ஆப்டிகல் கோட்டர்களின் பணிப்பாய்வு பொதுவாக பின்வரும் முக்கிய படிகளை உள்ளடக்கியது: முன்சிகிச்சை, பூசுதல், படலத்தைக் கண்காணித்தல் மற்றும் சரிசெய்தல், குளிர்வித்தல் மற்றும் அகற்றுதல். குறிப்பிட்ட செயல்முறையானது உபகரணத்தின் வகை (எ.கா., ஆவியாதல் கோட்டர், ஸ்பட்டரிங் கோட்டர் போன்றவை) மற்றும் பூசும் செயல்முறை (எ.கா., ஒற்றை அடுக்கு படலம், பல அடுக்கு படலம் போன்றவை) ஆகியவற்றைப் பொறுத்து மாறுபடலாம், ஆனால் பொதுவாக, ஆப்டிகல் பூச்சு செயல்முறை தோராயமாக பின்வருமாறு இருக்கும்:
முதலில், தயாரிப்பு நிலை
ஒளியியல் கூறுகளை சுத்தம் செய்தல் மற்றும் தயார் செய்தல்:
பூச்சுப் பூசுவதற்கு முன்பு, ஒளியியல் கூறுகள் (வில்லைகள், வடிகட்டிகள், ஒளியியல் கண்ணாடி போன்றவை) முழுமையாகச் சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டும். இந்தப் படிநிலையே பூச்சின் தரத்தை உறுதி செய்வதற்கான அடிப்படையாகும். பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சுத்தப்படுத்தும் முறைகளில் மீயொலி சுத்தம் செய்தல், ஊறவைத்தல், நீராவி சுத்தம் செய்தல் போன்றவை அடங்கும்.
பூச்சு செயல்முறையின் போது அவை நிலையாக இருப்பதை உறுதி செய்வதற்காக, சுத்தமான ஒளியியல் கூறுகள் பொதுவாக பூச்சு இயந்திரத்தின் சுழலும் சாதனம் அல்லது இறுக்கும் அமைப்பின் மீது வைக்கப்படுகின்றன.
வெற்றிட அறையின் முன் சிகிச்சை:
பூச்சு இயந்திரத்தில் ஒளியியல் கூறினை வைப்பதற்கு முன், பூச்சு அறைக்குள் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வெற்றிடம் நிரப்பப்பட வேண்டும். இந்த வெற்றிடச் சூழல், காற்றில் உள்ள அசுத்தங்கள், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி ஆகியவற்றைத் திறம்பட அகற்றி, அவை பூச்சுப் பொருளுடன் வினைபுரிவதைத் தடுத்து, பூச்சின் தூய்மையையும் தரத்தையும் உறுதி செய்கிறது.
பொதுவாக, பூச்சு அறையானது உயர் வெற்றிடத்தை (10⁻⁵ முதல் 10⁻⁶ Pa வரை) அல்லது நடுத்தர வெற்றிடத்தை (10⁻³ முதல் 10⁻⁴ Pa வரை) அடைய வேண்டும்.
இரண்டாவதாக, பூச்சு செயல்முறை
பூச்சு மூல ஆதாரம்:
பூச்சு மூலமானது பொதுவாக ஆவியாதல் மூலம் அல்லது சிதறல் மூலம் ஆகும். பூச்சு செயல்முறை மற்றும் பொருளுக்கு ஏற்ப வெவ்வேறு பூச்சு மூலங்கள் தேர்ந்தெடுக்கப்படும்.
ஆவியாதல் மூலம்: பூச்சுப் பொருளானது, எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்கி அல்லது மின்தடை வெப்பமூட்டும் ஆவியாக்கி போன்ற ஒரு வெப்பமூட்டும் சாதனத்தைப் பயன்படுத்தி ஆவியாகும் நிலைக்குச் சூடுபடுத்தப்படுகிறது. இதனால், அதன் மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக்கள் ஆவியாகி, வெற்றிடத்தில் ஒளியியல் உறுப்பின் மேற்பரப்பில் படியவைக்கப்படுகின்றன.
