Ang daloy ng trabaho ng mga optical coater ay karaniwang kinabibilangan ng mga sumusunod na pangunahing hakbang: pretreatment, coating, pagsubaybay at pagsasaayos ng film, pagpapalamig at pag-alis. Ang partikular na proseso ay maaaring mag-iba depende sa uri ng kagamitan (tulad ng evaporation coater, sputtering coater, atbp.) at proseso ng coating (tulad ng single layer film, multilayer film, atbp.), ngunit sa pangkalahatan, ang proseso ng optical coating ay humigit-kumulang ganito:
Una, ang yugto ng paghahanda
Paglilinis at paghahanda ng mga optical component:
Bago ang pagpapatong, ang mga bahaging optikal (tulad ng mga lente, filter, salamin na optikal, atbp.) ay kailangang linisin nang lubusan. Ang hakbang na ito ang batayan para matiyak ang kalidad ng patong. Ang mga karaniwang ginagamit na paraan ng paglilinis ay kinabibilangan ng ultrasonic cleaning, pickling, steam cleaning, at iba pa.
Ang mga malilinis na elementong optikal ay karaniwang inilalagay sa umiikot na aparato o sistema ng pag-clamping ng makinang patong upang matiyak na mananatili ang mga ito nang matatag habang nasa proseso ng patong.
Paggamot bago ang vacuum chamber:
Bago ilagay ang optical element sa coating machine, kailangang bombahin ang coating chamber sa isang tiyak na antas ng vacuum. Ang vacuum environment ay epektibong makapag-aalis ng mga dumi, oxygen, at singaw ng tubig sa hangin, mapipigilan ang mga ito sa pag-react sa coating material, at matitiyak ang kadalisayan at kalidad ng film.
Sa pangkalahatan, ang coating chamber ay kailangang makamit ang isang mataas na vacuum (10⁻⁵ hanggang 10⁻⁶ Pa) o isang katamtamang vacuum (10⁻³ hanggang 10⁻⁴ Pa).
Pangalawa, ang proseso ng patong
Pinagmulan ng panimulang patong:
Ang pinagmumulan ng patong ay karaniwang pinagmumulan ng singaw o pinagmumulan ng pag-aalab. Iba't ibang pinagmumulan ng patong ang pipiliin ayon sa proseso at materyal ng patong.
Pinagmumulan ng pagsingaw: Ang materyal na patong ay pinainit sa isang estado ng pagsingaw gamit ang isang aparato sa pag-init, tulad ng isang electron beam evaporator o isang resistance heating evaporator, upang ang mga molekula o atomo nito ay sumingaw at madeposito sa ibabaw ng optical element sa isang vacuum.
Pinagmumulan ng sputtering: Sa pamamagitan ng paglalapat ng mataas na boltahe, ang target ay bumabangga sa mga ion, na nagbubuga palabas ng mga atomo o molekula ng target, na idineposito sa ibabaw ng optical element upang bumuo ng isang pelikula.
Pagdeposito ng materyal na pelikula:
Sa isang vacuum na kapaligiran, ang pinahiran na materyal ay sumingaw o bumubulwak mula sa isang pinagmumulan (tulad ng pinagmumulan ng pagsingaw o target) at unti-unting nadedeposito sa ibabaw ng optical element.
Ang bilis ng pagdedeposito at kapal ng pelikula ay kailangang tumpak na kontrolin upang matiyak na ang patong ng pelikula ay pare-pareho, tuluy-tuloy, at nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Ang mga parametro habang nagdedeposito (tulad ng kuryente, daloy ng gas, temperatura, atbp.) ay direktang makakaapekto sa kalidad ng pelikula.
Pagsubaybay sa pelikula at pagkontrol ng kapal:
Sa proseso ng patong, ang kapal at kalidad ng pelikula ay karaniwang minomonitor sa totoong oras, at ang mga karaniwang ginagamit na kagamitan sa pagsubaybay ay ang quartz crystal microbalance (QCM) ** at iba pang mga sensor, na maaaring tumpak na matukoy ang deposition rate at kapal ng pelikula.
