Tsarin aikin fenti mai rufe ido yawanci ya haɗa da manyan matakai kamar haka: kafin a fara aiki, shafa, sa ido kan fim da daidaitawa, sanyaya da cirewa. Tsarin na iya bambanta dangane da nau'in kayan aiki (kamar fenti mai ƙafewa, fenti mai rufe ido, da sauransu) da kuma tsarin shafa (kamar fim mai layi ɗaya, fim mai layi da yawa, da sauransu), amma gabaɗaya, tsarin shafa ido yana kama da haka:
Da farko, matakin shiri
Tsaftacewa da shirya kayan gani:
Kafin a shafa, ana buƙatar a tsaftace kayan gani (kamar ruwan tabarau, matattara, gilashin gani, da sauransu). Wannan mataki shine tushen tabbatar da ingancin murfin. Hanyoyin tsaftacewa da aka fi amfani da su sun haɗa da tsaftacewa ta ultrasonic, tsinken tsinkewa, tsaftace tururi da sauransu.
Yawanci ana sanya abubuwan gani masu tsabta a kan na'urar juyawa ko tsarin mannewa na na'urar shafa don tabbatar da cewa za su iya kasancewa cikin kwanciyar hankali yayin aikin shafa.
Kafin a yi wa injin tsabtace iska magani:
Kafin a sanya sinadarin gani a cikin injin shafawa, ana buƙatar a tura ɗakin shafawa zuwa wani mataki na injin tsaftacewa. Yanayin injin tsaftacewa zai iya cire ƙazanta, iskar oxygen da tururin ruwa a cikin iska yadda ya kamata, ya hana su yin aiki da kayan shafawa, da kuma tabbatar da tsarki da ingancin fim ɗin.
Gabaɗaya, ɗakin rufewa yana buƙatar samun injin tsabtace iska mai ƙarfi (10⁻⁵ zuwa 10⁻⁶ Pa) ko kuma injin tsabtace iska mai matsakaicin ƙarfi (10⁻³ zuwa 10⁻⁴ Pa).
Na biyu, tsarin shafa
Tushen fara shafa:
Tushen shafa yawanci tushen ƙafewa ne ko kuma tushen sputtering. Za a zaɓi hanyoyin shafa daban-daban gwargwadon tsarin shafa da kayan.
Tushen Tururi: Ana dumama kayan shafa zuwa yanayin tururi ta amfani da na'urar dumamawa, kamar na'urar fitar da iskar lantarki ko na'urar fitar da iskar dumama mai juriya, ta yadda ƙwayoyin halittarsa ko atom ɗinsa za su ƙafe kuma su kasance a saman abin da ke cikin na'urar a cikin injin tsabtace iska.
Tushen Sputtering: Ta hanyar amfani da babban ƙarfin lantarki, abin da ake so ya yi karo da ions, yana fitar da ƙwayoyin halitta ko ƙwayoyin da ake so, waɗanda aka ajiye a saman abin da ke cikin na'urar gani don samar da fim.
Takardar shaidar kayan fim:
A cikin yanayi mai tsabta, kayan da aka rufe suna ƙafewa ko kuma suna fitowa daga tushe (kamar tushen ƙafewa ko manufa) kuma a hankali suna faɗuwa a saman sinadarin gani.
Ya kamata a daidaita yawan ajiyar fim ɗin da kauri don tabbatar da cewa layin fim ɗin ya kasance iri ɗaya, mai ci gaba, kuma ya cika buƙatun ƙira. Sigogi yayin ajiyar (kamar kwararar iskar gas, zafin jiki, da sauransu) za su shafi ingancin fim ɗin kai tsaye.
Kula da kauri da kuma sa ido kan fim:
A tsarin shafa fim ɗin, yawanci ana sa ido kan kauri da ingancin fim ɗin a ainihin lokaci, kuma kayan aikin sa ido da aka fi amfani da su sune ma'aunin microbalance na quartz crystal (QCM) ** da sauran na'urori masu auna sigina, waɗanda za su iya gano daidai adadin ajiyar fim ɗin da kauri.
Dangane da waɗannan bayanan sa ido, tsarin zai iya daidaita sigogi ta atomatik kamar ƙarfin tushen rufi, saurin kwararar iskar gas ko saurin juyawa na kayan don kiyaye daidaito da daidaiton layin fim ɗin.
Fim ɗin Layer mai yawa (idan ana buƙata):
Ga kayan gani da ke buƙatar tsarin layuka da yawa, yawanci ana yin aikin shafa shafi ne a layi-layi. Bayan an ajiye kowanne layi, tsarin zai yi maimaita gano kauri da daidaitawa don tabbatar da ingancin kowane layi na fim ɗin ya cika buƙatun ƙira.
Wannan tsari yana buƙatar cikakken iko na kauri da nau'in kayan kowane layi don tabbatar da cewa kowane layi zai iya yin ayyuka kamar tunani, watsawa ko tsangwama a cikin takamaiman kewayon tsawon rai.
Na uku, a kwantar a cire
CD:
Bayan an gama shafa, ana buƙatar sanyaya na'urorin gani da na'urar shafa. Tunda kayan aiki da abubuwan da ke ciki na iya yin zafi yayin aikin shafa, ana buƙatar sanyaya su zuwa zafin ɗaki ta hanyar tsarin sanyaya, kamar ruwan sanyaya ko iska, don hana lalacewar zafi.
A wasu hanyoyin shafa mai zafi, sanyaya ba wai kawai tana kare abin gani ba ne, har ma tana ba fim ɗin damar samun mannewa da kwanciyar hankali mafi kyau.
Cire kayan gani:
Bayan an gama sanyaya, ana iya cire sinadarin gani daga injin rufewa.
Kafin a cire, ya zama dole a duba tasirin murfin, gami da daidaiton layin fim ɗin, kauri na fim ɗin, mannewa, da sauransu, don tabbatar da ingancin murfin ya cika buƙatun.
4. Bayan sarrafawa (zaɓi ne)
Taurarewar fim:
A wasu lokutan ana buƙatar a taurare fim ɗin da aka rufe don inganta juriyar karce da dorewar fim ɗin. Yawanci ana yin hakan ta hanyoyi kamar maganin zafi ko hasken ultraviolet.
Tsaftace fim:
Domin cire gurɓatattun abubuwa, mai ko wasu ƙazanta daga saman fim ɗin, yana iya zama dole a yi ƙaramin tsaftacewa, kamar tsaftacewa, maganin ultrasonic, da sauransu.
5. Dubawa da gwaji mai inganci
Gwajin Aikin Haske: Bayan an kammala shafa fenti, ana gudanar da gwaje-gwajen aiki a kan kayan gani, gami da watsa haske, haskakawa, daidaiton fim, da sauransu, don tabbatar da cewa ya cika buƙatun fasaha.
Gwajin mannewa: Ta hanyar gwajin tef ko gwajin karce, duba ko mannewar da ke tsakanin fim ɗin da substrate tana da ƙarfi.
Gwajin daidaiton muhalli: Wani lokaci yana da mahimmanci a gudanar da gwajin daidaito a ƙarƙashin yanayin muhalli kamar zafin jiki, danshi, da hasken ultraviolet don tabbatar da ingancin layin rufin a aikace.
– An fitar da wannan labarin ne dagainjin shafa injin injinGuangdong Zhenhua
Lokacin Saƙo: Janairu-24-2025