Kristal kremniý öýjük tehnologiýasynyň ösüşiniň ugry PERT tehnologiýasyny we Topcon tehnologiýasyny hem öz içine alýar, bu iki tehnologiýa däp bolan diffuziýa usuly öýjük tehnologiýasynyň giňeltmesi hökmünde kabul edilýär, olaryň umumy aýratynlyklary öýjükleriň arka tarapyndaky passiwasiýa gatlagydyr we ikisi hem arka meýdan hökmünde lehimlenen poli kremniý gatlagyny ulanýar, mekdep esasan ýokary temperaturaly oksidlenen gatlakda ulanylýar we lehimlenen poli kremniý gatlagy LPCVD we PECVD we ş.m. görnüşinde ulanylýar. Turba görnüşli PECVD we Turba görnüşli PECVD we tekiz plastinka PECVD PERC öýjükleriniň giň möçberli köpçülikleýin önümçiliginde ulanyldy.
Turba PECVD-niň uly kuwwaty bar we adatça birnäçe on kHz pes ýygylykly energiýa üpjünçiligini ulanýar. Ion bombardmany we aýlanyp geçmek bilen baglanyşykly meseleler passiwasiýa gatlagynyň hiline täsir edip biler. Tekiz plastinka PECVD-niň aýlanyp geçmek bilen baglanyşykly mesele ýok we örtük işiniň has uly artykmaçlygyna eýedir we lehimlenen Si, SiOX, SiCX plýonkalaryny çökeltmek üçin ulanylyp bilner. Kemçiligi, örtülen plýonkada köp wodorod bar bolmagydyr, plýonka gatlagynyň çürt-kesik döremegine sebäp bolmagy aňsat, örtügiň galyňlygy çäkli. Turba peç örtügini ulanýan lpcvd örtük tehnologiýasy uly kuwwatlylyk bilen has galyň polisilikon plýonkasyny çökdürip biler, ýöne örtük töwereginde bolar, lpcvd prosesinde plýonka gatlagy aýrylandan soň, onuň töweregindäki örtük aýrylýar we aşaky gatlaga zyýan ýetirmeýär. Köpçülikleýin öndürilen Topcon öýjükleri ortaça 23% konwersiýa netijeliligine ýetdi.
——Bu makala tarapyndan çap edildiwakuum örtük maşynyGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 22-nji sentýabry