Оптик каплагычларның эш процессы гадәттә түбәндәге төп адымнарны үз эченә ала: алдан эшкәртү, каплау, пленканы күзәтү һәм көйләү, суыту һәм алу. Конкрет процесс җиһаз төренә (мәсәлән, парга әйләндерү каплагычы, сиптерү каплагычы һ.б.) һәм каплау процессына (мәсәлән, бер катламлы пленка, күп катламлы пленка һ.б.) карап төрлечә булырга мөмкин, ләкин гомумән алганда, оптик каплау процессы якынча түбәндәгечә:
Беренчедән, әзерлек этабы
Оптик компонентларны чистарту һәм әзерләү:
Каплау алдыннан оптик компонентларны (линзалар, фильтрлар, оптик пыяла һ.б.) җентекләп чистартырга кирәк. Бу адым каплау сыйфатын тәэмин итү өчен нигез булып тора. Еш кулланыла торган чистарту ысулларына ультратавышлы чистарту, маринадлау, пар белән чистарту һ.б. керә.
Чиста оптик элементлар, гадәттә, каплау процессында тотрыклы булып калуларын тәэмин итү өчен, каплау машинасының әйләнүче җайланмасына яки кысу системасына урнаштырыла.
Вакуум камерасын алдан эшкәртү:
Оптик элементны каплау машинасына урнаштырганчы, каплау камерасын билгеле бер дәрәҗәдәге вакуумга кадәр суыртырга кирәк. Вакуум мохите һавадагы пычракны, кислородны һәм су парын нәтиҗәле рәвештә бетерә, аларның каплау материалы белән реакциягә керүен булдырмый һәм пленканың сафлыгын һәм сыйфатын тәэмин итә ала.
Гадәттә, каплау камерасы югары вакуумга (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Па) яки уртача вакуумга (10⁻³ - 10⁻⁴ Па) ирешергә тиеш.
Икенчедән, каплау процессы
Башлангыч каплау чыганагы:
Каплау чыганагы гадәттә парга әйләнү яки сиптерү чыганагы була. Каплау процессына һәм материалына карап, төрле каплау чыганаклары сайланачак.
Парга әйләнү чыганагы: Каплау материалы җылыту җайланмасы, мәсәлән, электрон нурлы парга әйләндергеч яки каршылыклы җылыту парга әйләндергече ярдәмендә парга әйләнү хәленә кадәр җылытыла, шуның белән аның молекулалары яки атомнары парга әйләнә һәм вакуумда оптик элемент өслегенә утыра.
Сиптерү чыганагы: Югары көчәнеш кулланып, максат ионнар белән бәрелешә, максатның атомнарын яки молекулаларын сиптерә, алар оптик элемент өслегенә җыелып пленка барлыкка китерә.
Пленка материалын урнаштыру:
Вакуум мохитендә капланган материал чыганактан (мәсәлән, парга әйләнү чыганагы яки максат) парга әйләнә яки сиптерә һәм оптик элемент өслегенә әкренләп утыра.
Пленка катламының бердәм, өзлексез һәм проект таләпләренә туры килүен тәэмин итү өчен, утырту тизлеген һәм пленка калынлыгын төгәл контрольдә тотарга кирәк. Чүпләү вакытында параметрлар (мәсәлән, ток, газ агымы, температура һ.б.) пленка сыйфатына турыдан-туры тәэсир итәчәк.
Пленка мониторингы һәм калынлыгын контрольдә тоту:
Каплау процессында пленканың калынлыгы һәм сыйфаты гадәттә реаль вакыт режимында күзәтелә, һәм еш кулланыла торган күзәтү кораллары - кварц кристалл микробалансы (QCM) ** һәм башка сенсорлар, алар пленканың утыру тизлеген һәм калынлыгын төгәл билгели ала.
Бу күзәтү мәгълүматларына нигезләнеп, система пленка катламының консистенциясен һәм бердәмлеген саклап калу өчен каплау чыганагының көче, газ агымы тизлеге яки компонентның әйләнү тизлеге кебек параметрларны автоматик рәвештә көйли ала.
Күп катламлы пленка (кирәк булса):
Күп катламлы структура таләп итә торган оптик компонентлар өчен каплау процессы гадәттә катлам саен башкарыла. Һәр катламны урнаштырганнан соң, система һәр катламның сыйфаты проект таләпләренә туры килүен тәэмин итү өчен кат-кат пленка калынлыгын ачыклау һәм көйләү эшләрен башкарачак.
Бу процесс һәр катламның калынлыгын һәм материал төрен төгәл контрольдә тотуны таләп итә, бу һәр катламның билгеле бер дулкын озынлыгы диапазонында чагылыш, тапшыру яки интерференция кебек функцияләрне башкара алуын тәэмин итә.
Өченчедән, суытыгыз һәм алыгыз
CD:
Каплау тәмамланганнан соң, оптика һәм каплау машинасын суытырга кирәк. Каплау процессында җиһазлар һәм компонентлар кызып китәргә мөмкин булганлыктан, термик зыянны булдырмас өчен, аларны суыту системасы, мәсәлән, суыту суы яки һава агымы ярдәмендә бүлмә температурасына кадәр суытырга кирәк.
Кайбер югары температуралы каплау процессларында суыту оптик элементны гына түгел, ә пленканың оптималь адгезиясенә һәм тотрыклылыгына ирешү мөмкинлеген дә бирә.
Оптик элементны алып ташлагыз:
Суыту тәмамланганнан соң, оптик элементны каплау машинасыннан алырга мөмкин.
Алып чыгарыр алдыннан, каплау сыйфатының таләпләргә туры килүен тәэмин итү өчен, каплау эффектын, шул исәптән пленка катламының тигезлеген, пленка калынлыгын, ябыштыруны һ.б. тикшерергә кирәк.
4. Пост-эшкәртү (ихтыярый)
Пленка катыру:
Кайвакыт капланган пленканы тырналуга чыдамлыгын һәм ныклыгын арттыру өчен катыртырга кирәк. Бу гадәттә җылылык эшкәртү яки ультрафиолет нурланышы кебек ысуллар белән башкарыла.
Пленка чистарту:
Пленка өслегеннән пычраткыч матдәләрне, майларны яки башка катнашмаларны бетерү өчен, кечкенә чистарту эшләре башкарырга кирәк булырга мөмкин, мәсәлән, чистарту, ультратавыш белән эшкәртү һ.б.
5. Сыйфат тикшерүе һәм сынау
Оптик эшчәнлек сынауы: Каплау тәмамланганнан соң, оптик компонентның техник таләпләргә туры килүен тәэмин итү өчен, аның яктылык үткәрүчәнлеге, чагылышлылыгы, пленканың бердәмлеге һ.б. кебек берничә эшчәнлек сынауы үткәрелә.
Ябыштыру тесты: Пленка һәм нигез арасындагы ябыштыруның ныклыгын тасма яки тырнау тесты ярдәмендә тикшерегез.
Әйләнә-тирә мохитнең тотрыклылыгын тикшерү: Кайвакыт каплау катламының гамәли кулланылышта ышанычлылыгын тәэмин итү өчен температура, дымлылык һәм ультрафиолет нурлары кебек әйләнә-тирә мохит шартларында тотрыклылык сынауын үткәрү кирәк була.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2025 елның 24 гыйнвары