argon, e fa'aofiina i totonu o le potu. O se voltage maualuga e fa'aoga i le sini, ma fausia ai se plasma (o se tulaga o mea e aofia ai electrons saoloto ma ions).
5. Sputtering: E feto'ai ions mai le plasma ma le mea o lo'o fa'amoemoeina, ma pa'ū ese ai atoms po'o molecules mai le mea o lo'o fa'amoemoeina. Ona malaga lea o nei vaega i totonu o le vacuum ma fa'aputu i luga o le substrate, ma fausia ai se ata manifinifi.
6. Pulea: O le mafiafia ma le tuufaatasiga o le ata tifaga e mafai ona pulea lelei e ala i le fetuunaʻi o parakalafa e pei o le mana e faʻaaoga i le sini, le mamafa o le kesi inert, ma le umi o le faagasologa o le sputtering.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Iulai-12-2024