Оптикалык каптоочулардын жумуш агымы, адатта, төмөнкү негизги кадамдарды камтыйт: алдын ала иштетүү, каптоо, пленканы көзөмөлдөө жана жөндөө, муздатуу жана алып салуу. Белгилүү бир процесс жабдуулардын түрүнө (мисалы, буулантуу каптоочу, чачыратуу каптоочу ж.б.) жана каптоо процессине (мисалы, бир катмарлуу пленка, көп катмарлуу пленка ж.б.) жараша өзгөрүшү мүмкүн, бирок жалпысынан алганда, оптикалык каптоо процесси болжол менен төмөнкүдөй:
Биринчиден, даярдоо этабы
Оптикалык компоненттерди тазалоо жана даярдоо:
Каптоодон мурун, оптикалык компоненттерди (мисалы, линзалар, чыпкалар, оптикалык айнек ж.б.) кылдат тазалоо керек. Бул кадам каптоонун сапатын камсыз кылуунун негизи болуп саналат. Көп колдонулган тазалоо ыкмаларына ультраүн менен тазалоо, туздоо, буу менен тазалоо жана башкалар кирет.
Таза оптикалык элементтер, адатта, каптоо процессинде туруктуу бойдон калышын камсыз кылуу үчүн каптоочу машинанын айлануучу түзүлүшүнө же кысуучу системасына жайгаштырылат.
Вакуумдук камераны алдын ала иштетүү:
Оптикалык элементти каптоочу машинага салуудан мурун, каптоочу камера белгилүү бир деңгээлде вакуумга чейин сордурулушу керек. Вакуумдук чөйрө абадагы аралашмаларды, кычкылтекти жана суу буусун натыйжалуу кетирип, алардын каптоочу материал менен реакцияга киришине жол бербейт жана пленканын тазалыгын жана сапатын камсыздай алат.
Адатта, каптоо камерасы жогорку вакуумдукка (10⁻⁵дан 10⁻⁶ Пага чейин) же орточо вакуумдукка (10⁻³дан 10⁻⁴ Пага чейин) жетиши керек.
Экинчиден, каптоо процесси
Баштапкы каптоо булагы:
Каптоо булагы, адатта, буулануу же чачыратуу булагы болуп саналат. Каптоо процессине жана материалына жараша ар кандай каптоо булактары тандалып алынат.
Буулануу булагы: Каптоочу материал электрон нурунун бууланткычы же каршылык көрсөтүүчү ысытуучу бууланткыч сыяктуу жылытуучу түзүлүш аркылуу буулануучу абалга чейин ысытылат, ошентип анын молекулалары же атомдору бууланып, вакуумда оптикалык элементтин бетине чөкмөлөнөт.
Чачыранды булагы: жогорку чыңалуу колдонулганда, бута иондор менен кагылышып, анын атомдорун же молекулаларын чачыратып чыгарат, алар оптикалык элементтин бетине чөгүп, пленка пайда кылат.
Плёнка материалын жайгаштыруу:
Вакуумдук чөйрөдө капталган материал булактан (мисалы, буулануу булагынан же бутадан) бууланып же чачырап, акырындык менен оптикалык элементтин бетине чөгөт.
Плёнка катмарынын бирдей, үзгүлтүксүз жана долбоордун талаптарына жооп бериши үчүн, чөкмө ылдамдыгын жана плёнканын калыңдыгын так көзөмөлдөө керек. Чөкмө учурундагы параметрлер (мисалы, ток күчү, газ агымы, температура ж.б.) плёнканын сапатына түздөн-түз таасир этет.
Плёнканы көзөмөлдөө жана калыңдыгын көзөмөлдөө:
Каптоо процессинде пленканын калыңдыгы жана сапаты, адатта, реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөнөт, ал эми кеңири колдонулган мониторинг куралдары - кварц кристаллдарынын микробалансы (QCM) ** жана башка сенсорлор, алар пленканын чөкмө ылдамдыгын жана калыңдыгын так аныктай алат.
