Ҷараёни кори рӯйпӯшкунакҳои оптикӣ одатан марҳилаҳои асосии зеринро дар бар мегирад: коркарди пешакӣ, рӯйпӯшкунӣ, назорат ва танзими плёнка, хунуккунӣ ва тозакунӣ. Раванди мушаххас вобаста ба намуди таҷҳизот (масалан, рӯйпӯшкунаки бухоркунӣ, рӯйпӯшкунаки пошидан ва ғайра) ва раванди рӯйпӯшкунӣ (масалан, плёнкаи якқабата, плёнкаи бисёрқабата ва ғайра) метавонад фарқ кунад, аммо умуман, раванди рӯйпӯшкунии оптикӣ тақрибан чунин аст:
Аввалан, марҳилаи омодагӣ
Тозакунӣ ва омодасозии ҷузъҳои оптикӣ:
Пеш аз пӯшиш, ҷузъҳои оптикӣ (ба монанди линзаҳо, филтрҳо, шишаи оптикӣ ва ғайра) бояд пурра тоза карда шаванд. Ин марҳила асоси таъмини сифати пӯшиш мебошад. Усулҳои маъмулан истифодашавандаи тозакунӣ тозакунии ултрасадоӣ, бодиринг, тозакунии буғӣ ва ғайраро дар бар мегиранд.
Унсурҳои оптикии тоза одатан дар дастгоҳи гардишкунанда ё системаи фишурдани мошини рӯйпӯшкунӣ ҷойгир карда мешаванд, то боварӣ ҳосил кунанд, ки онҳо дар раванди рӯйпӯшкунӣ устувор боқӣ мемонанд.
Пешкоркарди камераи вакуумӣ:
Пеш аз ҷойгир кардани унсури оптикӣ ба мошини рӯйпӯшкунӣ, камераи рӯйпӯшкунӣ бояд то дараҷаи муайяни вакуум пур карда шавад. Муҳити вакуумӣ метавонад ифлосӣ, оксиген ва буғи обро дар ҳаво самаранок тоза кунад, аз реаксияи онҳо бо маводи рӯйпӯш пешгирӣ кунад ва покӣ ва сифати плёнкаро таъмин намояд.
Умуман, камераи рӯйпӯш бояд ба вакууми баланд (аз 10 то 10 па) ё вакууми миёна (аз 10 то 10 па) ноил гардад.
Дуюм, раванди пӯшиш
Манбаи ибтидоии пӯшиш:
Манбаи пӯшиш одатан манбаи бухоршавӣ ё манбаи пошидани об мебошад. Вобаста ба раванд ва маводи пӯшиш, манбаъҳои гуногуни пӯшиш интихоб карда мешаванд.
Манбаи бухоршавӣ: Маводи рӯйпӯш бо истифода аз дастгоҳи гармкунӣ, ба монанди бухоркунандаи шуои электронӣ ё бухоркунандаи гармкунии муқовимат, то ҳолати бухоршавӣ гарм карда мешавад, то ки молекулаҳо ё атомҳои он бухор шуда, дар сатҳи унсури оптикӣ дар вакуум ҷойгир шаванд.
Манбаи пошидани нур: Бо истифода аз шиддати баланд, ҳадаф бо ионҳо бархӯрд мекунад ва атомҳо ё молекулаҳои ҳадафро пошида, дар сатҳи унсури оптикӣ ҷамъ шуда, плёнкаро ташкил медиҳад.
Ҷойгиркунии маводи филм:
Дар муҳити вакуумӣ, маводи пӯшонидашуда аз манбаъ (масалан, манбаи бухоршавӣ ё ҳадаф) бухор мешавад ё пошида, тадриҷан ба сатҳи унсури оптикӣ мечаспад.
Суръати таҳшиншавӣ ва ғафсии плёнка бояд дақиқ назорат карда шавад, то қабати плёнка яксон, пайваста ва ба талаботи тарроҳӣ ҷавобгӯ бошад. Параметрҳо ҳангоми таҳшиншавӣ (ба монанди ҷараён, ҷараёни газ, ҳарорат ва ғайра) мустақиман ба сифати плёнка таъсир мерасонанд.
Мониторинги филм ва назорати ғафсӣ:
Дар раванди пӯшиш, ғафсӣ ва сифати плёнка одатан дар вақти воқеӣ назорат карда мешавад ва асбобҳои маъмулан истифодашавандаи мониторинг микробаланси кристаллии кварс (QCM) ** ва дигар сенсорҳо мебошанд, ки метавонанд суръати таҳшиншавӣ ва ғафсии плёнкаро дақиқ муайян кунанд.
