Usoro ọrụ nke mkpuchi anya na-agụnyekarị usoro ndị a: ọgwụgwọ tupu oge eruo, mkpuchi, nlekota na nhazi ihe nkiri, oyi na mwepụ. Usoro a kapịrị ọnụ nwere ike ịdị iche dabere na ụdị akụrụngwa (dịka mkpuchi evaporation, mkpuchi sputtering, wdg) na usoro mkpuchi (dịka ihe nkiri oyi akwa otu, ihe nkiri multilayer, wdg), mana n'ozuzu, usoro mkpuchi anya bụ ihe dịka ndị a:
Nke mbụ, usoro nkwadebe
Nhicha na nkwadebe nke ihe ndị dị n'ime anya:
Tupu e tinye ihe mkpuchi ahụ, a ga-asacha ihe ndị dị n'ime anya (dịka lensị, ihe nzacha, iko anya, wdg.) nke ọma. Nzọụkwụ a bụ ihe ndabere maka ijide n'aka na mkpuchi ahụ dị mma. Usoro nhicha a na-ejikarị eme ihe gụnyere nhicha ultrasonic, ịchacha ihe, nhicha uzuoku na ihe ndị ọzọ.
A na-etinyekarị ihe ndị dị ọcha dị ọcha na ngwaọrụ na-agbagharị agbagharị ma ọ bụ sistemụ njide nke igwe mkpuchi ahụ iji hụ na ha nwere ike ịnọgide na-eguzosi ike n'oge usoro mkpuchi ahụ.
Ọgwụgwọ tupu oge eruo nke oghere ikuku:
Tupu etinye ihe anya n'ime igwe mkpuchi ahụ, a ga-apịpụ ihe mkpuchi ahụ ruo n'ókè ụfọdụ nke oghere ikuku. Gburugburu ebe a na-ekpo ọkụ nwere ike iwepụ ihe ndị na-adịghị ọcha, ikuku oxygen na uzuoku mmiri n'ikuku nke ọma, gbochie ha imeghachi omume na ihe mkpuchi ahụ, ma hụ na ihe nkiri ahụ dị ọcha ma dị mma.
N'ozuzu, ụlọ mkpuchi ahụ kwesịrị inweta oghere dị elu (10⁻⁵ ruo 10⁻⁶ Pa) ma ọ bụ oghere dị ọkara (10⁻³ ruo 10⁻⁴ Pa).
Nke abụọ, usoro mkpuchi
Isi mmalite mkpuchi:
Isi iyi mkpuchi ahụ na-abụkarị isi iyi evaporation ma ọ bụ isi iyi sputtering. A ga-ahọrọ isi iyi mkpuchi dị iche iche dabere na usoro mkpuchi na ihe eji eme ya.
Isi iyi nke ikuku: A na-eji ngwa ọkụ, dị ka ihe na-ekpo ọkụ elektrọn ma ọ bụ ihe na-ekpo ọkụ na-eguzogide okpomọkụ, kpoo ihe mkpuchi ahụ ka ọ bụrụ ọnọdụ ikuku na-ekupụ, nke mere na molekul ma ọ bụ atọm ya na-ekupụ ma tinye ha n'elu ihe anya ahụ n'ime oghere ikuku.
Isi iyi nke na-agbawa agbawa: Site n'itinye voltaji dị elu, ihe mgbaru ọsọ ahụ na-adakọ na ion, na-agbapụta atọm ma ọ bụ molekul nke ihe mgbaru ọsọ ahụ, nke a na-etinye n'elu ihe anya iji mepụta ihe nkiri.
Ndekọ ihe e ji ekpuchi ihe nkiri:
N'ebe ikuku na-adịghị, ihe e ji kpuchie ya na-ekupụ ma ọ bụ na-agbapụta site na isi iyi (dịka isi iyi ikuku ma ọ bụ ihe mgbaru ọsọ) wee jiri nwayọọ nwayọọ na-abanye n'elu ihe anya ahụ.
Ọ dị mkpa ka a chịkwaa oke ihe e tinyere na ihe nkiri ahụ nke ọma iji hụ na ihe nkiri ahụ dị otu, na-aga n'ihu, ma na-emezu ihe achọrọ maka imewe ya. Ihe ndị a na-eme n'oge a na-etinye ihe (dịka ọkụ eletrik, mmiri gas, okpomọkụ, wdg) ga-emetụta àgwà ihe nkiri ahụ ozugbo.