சிதறல் மூலம்: உயர் மின்னழுத்தத்தைப் பயன்படுத்தும்போது, இலக்கானது அயனிகளுடன் மோதி, அதன் அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகளைச் சிதறடித்து, ஒளியியல் கூறின் மேற்பரப்பில் படிந்து ஒரு படலத்தை உருவாக்குகிறது.
படலப் பொருள் படிதல்:
வெற்றிடச் சூழலில், பூசப்பட்ட பொருளானது ஒரு மூலத்திலிருந்து (ஆவியாதல் மூலம் அல்லது இலக்கு போன்றவை) ஆவியாகிறது அல்லது சிதறுகிறது, மேலும் படிப்படியாக ஒளியியல் கூறின் மேற்பரப்பில் படியும்.
படல அடுக்கு சீராகவும், தொடர்ச்சியாகவும், வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதாகவும் இருப்பதை உறுதிசெய்ய, படிதல் வீதமும் படலத் தடிமனும் துல்லியமாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும். படிதலின் போது உள்ள காரணிகள் (மின்னோட்டம், வாயு ஓட்டம், வெப்பநிலை போன்றவை) படலத்தின் தரத்தை நேரடியாகப் பாதிக்கும்.
படலக் கண்காணிப்பு மற்றும் தடிமன் கட்டுப்பாடு:
பூச்சு செயல்முறையில், படலத்தின் தடிமன் மற்றும் தரம் பொதுவாக நிகழ் நேரத்தில் கண்காணிக்கப்படுகிறது. இதற்காகப் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் கண்காணிப்புக் கருவிகளான குவார்ட்ஸ் கிரிஸ்டல் மைக்ரோபேலன்ஸ் (QCM) மற்றும் பிற சென்சார்கள், படலத்தின் படிவு விகிதம் மற்றும் தடிமனைத் துல்லியமாகக் கண்டறியும் திறன் கொண்டவை.
இந்தக் கண்காணிப்புத் தரவுகளின் அடிப்படையில், பூச்சுப் படலத்தின் நிலைத்தன்மையையும் சீரான தன்மையையும் பராமரிப்பதற்காக, பூச்சு மூலத்தின் ஆற்றல், வாயுப் பாய்வு விகிதம் அல்லது பாகத்தின் சுழற்சி வேகம் போன்ற அளவுருக்களை இந்த அமைப்பு தானாகவே சரிசெய்யும்.
பல்லடுக்கு படலம் (தேவைப்பட்டால்) :
பல அடுக்கு அமைப்பு தேவைப்படும் ஒளியியல் கூறுகளுக்கு, பூச்சு செயல்முறை பொதுவாக அடுக்கு அடுக்காக மேற்கொள்ளப்படுகிறது. ஒவ்வொரு அடுக்கையும் பூசிய பிறகு, ஒவ்வொரு படல அடுக்கின் தரமும் வடிவமைப்புத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்வதற்காக, அந்த அமைப்பு மீண்டும் மீண்டும் படலத்தின் தடிமனைக் கண்டறிந்து சரிசெய்யும்.
ஒரு குறிப்பிட்ட அலைநீள வரம்பில் ஒவ்வொரு அடுக்கின் பிரதிபலிப்பு, கடத்தல் அல்லது குறுக்கீடு போன்ற செயல்பாடுகளை உறுதிசெய்ய, இந்தச் செயல்முறைக்கு ஒவ்வொரு அடுக்கின் தடிமன் மற்றும் மூலப்பொருள் வகையின் மீது துல்லியமான கட்டுப்பாடு தேவைப்படுகிறது.
