Optik örtüklərin iş axını adətən aşağıdakı əsas addımları əhatə edir: əvvəlcədən emal, örtükləmə, film monitorinqi və tənzimlənməsi, soyutma və çıxarılması. Xüsusi proses avadanlığın növündən (məsələn, buxarlanma örtüyü, püskürtmə örtüyü və s.) və örtük prosesindən (məsələn, tək qatlı film, çox qatlı film və s.) asılı olaraq dəyişə bilər, lakin ümumiyyətlə, optik örtükləmə prosesi təxminən aşağıdakı kimidir:
Birincisi, hazırlıq mərhələsi
Optik komponentlərin təmizlənməsi və hazırlanması:
Örtükdən əvvəl optik komponentlər (məsələn, linzalar, filtrlər, optik şüşə və s.) hərtərəfli təmizlənməlidir. Bu addım örtüyün keyfiyyətini təmin etmək üçün əsasdır. Tez-tez istifadə olunan təmizləmə üsullarına ultrasəs təmizləmə, turşulama, buxarla təmizləmə və s. daxildir.
Təmiz optik elementlər, adətən, örtükləmə prosesi zamanı sabit qalmalarını təmin etmək üçün örtük maşınının fırlanan cihazına və ya sıxma sisteminə yerləşdirilir.
Vakuum kamerasının əvvəlcədən işlənməsi:
Optik elementi örtük maşınına yerləşdirməzdən əvvəl, örtük kamerası müəyyən dərəcədə vakuuma qədər pompalanmalıdır. Vakuum mühiti havadakı çirkləri, oksigeni və su buxarını effektiv şəkildə təmizləyə, onların örtük materialı ilə reaksiyaya girməsinin qarşısını ala və filmin saflığını və keyfiyyətini təmin edə bilər.
Ümumiyyətlə, örtük kamerası yüksək vakuum (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Pa) və ya orta vakuum (10⁻³ - 10⁻⁴ Pa) əldə etməlidir.
İkincisi, örtük prosesi
Başlanğıc örtük mənbəyi:
Örtük mənbəyi adətən buxarlanma və ya püskürmə mənbəyidir. Örtük prosesinə və materialına görə müxtəlif örtük mənbələri seçiləcək.
Buxarlanma mənbəyi: Örtük materialı elektron şüa buxarlandırıcısı və ya müqavimət qızdırıcı buxarlandırıcısı kimi istilik cihazı istifadə edərək buxarlanma vəziyyətinə qədər qızdırılır ki, onun molekulları və ya atomları buxarlansın və optik elementin səthində vakuumda çöksün.
Püskürmə mənbəyi: Yüksək gərginlik tətbiq etməklə hədəf ionlarla toqquşur və hədəfin atomlarını və ya molekullarını püskürdür, bunlar isə optik elementin səthində bir təbəqə əmələ gətirmək üçün çökür.
Film materialının çökdürülməsi:
Vakuum mühitində örtüklü material bir mənbədən (məsələn, buxarlanma mənbəyi və ya hədəf) buxarlanır və tədricən optik elementin səthinə çökür.
Film təbəqəsinin vahid, davamlı və dizayn tələblərinə cavab verməsini təmin etmək üçün çökmə sürəti və film qalınlığı dəqiq şəkildə idarə olunmalıdır. Çökmə zamanı parametrlər (məsələn, cərəyan, qaz axını, temperatur və s.) filmin keyfiyyətinə birbaşa təsir edəcəkdir.
Film monitorinqi və qalınlığa nəzarət:
Örtük prosesində filmin qalınlığı və keyfiyyəti adətən real vaxt rejimində izlənilir və tez-tez istifadə olunan monitorinq vasitələri kvars kristal mikrobalans (QCM) ** və filmin çökmə sürətini və qalınlığını dəqiq aşkar edə bilən digər sensorlardır.
Bu monitorinq məlumatlarına əsasən, sistem örtük mənbəyinin gücü, qaz axını sürəti və ya komponentin fırlanma sürəti kimi parametrləri avtomatik olaraq tənzimləyə bilər ki, film təbəqəsinin tutarlılığını və vahidliyini qorusun.
Çoxqatlı film (lazım olduqda):
Çoxqatlı struktur tələb edən optik komponentlər üçün örtük prosesi adətən təbəqə-təbəqə aparılır. Hər təbəqənin çökdürülməsindən sonra sistem hər bir təbəqənin keyfiyyətinin dizayn tələblərinə cavab verdiyini təmin etmək üçün təkrarlanan təbəqə qalınlığının aşkarlanması və tənzimlənməsi aparacaq.
Bu proses, hər bir təbəqənin müəyyən bir dalğa uzunluğu diapazonunda əks olunma, ötürmə və ya müdaxilə kimi funksiyaları yerinə yetirə bilməsini təmin etmək üçün hər bir təbəqənin qalınlığına və material növünə dəqiq nəzarət tələb edir.
Üçüncüsü, soyudun və çıxarın
CD:
Örtük tamamlandıqdan sonra optika və örtük maşını soyudulmalıdır. Avadanlıq və komponentlər örtük prosesi zamanı qıza bildiyindən, istilik zədələnməsinin qarşısını almaq üçün onları soyutma suyu və ya hava axını kimi soyutma sistemi ilə otaq temperaturuna qədər soyutmaq lazımdır.
Bəzi yüksək temperaturlu örtük proseslərində soyutma yalnız optik elementi qorumur, həm də filmin optimal yapışma və sabitliyə nail olmasına imkan verir.
Optik elementi çıxarın:
Soyuma tamamlandıqdan sonra, optik element örtük maşınından çıxarıla bilər.
Çıxarmazdan əvvəl, örtük keyfiyyətinin tələblərə cavab verdiyini təmin etmək üçün örtük təsirini, o cümlədən film təbəqəsinin vahidliyini, film qalınlığını, yapışmanı və s. yoxlamaq lazımdır.
4. Sonradan emal (isteğe bağlı)
Filmin sərtləşməsi:
Bəzən örtüklü filmin cızıqlara qarşı müqavimətini və davamlılığını artırmaq üçün bərkidilməlidir. Bu, adətən istilik emalı və ya ultrabənövşəyi şüalanma kimi vasitələrlə həyata keçirilir.
Film təmizlənməsi:
Filmin səthindən çirkləndiriciləri, yağları və ya digər çirkləri təmizləmək üçün təmizləmə, ultrasəs müalicəsi və s. kimi kiçik təmizləmə işləri aparmaq lazım ola bilər.
5. Keyfiyyət yoxlaması və sınaqdan keçirilməsi
Optik performans testi: Kaplama tamamlandıqdan sonra, texniki tələblərə cavab verdiyini təmin etmək üçün optik komponent üzərində işığın ötürülməsi, əks etdirmə, filmin vahidliyi və s. daxil olmaqla bir sıra performans testləri aparılır.
Yapışma testi: Bant testi və ya cızıq testi ilə film və substrat arasındakı yapışmanın güclü olub olmadığını yoxlayın.
Ətraf mühitin stabilliyi testi: Bəzən örtük təbəqəsinin praktik tətbiqlərdə etibarlılığını təmin etmək üçün temperatur, rütubət və ultrabənövşəyi işıq kimi ətraf mühit şəraitində stabillik testi aparmaq lazımdır.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 24 Yanvar 2025