Optiki örtükleriň iş akymy, adatça, aşakdaky esasy ädimleri öz içine alýar: öňünden işläp bejermek, örtüklemek, plýonkany gözegçilik etmek we sazlamak, sowadmak we aýyrmak. Anyk proses enjamyň görnüşine (meselem, buharlandyryjy örtük, püskürtme örtügi we ş.m.) we örtük prosesine (meselem, bir gatlakly plýonka, köp gatlakly plýonka we ş.m.) baglylykda üýtgeşik bolup biler, ýöne umuman, optiki örtük prosesi takmynan aşakdaky ýaly:
Ilki bilen, taýýarlyk tapgyry
Optiki bölekleri arassalamak we taýýarlamak:
Örtükden öň, optiki bölekleri (linzalar, süzgüçler, optiki aýna we ş.m.) doly arassalamak gerek. Bu ädim örtügiň hilini üpjün etmegiň esasydyr. Köp ulanylýan arassalamak usullaryna ultrases arassalamak, duzlamak, bug bilen arassalamak we ş.m. girýär.
Arassa optiki elementler, adatça, örtük maşynynyň aýlanýan enjamyna ýa-da gysgyç ulgamyna ýerleşdirilýär, bu bolsa olaryň örtük prosesinde durnukly galmagyny üpjün edýär.
Wakuum kamerasynyň öňünden işlenilmegi:
Optiki elementi örtük maşynyna goýmazdan öň, örtük kamerasy belli bir derejede wakuum derejesine çenli pompalanmalydyr. Wakuum gurşawy howadaky hapaçylyklary, kislorody we suw buguny netijeli aýyryp, olaryň örtük materialy bilen reaksiýa girmeginiň öňüni alyp, plýonkanyň arassalygyny we hilini üpjün edip biler.
Umuman, örtük kamerasy ýokary wakuum (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Pa) ýa-da orta wakuum (10⁻³ - 10⁻⁴ Pa) gazanmaly.
Ikinjiden, örtük prosesi
Başlangyç örtük çeşmesi:
Örtük çeşmesi, adatça, buharlanma çeşmesi ýa-da püskürme çeşmesidir. Örtük prosesine we materialyna görä dürli örtük çeşmeleri saýlanar.
Bugaryş çeşmesi: Örtük materialy elektron şöhle bugaryjy ýa-da garşylykly gyzdyryjy bugaryjy ýaly gyzdyryjy enjam arkaly bugaryş ýagdaýyna çenli gyzdyrylýar, şonuň üçin onuň molekulalary ýa-da atomlary bugaryp, wakuumda optiki elementiň ýüzüne çökýär.
Püskürme çeşmesi: Ýokary woltly tok ulanmak arkaly nyşana ionlar bilen çaknyşýar we nyşanadaky atomlary ýa-da molekulalary püskürdýär, olar bolsa optiki elementiň ýüzüne düşüp, plýonka emele getirýär.
Film materiallaryny ýerleşdirmek:
Wakuum gurşawynda örtülen material çeşmeden (meselem, bugaryş çeşmesinden ýa-da nyşanadan) bugarýar ýa-da püskürýär we optik elementiň ýüzüne ýuwaş-ýuwaşdan çökýär.
Plýonka gatlagynyň birmeňzeş, üznüksiz we dizaýn talaplaryna laýyk gelmegini üpjün etmek üçin çökdürme tizligini we plýonkanyň galyňlygyny takyk gözegçilikde saklamak gerek. Çökdürme wagtyndaky parametrler (tok, gaz akymy, temperatura we ş.m. ýaly) plýonkanyň hiline gönüden-göni täsir eder.
Plenkanyň gözegçiligi we galyňlygyny gözegçilik etmek:
Örtük prosesinde, plýonkanyň galyňlygy we hili adatça real wagt režiminde gözegçilik edilýär we köplenç ulanylýan gözegçilik gurallary kwars kristal mikrobalans (QCM) ** we plýonkanyň çökme tizligini we galyňlygyny takyk anyklap bilýän beýleki sensorlardyr.
