Alur kerja palapis optik biasana ngawengku léngkah-léngkah utama ieu: perlakuan awal, palapis, pangawasan sareng panyesuaian pilem, pendinginan sareng panyabutan. Prosés khusus tiasa bénten-bénten gumantung kana jinis alat (sapertos palapis penguapan, palapis sputtering, jsb.) sareng prosés palapis (sapertos pilem lapisan tunggal, pilem multilapis, jsb.), tapi sacara umum, prosés palapis optik sakitar sapertos kieu:
Mimitina, tahap persiapan
Beberesih sareng persiapan komponén optik:
Sateuacan dilapis, komponén optik (sapertos lénsa, saringan, kaca optik, jsb.) kedah dibersihkeun sacara saksama. Léngkah ieu mangrupikeun dasar pikeun mastikeun kualitas palapis. Métode beberesih anu umum dianggo kalebet beberesih ultrasonik, pengawetan, beberesih uap sareng sajabana.
Élémen optik anu bersih biasana disimpen dina alat anu muter atanapi sistem penjepit mesin palapis pikeun mastikeun yén éta tiasa tetep stabil salami prosés palapis.
Perawatan awal ruang vakum:
Sateuacan nempatkeun élémen optik kana mesin palapis, ruang palapis kedah dipompa dugi ka tingkat vakum anu tangtu. Lingkungan vakum tiasa sacara efektif miceun kokotor, oksigén sareng uap cai dina hawa, nyegah aranjeunna tina réaksi sareng bahan palapis, sareng mastikeun kamurnian sareng kualitas pilem.
Sacara umum, rohangan palapis kedah ngahontal vakum anu luhur (10⁻⁵ dugi ka 10⁻⁶ Pa) atanapi vakum sedeng (10⁻³ dugi ka 10⁻⁴ Pa).
Kadua, prosés palapis
Sumber palapis awal:
Sumber palapis biasana sumber penguapan atanapi sumber semburan. Sumber palapis anu béda bakal dipilih numutkeun prosés palapis sareng bahanna.
Sumber penguapan: Bahan palapis dipanaskeun kana kaayaan penguapan nganggo alat pemanas, sapertos evaporator sinar éléktron atanapi evaporator pemanas résistansi, supados molekul atanapi atomna nguap sareng diendapkeun dina permukaan unsur optik dina vakum.
Sumber percikan: Ku cara nerapkeun tegangan anu luhur, target tabrakan sareng ion, nyemburkeun atom atanapi molekul target, anu diendapkeun dina permukaan unsur optik pikeun ngabentuk pilem.
Déposisi bahan pilem:
Dina lingkungan vakum, bahan anu dilapis nguap atanapi nyembur tina sumber (sapertos sumber penguapan atanapi target) teras laun-laun ngendap kana permukaan élémen optik.
Laju déposisi sareng ketebalan pilem kedah dikontrol sacara tepat pikeun mastikeun yén lapisan pilem seragam, kontinyu, sareng nyumponan sarat desain. Parameter salami déposisi (sapertos arus, aliran gas, suhu, jsb.) bakal langsung mangaruhan kualitas pilem.
Pemantauan pilem sareng kontrol ketebalan:
Dina prosés palapis, ketebalan sareng kualitas pilem biasana diawasi sacara real time, sareng alat pangawasan anu umum dianggo nyaéta mikrobalanse kristal kuarsa (QCM) ** sareng sénsor sanésna, anu tiasa sacara akurat ngadeteksi laju déposisi sareng ketebalan pilem.
Dumasar kana data pangawasan ieu, sistem tiasa sacara otomatis nyaluyukeun parameter sapertos kakuatan sumber palapis, laju aliran gas atanapi kecepatan rotasi komponén pikeun ngajaga konsistensi sareng keseragaman lapisan pilem.
Pilem multilayer (upami diperyogikeun):
Pikeun komponén optik anu meryogikeun struktur multilayer, prosés palapis biasana dilaksanakeun lapis demi lapis. Saatos pengendapan unggal lapisan, sistem bakal ngalaksanakeun deteksi sareng panyesuaian ketebalan pilem anu diulang-ulang pikeun mastikeun yén kualitas unggal lapisan pilem nyumponan sarat desain.
Prosés ieu meryogikeun kontrol anu tepat kana ketebalan sareng jinis bahan unggal lapisan pikeun mastikeun yén unggal lapisan tiasa ngalaksanakeun fungsi sapertos pantulan, transmisi atanapi gangguan dina rentang panjang gelombang anu khusus.
Katilu, tiiskeun teras angkat
CD:
Saatos palapis réngsé, optik sareng mesin palapis kedah didinginkan. Kusabab alat sareng komponén tiasa janten panas nalika prosés palapis, éta kedah didinginkan dugi ka suhu kamar ku sistem pendingin, sapertos cai pendingin atanapi aliran hawa, pikeun nyegah karusakan termal.
Dina sababaraha prosés palapis suhu luhur, pendinginan henteu ngan ukur ngajagi élémen optik, tapi ogé ngamungkinkeun pilem pikeun ngahontal adhesi sareng stabilitas anu optimal.
Cabut élémen optik:
Saatos niiskeun lengkep, élémen optik tiasa dicabut tina mesin palapis.
Sateuacan dikaluarkeun, perlu dipariksa heula pangaruh palapisna, kalebet keseragaman lapisan pilem, ketebalan pilem, adhesi, jsb., pikeun mastikeun yén kualitas palapis nyumponan sarat.
4. Pasca-pangolahan (opsional)
Pangerasan pilem:
Kadang-kadang pilem anu dilapis kedah dikuatkeun pikeun ningkatkeun résistansi goresan sareng daya tahan pilem. Ieu biasana dilakukeun ku cara sapertos perlakuan panas atanapi radiasi ultraviolét.
Pembersihan pilem:
Pikeun miceun kokotor, minyak, atanapi kokotor sanés tina permukaan pilem, panginten kedah dilakukeun beberesih minor, sapertos beberesih, perawatan ultrasonik, jsb.
5. Inspeksi sareng uji kualitas
Tés kinerja optik: Saatos palapis réngsé, sababaraha tés kinerja dilaksanakeun dina komponén optik, kalebet transmitansi cahaya, réfléksitivitas, keseragaman pilem, jsb., pikeun mastikeun yén éta nyumponan sarat téknis.
Tés adhesi: Ku uji pita atanapi uji goresan, pariksa naha adhesi antara pilem sareng substrat kuat.
Uji stabilitas lingkungan: Kadang-kadang perlu ngalaksanakeun uji stabilitas dina kaayaan lingkungan sapertos suhu, kalembaban, sareng sinar ultraviolét pikeun mastikeun reliabilitas lapisan palapis dina aplikasi praktis.
–Tulisan ieu dipedalkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktos posting: 24-Jan-2025