Бул мониторинг маалыматтарынын негизинде, система пленка катмарынын ырааттуулугун жана бирдейлигин сактоо үчүн каптоо булагынын кубаттуулугу, газ агымынын ылдамдыгы же компоненттин айлануу ылдамдыгы сыяктуу параметрлерди автоматтык түрдө тууралай алат.
Көп катмарлуу пленка (зарыл болсо):
Көп катмарлуу түзүлүштү талап кылган оптикалык компоненттер үчүн каптоо процесси адатта катмар-катмар жүргүзүлөт. Ар бир катмарды төшөгөндөн кийин, система ар бир катмардын сапаты долбоордун талаптарына жооп берерин камсыз кылуу үчүн пленканын калыңдыгын кайра-кайра аныктап жана тууралап турат.
Бул процесс ар бир катмардын белгилүү бир толкун узундугу диапазонунда чагылдыруу, өткөрүү же интерференция сыяктуу функцияларды аткара ала тургандыгын камсыз кылуу үчүн ар бир катмардын калыңдыгын жана материалдык түрүн так көзөмөлдөөнү талап кылат.
Үчүнчүдөн, муздатып, алып салыңыз
CD:
Каптоо аяктагандан кийин, оптиканы жана каптоо машинасын муздатуу керек. Каптоо процессинде жабдуулар жана компоненттер ысып кетиши мүмкүн болгондуктан, жылуулук бузулуусунун алдын алуу үчүн аларды муздатуучу суу же аба агымы сыяктуу муздатуу системасы менен бөлмө температурасына чейин муздатуу керек.
Кээ бир жогорку температурадагы каптоо процесстеринде муздатуу оптикалык элементти коргоп гана тим болбостон, пленканын оптималдуу адгезиясына жана туруктуулугуна жетишүүгө мүмкүндүк берет.
Оптикалык элементти алып салыңыз:
Муздатуу аяктагандан кийин, оптикалык элементти каптоочу машинадан алып салууга болот.
Алып салуудан мурун, каптоо сапаты талаптарга жооп берерин камсыз кылуу үчүн, каптоо эффектин, анын ичинде пленка катмарынын бирдейлигин, пленканын калыңдыгын, адгезиясын ж.б. текшерүү керек.
4. Кийинки иштетүү (милдеттүү эмес)
Плёнканын катууланышы:
Кээде капталган пленканын чийилүүгө туруктуулугун жана бышыктыгын жакшыртуу үчүн аны катуулатууга туура келет. Бул көбүнчө жылуулук менен иштетүү же ультрафиолет нурлануу сыяктуу каражаттар менен жасалат.
Плёнканы тазалоо:
Плёнканын бетинен булгоочу заттарды, майларды же башка кошулмаларды кетирүү үчүн, тазалоо, ультраүн менен иштетүү сыяктуу майда тазалоолорду жүргүзүү зарыл болушу мүмкүн.
5. Сапатты текшерүү жана сыноо
Оптикалык иштөө сыноосу: Каптоо аяктагандан кийин, оптикалык компоненттин техникалык талаптарга жооп берерин камсыз кылуу үчүн бир катар иштөө сыноолору, анын ичинде жарык өткөрүмдүүлүгү, чагылдырылышы, пленканын бирдейлиги ж.б. жүргүзүлөт.
Адгезия сыноосу: Пленка менен субстраттын ортосундагы адгезия күчтүүбү же жокпу, скотч сыноосу же тырмап текшерүү аркылуу текшериңиз.
Айлана-чөйрөнүн туруктуулугун текшерүү: Кээде каптоо катмарынын практикалык колдонмолордо ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн температура, нымдуулук жана ультрафиолет нуру сыяктуу айлана-чөйрө шарттарында туруктуулук сыноосун жүргүзүү зарыл.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2025-жылдын 24-январы