Tüýkürýän vakuum örtük, inçe materiallary substrata goýmak üçin ulanylýan enjam. Bu amal adatça ýarymgeçirijileri, gün öýjüklerini we optiki we elektroniki goşundylar üçin dürli görnüşli örtükleri öndürmekde ulanylýar. Ine, onuň işleýşine esasy syn:
1.Wakuum palatasy: Hapalanmagy azaltmak we çöketlik prosesine has gowy gözegçilik etmek üçin wakuum kamerasynyň içinde bolup geçýär.
2. Maksat materialy: Goýuljak material nyşana diýilýär. Bu wakuum kamerasynyň içinde ýerleşdirildi.
3.Substrate: Substrat inçe filmiň goýuljak materialydyr. Wakuum kamerasynyň içinde hem ýerleşdirilýär.
4.Plazma öndürmek: Otaga inert gaz, adatça argon girizilýär. Plazma (erkin elektronlardan we ionlardan ybarat materiýa ýagdaýy) döredip, nyşana ýokary naprýa .eniýe ulanylýar.
5.Sputtering: Plazmadaky ionlar maksatly material bilen çaknyşýar, atomlary ýa-da molekulalary nyşana kakýar. Soňra bu bölejikler wakuumdan geçip, substrata goýýarlar we inçe film emele getirýärler.
6.Kontrol: Filmiň galyňlygy we düzümi nyşana ulanylýan güýç, inert gazynyň basyşy we tüýkürmek prosesiniň dowamlylygy ýaly parametrleri sazlamak arkaly takyk dolandyrylyp bilner.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýul-12-2024