Bu gözegçilik maglumatlaryna esaslanyp, ulgam örtük çeşmesiniň güýji, gaz akymynyň tizligi ýa-da komponentiň aýlanma tizligi ýaly parametrleri awtomatiki usulda sazlap, plýonka gatlagynyň yzygiderliligini we deňligini saklap bilýär.
Köp gatlakly plýonka (gerek bolsa):
Köp gatlakly gurluş talap edýän optiki bölekler üçin örtük prosesi adatça gatlak-gatlak ýerine ýetirilýär. Her gatlak ýerleşdirilenden soň, ulgam her bir gatlagyň hiliniň dizaýn talaplaryna laýyk gelýändigini üpjün etmek üçin gaýta-gaýta plýonka galyňlygyny anyklaýar we sazlaýar.
Bu proses her gatlagyň belli bir tolkun uzynlygy aralygynda şöhlelenme, geçirijilik ýa-da päsgelçilik ýaly funksiýalary ýerine ýetirip bilmegini üpjün etmek üçin her gatlagyň galyňlygynyň we material görnüşiniň takyk gözegçiligini talap edýär.
Üçünjiden, sowadyň we aýryň
CD:
Örtük tamamlanandan soň, optika we örtgü maşyny sowatmaly. Örtük prosesinde enjamlar we bölekler gyzyp bilýändigi sebäpli, termal zyýanyň öňüni almak üçin olary sowadyjy suw ýa-da howa akymy ýaly sowadyjy ulgam arkaly otagyň temperaturasyna çenli sowatmaly.
Käbir ýokary temperaturaly örtük proseslerinde sowadyş diňe bir optiki elementi goraman, eýsem plýonkanyň iň gowy ýelmeşmegine we durnuklylygyna ýetmegine hem mümkinçilik berýär.
Optiki elementi aýyryň:
Sowadyş tamamlanandan soň, optiki elementi örtük maşynyndan aýryp bolýar.
Çykarmazdan öň, örtügiň hiliniň talaplara laýyk gelýändigine göz ýetirmek üçin örtügiň täsirini, şol sanda plýonka gatlagynyň deňligini, plýonkanyň galyňlygyny, ýelmeşmegini we ş.m. barlamak zerurdyr.
4. Post-işleýiş (isleg boýunça)
Filmiň berklenmegi:
Käwagt örtülen plýonkanyň dyrnaklanma garşylygyny we berkligini ýokarlandyrmak üçin ony berkitmeli bolýar. Bu adatça ýylylyk bilen işlemek ýa-da ultramelewşe şöhlelenme ýaly usullar bilen amala aşyrylýar.
Plýonkany arassalamak:
Plýonkanyň ýüzünden hapa maddalary, ýaglary ýa-da beýleki hapa maddalary aýyrmak üçin kiçi arassalamak işlerini, mysal üçin, arassalamak, ultrases bilen işlemek we ş.m. geçirmek zerur bolup biler.
5. Hil barlagy we synag
Optiki öndürijilik synagy: Örtük tamamlanandan soň, tehniki talaplara laýyk gelýändigine göz ýetirmek üçin optiki bölekde birnäçe öndürijilik synaglary geçirilýär, şol sanda ýagtylyk geçirijiligi, şöhle şöhlelendirijiligi, plýonkanyň birmeňzeşligi we ş.m.
Ýelimleşme synagy: Lenta synagy ýa-da dyrnak synagy arkaly plýonka bilen substratyň arasyndaky ýelmeşmäniň berkdigini barlaň.
Daşky gurşawyň durnuklylygyny synagdan geçirmek: Käwagt örtük gatlagynyň amaly ulanylyşlarda ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin temperatura, çyglylyk we ultramelewşe şöhle ýaly daşky gurşaw şertlerinde durnuklylyk synagyny geçirmek zerur bolýar.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 24-nji ýanwary