Aliran kerja salutan optik biasanya merangkumi langkah-langkah utama berikut: prarawatan, salutan, pemantauan dan pelarasan filem, penyejukan dan penyingkiran. Proses khusus mungkin berbeza-beza bergantung pada jenis peralatan (seperti salutan penyejatan, salutan percikan, dll.) dan proses salutan (seperti filem lapisan tunggal, filem berbilang lapisan, dll.), tetapi secara amnya, proses salutan optik adalah seperti berikut:
Pertama, peringkat persediaan
Pembersihan dan penyediaan komponen optik:
Sebelum menyalut, komponen optik (seperti kanta, penapis, kaca optik, dll.) perlu dibersihkan dengan teliti. Langkah ini adalah asas untuk memastikan kualiti salutan. Kaedah pembersihan yang biasa digunakan termasuk pembersihan ultrasonik, penjerukan, pembersihan stim dan sebagainya.
Elemen optik bersih biasanya diletakkan pada peranti berputar atau sistem pengapit mesin salutan untuk memastikan ia kekal stabil semasa proses salutan.
Prarawatan ruang vakum:
Sebelum meletakkan elemen optik ke dalam mesin salutan, ruang salutan perlu dipam ke tahap vakum tertentu. Persekitaran vakum boleh menyingkirkan bendasing, oksigen dan wap air di udara dengan berkesan, menghalangnya daripada bertindak balas dengan bahan salutan, dan memastikan ketulenan dan kualiti filem.
Secara amnya, ruang salutan perlu mencapai vakum tinggi (10⁻⁵ hingga 10⁻⁶ Pa) atau vakum sederhana (10⁻³ hingga 10⁻⁴ Pa).
Kedua, proses salutan
Sumber salutan permulaan:
Sumber salutan biasanya sumber penyejatan atau sumber percikan. Sumber salutan yang berbeza akan dipilih mengikut proses dan bahan salutan.
Sumber penyejatan: Bahan salutan dipanaskan kepada keadaan penyejatan menggunakan peranti pemanasan, seperti penyejat alur elektron atau penyejat pemanasan rintangan, supaya molekul atau atomnya tersejat dan termendap pada permukaan elemen optik dalam vakum.
Sumber percikan: Dengan menggunakan voltan tinggi, sasaran bertembung dengan ion, lalu memancarkan atom atau molekul sasaran, yang termendap pada permukaan elemen optik untuk membentuk filem.
Pemendapan bahan filem:
Dalam persekitaran vakum, bahan bersalut menyejat atau terpercik dari sumber (seperti sumber penyejatan atau sasaran) dan secara beransur-ansur mendapan ke permukaan elemen optik.
Kadar pemendapan dan ketebalan filem perlu dikawal dengan tepat bagi memastikan lapisan filem seragam, berterusan dan memenuhi keperluan reka bentuk. Parameter semasa pemendapan (seperti arus, aliran gas, suhu, dll.) akan mempengaruhi kualiti filem secara langsung.
Pemantauan filem dan kawalan ketebalan:
Dalam proses salutan, ketebalan dan kualiti filem biasanya dipantau dalam masa nyata, dan alat pemantauan yang biasa digunakan ialah mikroimbangan kristal kuarza (QCM) ** dan sensor lain, yang boleh mengesan kadar pemendapan dan ketebalan filem dengan tepat.
Berdasarkan data pemantauan ini, sistem boleh melaraskan parameter seperti kuasa sumber salutan, kadar aliran gas atau kelajuan putaran komponen secara automatik untuk mengekalkan konsistensi dan keseragaman lapisan filem.
Filem berbilang lapisan (jika diperlukan):
Bagi komponen optik yang memerlukan struktur berbilang lapisan, proses salutan biasanya dijalankan lapisan demi lapisan. Selepas pemendapan setiap lapisan, sistem akan menjalankan pengesanan dan pelarasan ketebalan filem berulang kali untuk memastikan kualiti setiap lapisan filem memenuhi keperluan reka bentuk.
Proses ini memerlukan kawalan tepat terhadap ketebalan dan jenis bahan setiap lapisan bagi memastikan setiap lapisan boleh melaksanakan fungsi seperti pantulan, penghantaran atau gangguan dalam julat panjang gelombang tertentu.
Ketiga, sejukkan dan angkat
CD:
Selepas salutan selesai, optik dan mesin salutan perlu disejukkan. Memandangkan peralatan dan komponen boleh menjadi panas semasa proses salutan, ia perlu disejukkan ke suhu bilik oleh sistem penyejukan, seperti air penyejuk atau aliran udara, untuk mengelakkan kerosakan haba.
Dalam beberapa proses salutan suhu tinggi, penyejukan bukan sahaja melindungi elemen optik, tetapi juga membolehkan filem mencapai lekatan dan kestabilan yang optimum.
Tanggalkan elemen optik:
Selepas penyejukan selesai, elemen optik boleh dikeluarkan dari mesin salutan.
Sebelum dikeluarkan, perlu memeriksa kesan salutan, termasuk keseragaman lapisan filem, ketebalan filem, lekatan, dan sebagainya, untuk memastikan kualiti salutan memenuhi keperluan.
4. Pemprosesan pasca (pilihan)
Pengerasan filem:
Kadangkala filem bersalut perlu dikeraskan untuk meningkatkan rintangan calar dan ketahanan filem. Ini biasanya dilakukan melalui cara seperti rawatan haba atau sinaran ultraungu.
Pembersihan filem:
Untuk menghilangkan bahan cemar, minyak atau bendasing lain dari permukaan filem, mungkin perlu melakukan pembersihan kecil seperti pembersihan, rawatan ultrasonik, dsb.
5. Pemeriksaan dan pengujian kualiti
Ujian prestasi optik: Selepas salutan selesai, satu siri ujian prestasi dijalankan pada komponen optik, termasuk transmisi cahaya, pantulan, keseragaman filem, dan sebagainya, untuk memastikan ia memenuhi keperluan teknikal.
Ujian lekatan: Dengan ujian pita atau ujian calar, periksa sama ada lekatan antara filem dan substrat adalah kuat.
Ujian kestabilan persekitaran: Kadangkala perlu menjalankan ujian kestabilan di bawah keadaan persekitaran seperti suhu, kelembapan dan cahaya ultraungu untuk memastikan kebolehpercayaan lapisan salutan dalam aplikasi praktikal.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 24 Jan-2025