Оптикалық жабындардың жұмыс процесі әдетте келесі негізгі қадамдарды қамтиды: алдын ала өңдеу, жабу, пленканы бақылау және реттеу, салқындату және алып тастау. Нақты процесс жабдық түріне (мысалы, булану жабыны, шашырату жабыны және т.б.) және жабу процесіне (мысалы, бір қабатты пленка, көп қабатты пленка және т.б.) байланысты өзгеруі мүмкін, бірақ жалпы алғанда, оптикалық жабу процесі шамамен келесідей:
Біріншіден, дайындық кезеңі
Оптикалық компоненттерді тазалау және дайындау:
Жабу алдында оптикалық компоненттерді (мысалы, линзалар, сүзгілер, оптикалық әйнек және т.б.) мұқият тазалау қажет. Бұл қадам жабынның сапасын қамтамасыз етудің негізі болып табылады. Жиі қолданылатын тазалау әдістеріне ультрадыбыстық тазалау, маринадтау, бумен тазалау және т.б. жатады.
Таза оптикалық элементтер әдетте жабу процесінде тұрақты болып қалуын қамтамасыз ету үшін жабу машинасының айналмалы құрылғысына немесе қысқыш жүйесіне орналастырылады.
Вакуумдық камераны алдын ала өңдеу:
Оптикалық элементті жабын машинасына салмас бұрын, жабын камерасын белгілі бір дәрежеде вакуумға дейін айдау қажет. Вакуумдық орта ауадағы қоспаларды, оттегіні және су буын тиімді түрде кетіреді, олардың жабын материалымен әрекеттесуіне жол бермейді және пленканың тазалығы мен сапасын қамтамасыз етеді.
Әдетте, жабын камерасы жоғары вакуумға (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Па) немесе орташа вакуумға (10⁻³ - 10⁻⁴ Па) қол жеткізуі керек.
Екіншіден, қаптау процесі
Бастапқы жабын көзі:
Қаптау көзі әдетте булану көзі немесе шашыраңқы көз болып табылады. Қаптау процесі мен материалына байланысты әртүрлі жабын көздері таңдалады.
Булану көзі: Жабын материалы электронды сәулелі буландырғыш немесе кедергілі қыздыру буландырғышы сияқты қыздыру құрылғысын пайдаланып буландыру күйіне дейін қыздырылады, осылайша оның молекулалары немесе атомдары буланып, вакуумда оптикалық элементтің бетіне тұндырылады.
Шашыраңқылық көзі: Жоғары кернеуді қолдану арқылы нысана иондармен соқтығысады, нысананың атомдары немесе молекулалары шашырап шығады, олар оптикалық элементтің бетіне түсіп, қабықша түзеді.
Пленка материалын тұндыру:
Вакуумдық ортада жабынмен қапталған материал көзден (мысалы, булану көзінен немесе нысанадан) буланып немесе шашырап, оптикалық элементтің бетіне біртіндеп түседі.
Қабық қабатының біркелкі, үздіксіз және жобалау талаптарына сәйкес келуін қамтамасыз ету үшін тұндыру жылдамдығы мен қабықша қалыңдығын дәл бақылау қажет. Тұндыру кезіндегі параметрлер (мысалы, ток күші, газ ағыны, температура және т.б.) қабықшаның сапасына тікелей әсер етеді.
Пленканы бақылау және қалыңдығын бақылау:
Қаптау процесінде пленканың қалыңдығы мен сапасы әдетте нақты уақыт режимінде бақыланады, ал жиі қолданылатын бақылау құралдары - кварц кристалды микробаланс (QCM) ** және пленканың тұндыру жылдамдығы мен қалыңдығын дәл анықтай алатын басқа датчиктер.
Осы бақылау деректеріне сүйене отырып, жүйе пленка қабатының консистенциясы мен біркелкілігін сақтау үшін жабын көзінің қуаты, газ ағынының жылдамдығы немесе компоненттің айналу жылдамдығы сияқты параметрлерді автоматты түрде реттей алады.
Көп қабатты пленка (қажет болса):
Көп қабатты құрылымды қажет ететін оптикалық компоненттер үшін жабу процесі әдетте қабат-қабат жүзеге асырылады. Әрбір қабатты төсегеннен кейін, жүйе әр қабаттың сапасы жобалау талаптарына сәйкес келетініне көз жеткізу үшін пленка қалыңдығын бірнеше рет анықтайды және реттейді.
Бұл процесс әрбір қабаттың қалыңдығы мен материал түрін дәл бақылауды талап етеді, бұл әрбір қабаттың белгілі бір толқын ұзындығы диапазонында шағылысу, беру немесе интерференция сияқты функцияларды орындай алатынына көз жеткізу үшін қажет.
Үшіншіден, суытып, алып тастаңыз
CD:
Қаптау аяқталғаннан кейін, оптика мен жабын машинасын салқындату қажет. Жабдық пен компоненттер жабын жасау процесінде қызып кетуі мүмкін болғандықтан, термиялық зақымдануды болдырмау үшін оларды салқындату жүйесі, мысалы, су немесе ауа ағыны арқылы бөлме температурасына дейін салқындату қажет.
Кейбір жоғары температуралы жабын процестерінде салқындату оптикалық элементті қорғап қана қоймай, сонымен қатар пленканың оңтайлы адгезия мен тұрақтылыққа қол жеткізуіне мүмкіндік береді.
Оптикалық элементті алып тастаңыз:
Салқындату аяқталғаннан кейін, оптикалық элементті жабын машинасынан алып тастауға болады.
Алып тастамас бұрын, жабын сапасының талаптарға сай екеніне көз жеткізу үшін жабынның әсерін, соның ішінде пленка қабатының біркелкілігін, пленка қалыңдығын, адгезиясын және т.б. тексеру қажет.
4. Кейінгі өңдеу (міндетті емес)
Пленканың қатаюы:
Кейде жабыны бар пленканы сызаттарға төзімділігі мен беріктігін арттыру үшін қатайту қажет болады. Бұл әдетте термиялық өңдеу немесе ультракүлгін сәулелену сияқты әдістермен жасалады.
Пленканы тазалау:
Пленка бетінен ластаушы заттарды, майларды немесе басқа қоспаларды кетіру үшін тазалау, ультрадыбыстық өңдеу және т.б. сияқты шағын тазалау жұмыстарын жүргізу қажет болуы мүмкін.
5. Сапаны тексеру және сынау
Оптикалық өнімділік сынағы: Қаптау аяқталғаннан кейін, оптикалық компонент техникалық талаптарға сәйкес келетініне көз жеткізу үшін жарық өткізгіштігін, шағылыстыруды, пленканың біркелкілігін және т.б. қоса алғанда, бірқатар өнімділік сынақтары жүргізіледі.
Жабысу сынағы: Таспа сынағы немесе сызу сынағы арқылы пленка мен негіз арасындағы адгезияның берік екенін тексеріңіз.
Қоршаған ортаның тұрақтылығын тексеру: Кейде жабын қабатының практикалық қолданыстарда сенімділігін қамтамасыз ету үшін температура, ылғалдылық және ультракүлгін сәуле сияқты қоршаған орта жағдайларында тұрақтылықты тексеру қажет болады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 24 қаңтар