ເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດແບບສະເປຣເຕີຣິງ ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ເພື່ອວາງຟິມບາງໆຂອງວັດສະດຸລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຂະບວນການນີ້ມັກຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນໍາ, ແຜງແສງອາທິດ, ແລະ ການເຄືອບປະເພດຕ່າງໆສໍາລັບການນໍາໃຊ້ທາງດ້ານແສງ ແລະ ເອເລັກໂຕຣນິກ. ນີ້ແມ່ນພາບລວມພື້ນຖານຂອງວິທີການເຮັດວຽກຂອງມັນ:
1. ຫ້ອງສູນຍາກາດ: ຂະບວນການດັ່ງກ່າວເກີດຂຶ້ນພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ ແລະ ອະນຸຍາດໃຫ້ມີການຄວບຄຸມຂະບວນການວາງຊັ້ນໄດ້ດີຂຶ້ນ.
2. ວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ: ວັດສະດຸທີ່ຈະຝາກແມ່ນເອີ້ນວ່າເປົ້າໝາຍ. ອັນນີ້ຖືກວາງໄວ້ພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ.
3. ຊັ້ນຮອງພື້ນ: ຊັ້ນຮອງພື້ນແມ່ນວັດສະດຸທີ່ຈະວາງຟິມບາງໆໄວ້. ມັນຍັງຖືກວາງໄວ້ພາຍໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ.
4. ການສ້າງພລາສມາ: ອາຍແກັສທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ, ໂດຍປົກກະຕິແມ່ນອາກອນ, ຖືກນຳເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ. ແຮງດັນໄຟຟ້າສູງຖືກນຳໃຊ້ກັບເປົ້າໝາຍ, ສ້າງພລາສມາ (ສະຖານະຂອງສານທີ່ປະກອບດ້ວຍເອເລັກຕຣອນ ແລະ ໄອອອນອິດສະຫຼະ).
5. ການສະເປເຕີຣິງ: ໄອອອນຈາກພລາສມາຊົນກັບວັດສະດຸເປົ້າໝາຍ, ເຮັດໃຫ້ອະຕອມ ຫຼື ໂມເລກຸນຕົກອອກຈາກເປົ້າໝາຍ. ອະນຸພາກເຫຼົ່ານີ້ຈະເດີນທາງຜ່ານສູນຍາກາດ ແລະ ຕົກໃສ່ຊັ້ນຮອງພື້ນ, ປະກອບເປັນຟິມບາງໆ.
6. ການຄວບຄຸມ: ຄວາມໜາ ແລະ ສ່ວນປະກອບຂອງຟິມສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນໂດຍການປັບຕົວກໍານົດການຕ່າງໆເຊັ່ນ: ພະລັງງານທີ່ໃຊ້ກັບເປົ້າໝາຍ, ຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສ inert, ແລະ ໄລຍະເວລາຂອງຂະບວນການ sputtering.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 12 ກໍລະກົດ 2024