Бар асоси ин маълумоти мониторинг, система метавонад параметрҳо, аз қабили қувваи манбаи пӯшиш, суръати ҷараёни газ ё суръати гардиши ҷузъро ба таври худкор танзим кунад, то мувофиқат ва якрангии қабати плёнкаро нигоҳ дорад.
Плёнкаи бисёрқабата (агар лозим бошад):
Барои ҷузъҳои оптикие, ки сохтори бисёрқабата талаб мекунанд, раванди пӯшиш одатан қабат ба қабат анҷом дода мешавад. Пас аз гузоштани ҳар як қабат, система муайянкунии такрории ғафсии плёнка ва танзими онро анҷом медиҳад, то сифати ҳар як қабати плёнка ба талаботи тарроҳӣ мувофиқат кунад.
Ин раванд назорати дақиқи ғафсӣ ва намуди маводи ҳар як қабатро талаб мекунад, то боварӣ ҳосил шавад, ки ҳар як қабат метавонад вазифаҳоеро ба монанди инъикос, интиқол ё халал дар диапазони муайяни мавҷ иҷро кунад.
Сеюм, хунук кунед ва хориҷ кунед
CD:
Пас аз анҷоми рӯйпӯшкунӣ, оптика ва дастгоҳи рӯйпӯшкунӣ бояд хунук карда шаванд. Азбаски таҷҳизот ва ҷузъҳо метавонанд ҳангоми раванди рӯйпӯшкунӣ гарм шаванд, онҳо бояд то ҳарорати хонагӣ тавассути системаи хунуккунӣ, ба монанди оби хунуккунӣ ё ҷараёни ҳаво, хунук карда шаванд, то аз осеби гармӣ пешгирӣ карда шаванд.
Дар баъзе равандҳои пӯшиши ҳарорати баланд, хунуккунӣ на танҳо унсури оптикиро муҳофизат мекунад, балки ба плёнка имкон медиҳад, ки часпакӣ ва устувории оптималӣ ба даст орад.
Элементи оптикиро хориҷ кунед:
Пас аз анҷоми хунуккунӣ, унсури оптикиро аз мошини рӯйпӯшкунӣ хориҷ кардан мумкин аст.
Пеш аз гирифтан, зарур аст, ки таъсири пӯшишро, аз ҷумла якрангии қабати плёнка, ғафсии плёнка, часпидан ва ғайраро тафтиш кунед, то боварӣ ҳосил кунед, ки сифати пӯшиш ба талабот ҷавобгӯ аст.
4. Коркарди баъдӣ (ихтиёрӣ)
Сахтшавии филм:
Баъзан плёнкаи рӯйпӯшшударо барои беҳтар кардани муқовимат ба харошидан ва устувории он сахт кардан лозим аст. Ин одатан бо истифода аз усулҳо ба монанди коркарди гармӣ ё радиатсияи ултрабунафш анҷом дода мешавад.
Тозакунии плёнка:
Барои тоза кардани ифлоскунандаҳо, равғанҳо ё дигар ифлосиҳо аз сатҳи плёнка, шояд зарурати тозакунии ночиз, ба монанди тозакунӣ, коркарди ултрасадо ва ғайра, вуҷуд дошта бошад.
5. Санҷиши сифат ва озмоиш
Санҷиши самаранокии оптикӣ: Пас аз анҷоми рӯйпӯш, як қатор санҷишҳои самаранокӣ дар ҷузъи оптикӣ, аз ҷумла гузариши рӯшноӣ, инъикос, якрангии плёнка ва ғайра гузаронида мешаванд, то боварӣ ҳосил кунанд, ки он ба талаботи техникӣ ҷавобгӯ аст.
Санҷиши часпакӣ: Бо истифода аз санҷиши лента ё санҷиши харошидан, санҷед, ки оё часпакӣ байни плёнка ва субстрат қавӣ аст.
Санҷиши устувории муҳити зист: Баъзан зарур аст, ки санҷиши устуворӣ дар шароити муҳити зист, ба монанди ҳарорат, намӣ ва нури ултрабунафш, барои таъмини эътимоднокии қабати пӯшиш дар татбиқи амалӣ анҷом дода шавад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 24 январи соли 2025