மூன்றாவதாக, குளிரவைத்து அகற்றவும்
சிடி:
பூச்சுப் பணி முடிந்த பிறகு, ஒளியியல் கருவிகளையும் பூச்சு இயந்திரத்தையும் குளிர்விக்க வேண்டும். பூச்சு செயல்முறையின் போது உபகரணங்களும் பாகங்களும் சூடாகக்கூடும் என்பதால், வெப்பச் சேதத்தைத் தடுப்பதற்காக, குளிர்விக்கும் நீர் அல்லது காற்று ஓட்டம் போன்ற ஒரு குளிரூட்டும் அமைப்பின் மூலம் அவற்றை அறை வெப்பநிலைக்குக் குளிர்விக்க வேண்டும்.
சில உயர்-வெப்பநிலை பூச்சு செயல்முறைகளில், குளிர்வித்தல் ஒளியியல் கூறைப் பாதுகாப்பது மட்டுமின்றி, பூச்சுப் படலம் உகந்த ஒட்டுதலையும் நிலைத்தன்மையையும் அடையவும் உதவுகிறது.
ஒளியியல் கூறினை அகற்றவும்:
குளிர்ச்சி முழுமையாக முடிந்த பிறகு, பூச்சு இயந்திரத்திலிருந்து ஒளியியல் கூறினை அகற்றிவிடலாம்.
வெளியே எடுப்பதற்கு முன், பூச்சின் தரம் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறதா என்பதை உறுதிப்படுத்த, பூச்சு அடுக்கின் சீரான தன்மை, பூச்சின் தடிமன், ஒட்டுதல் போன்றவை உட்பட பூச்சின் விளைவைச் சரிபார்க்க வேண்டியது அவசியம்.
4. பிந்தைய செயலாக்கம் (விருப்பத்திற்குரியது)
படலம் கடினமாதல்:
சில சமயங்களில், பூசப்பட்ட படலத்தின் கீறல் எதிர்ப்புத்திறனையும் நீடித்துழைக்கும் தன்மையையும் மேம்படுத்துவதற்காக, அதனை கடினப்படுத்த வேண்டியிருக்கும். இது பொதுவாக வெப்ப சிகிச்சை அல்லது புற ஊதா கதிர்வீச்சு போன்ற வழிமுறைகள் மூலம் செய்யப்படுகிறது.
படலச் சுத்திகரிப்பு:
படலத்தின் மேற்பரப்பில் உள்ள மாசுகள், எண்ணெய்கள் அல்லது பிற அசுத்தங்களை அகற்றுவதற்காக, சுத்தம் செய்தல், மீயொலி சிகிச்சை போன்ற சிறிய அளவிலான சுத்திகரிப்புப் பணிகளைச் செய்ய வேண்டியிருக்கலாம்.
5. தர ஆய்வு மற்றும் சோதனை
ஒளியியல் செயல்திறன் சோதனை: பூச்சுப் பணி முடிந்த பிறகு, ஒளியியல் கூறு தொழில்நுட்பத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறதா என்பதை உறுதி செய்வதற்காக, ஒளி ஊடுருவல், பிரதிபலிப்பு, படலச் சீர்மை போன்ற தொடர்ச்சியான செயல்திறன் சோதனைகள் அதன் மீது மேற்கொள்ளப்படுகின்றன.
ஒட்டுதல் சோதனை: டேப் சோதனை அல்லது கீறல் சோதனை மூலம், படலத்திற்கும் அடித்தளத்திற்கும் இடையிலான ஒட்டுதல் வலுவாக உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும்.
சுற்றுச்சூழல் நிலைத்தன்மை சோதனை: நடைமுறைப் பயன்பாடுகளில் பூச்சு அடுக்கின் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, சில சமயங்களில் வெப்பநிலை, ஈரப்பதம் மற்றும் புற ஊதா ஒளி போன்ற சுற்றுச்சூழல் நிலைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மை சோதனையை நடத்துவது அவசியமாகிறது.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: ஜனவரி 24, 2025