Batay sa mga datos na ito sa pagsubaybay, awtomatikong maaaring isaayos ng sistema ang mga parametro tulad ng lakas ng pinagmumulan ng patong, ang bilis ng daloy ng gas o ang bilis ng pag-ikot ng bahagi upang mapanatili ang pagkakapare-pareho at pagkakapare-pareho ng layer ng pelikula.
Pelikulang maraming patong (kung kinakailangan):
Para sa mga optical component na nangangailangan ng multilayer structure, ang proseso ng patong ay karaniwang isinasagawa nang patong-patong. Pagkatapos ng paglalagay ng bawat patong, ang sistema ay magsasagawa ng paulit-ulit na pagtukoy at pagsasaayos ng kapal ng pelikula upang matiyak na ang kalidad ng bawat patong ng pelikula ay nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo.
Ang prosesong ito ay nangangailangan ng tumpak na kontrol sa kapal at uri ng materyal ng bawat patong upang matiyak na ang bawat patong ay maaaring magsagawa ng mga tungkulin tulad ng repleksyon, transmisyon o interference sa isang partikular na saklaw ng wavelength.
Pangatlo, palamigin at alisin
CD:
Pagkatapos makumpleto ang patong, kailangang palamigin ang optika at ang makinang patong. Dahil maaaring uminit ang kagamitan at mga bahagi habang isinasagawa ang proseso ng patong, kailangan itong palamigin sa temperatura ng silid sa pamamagitan ng isang sistema ng pagpapalamig, tulad ng tubig na pampalamig o daloy ng hangin, upang maiwasan ang pinsala mula sa init.
Sa ilang proseso ng patong na may mataas na temperatura, ang paglamig ay hindi lamang pinoprotektahan ang optical element, kundi nagbibigay-daan din sa pelikula na makamit ang pinakamainam na pagdikit at katatagan.
Alisin ang optical element:
Pagkatapos makumpleto ang paglamig, maaaring tanggalin ang optical element mula sa coating machine.
Bago alisin, kinakailangang suriin ang epekto ng patong, kabilang ang pagkakapareho ng layer ng pelikula, kapal ng pelikula, pagdikit, atbp., upang matiyak na natutugunan ng kalidad ng patong ang mga kinakailangan.
4. Pagproseso pagkatapos ng pagproseso (opsyonal)
Pagpapatigas ng pelikula:
Minsan, kailangang patigasin ang pinahiran na pelikula upang mapabuti ang resistensya sa gasgas at tibay nito. Karaniwan itong ginagawa sa pamamagitan ng mga paraan tulad ng heat treatment o ultraviolet radiation.
Paglilinis ng pelikula:
Upang maalis ang mga kontaminante, langis, o iba pang dumi mula sa ibabaw ng pelikula, maaaring kailanganing magsagawa ng maliliit na paglilinis, tulad ng paglilinis, ultrasonic treatment, atbp.
5. Inspeksyon at pagsubok sa kalidad
Pagsubok sa pagganap ng optika: Pagkatapos makumpleto ang patong, isang serye ng mga pagsubok sa pagganap ang isinasagawa sa optical component, kabilang ang light transmittance, reflectivity, film uniformity, atbp., upang matiyak na natutugunan nito ang mga teknikal na kinakailangan.
Pagsubok sa pagdikit: Sa pamamagitan ng pagsubok sa teyp o pagsubok sa gasgas, suriin kung malakas ang pagdikit sa pagitan ng pelikula at ng substrate.
Pagsubok sa katatagan ng kapaligiran: Minsan kinakailangang magsagawa ng pagsubok sa katatagan sa ilalim ng mga kondisyon sa kapaligiran tulad ng temperatura, halumigmig, at ultraviolet light upang matiyak ang pagiging maaasahan ng patong ng patong sa mga praktikal na aplikasyon.
–Inilabas ang artikulong ito nitagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng pag-post: Enero 24, 2025