Nlekota ihe nkiri na njikwa ọkpụrụkpụ:
N'ime usoro mkpuchi ahụ, a na-enyocha ọkpụrụkpụ na ịdị mma nke ihe nkiri ahụ n'oge dị adị, ngwaọrụ nlekota a na-ejikarị eme ihe bụ quartz kristal microbalance (QCM) ** na ihe mmetụta ndị ọzọ, nke nwere ike ịchọpụta nke ọma ọnụego ntinye na ọkpụrụkpụ nke ihe nkiri ahụ.
Dabere na data nlekota ndị a, sistemụ ahụ nwere ike ịgbanwe paramita na akpaghị aka dịka ike nke isi iyi mkpuchi, ọnụego mmiri gas ma ọ bụ ọsọ ntụgharị nke ihe mejupụtara iji nọgide na-enwe nguzozi na otu oyi akwa ihe nkiri ahụ.
Ihe nkiri multilayer (ọ bụrụ na achọrọ):
Maka ihe ndị dị n'anya nke chọrọ nhazi ọtụtụ oyi akwa, a na-emekarị usoro mkpuchi ahụ n'otu oyi akwa. Mgbe e tinyere oyi akwa ọ bụla, sistemụ ahụ ga-eme nchọpụta na nhazi nke ọkpụrụkpụ ihe nkiri ugboro ugboro iji hụ na ịdị mma nke oyi akwa ọ bụla ruru ihe achọrọ maka imewe.
Usoro a chọrọ njikwa ziri ezi nke ọkpụrụkpụ na ụdị ihe dị na oyi akwa ọ bụla iji hụ na oyi akwa ọ bụla nwere ike ịrụ ọrụ dịka ntụgharị uche, nnyefe ma ọ bụ nnyonye anya na oke ebili mmiri kpọmkwem.
Nke atọ, jụọ oyi ma wepụ ya
CD:
Mgbe emechara mkpuchi ahụ, a ga-ajụ oyi na igwe mkpuchi ahụ. Ebe ọ bụ na akụrụngwa na ihe ndị dị na ya nwere ike ịdị ọkụ n'oge mkpuchi ahụ, a ga-eji sistemụ oyi, dị ka mmiri oyi ma ọ bụ ikuku na-asọfe, mee ka ha dị jụụ ruo okpomọkụ ụlọ.
N'ụfọdụ usoro mkpuchi okpomọkụ dị elu, oyi anaghị echebe naanị ihe anya, kamakwa ọ na-enye ihe nkiri ahụ ohere inweta nrapado na nkwụsi ike kacha mma.
Wepụ ihe anya ahụ:
Mgbe oyi gwụchara, enwere ike iwepụ ihe anya ahụ na igwe mkpuchi ahụ.
Tupu ịpụpụ ya, ọ dị mkpa ịlele mmetụta mkpuchi ahụ, gụnyere otu oyi akwa ihe nkiri ahụ si dị, ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ, njikọta, wdg, iji hụ na mma mkpuchi ahụ ruru ihe achọrọ.
4. Nhazi mgbe emechara (nhọrọ)
Ime ka ihe nkiri sie ike:
Mgbe ụfọdụ, a na-achọ ka ihe mkpuchi ahụ sie ike iji mee ka ihe nkiri ahụ ghara iguzogide ma ọ bụ sie ike. A na-ejikarị ụzọ dịka ọgwụgwọ okpomọkụ ma ọ bụ radieshon ultraviolet eme nke a.
Nhicha ihe nkiri:
Iji wepụ ihe ndị na-emerụ emerụ, mmanụ ma ọ bụ ihe ndị ọzọ na-adịghị mma n'elu ihe nkiri ahụ, ọ nwere ike ịdị mkpa ime obere nhicha, dị ka nhicha, ọgwụgwọ ultrasonic, wdg.
5. Nnyocha na nnwale dị mma
Nnwale arụmọrụ anya: Mgbe emechara mkpuchi ahụ, a na-eme usoro nnwale arụmọrụ na akụkụ anya, gụnyere nnyefe ìhè, ntụgharị uche, nha nhata ihe nkiri, wdg, iji hụ na o mezuru ihe achọrọ maka teknụzụ.
Nnwale nrapado: Site na ule teepu ma ọ bụ nnwale ọkọ, lelee ma nrapado dị n'etiti ihe nkiri ahụ na ihe mkpuchi ahụ siri ike.
Nnwale nkwụsi ike gburugburu ebe obibi: Mgbe ụfọdụ, ọ dị mkpa ime nnwale nkwụsi ike n'okpuru ọnọdụ gburugburu ebe obibi dịka okpomọkụ, iru mmiri, na ìhè ultraviolet iji hụ na oyi akwa mkpuchi ahụ nwere ntụkwasị obi na ngwa bara uru.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Jenụwarị-24-2025