Ìtọ́sọ́nà ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ silikoni kirisita tún ní ìmọ̀ ẹ̀rọ PERT àti ìmọ̀ ẹ̀rọ Topcon, àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ méjì yìí ni a kà sí ìtẹ̀síwájú ìmọ̀ ẹ̀rọ sẹ́ẹ̀lì ọ̀nà ìtànkálẹ̀ àṣà, àwọn ànímọ́ tí wọ́n wọ́pọ̀ ni ìpele passivation ní ẹ̀yìn sẹ́ẹ̀lì náà, àwọn méjèèjì sì lo ìpele poly silikoni oníwọ̀n-ẹ̀jẹ̀ gẹ́gẹ́ bí pápá ẹ̀yìn, ilé-ẹ̀kọ́ náà ni a sábà máa ń lò ní ìpele oxidized tí ó ga, àti ìpele poly silikoni oníwọ̀n-ẹ̀jẹ̀ ni a lò ní ọ̀nà LPCVD àti PECVD, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. A ti lo ìpele PECVD àti Tubular PECVD àti àwo flat plate PECVD nínú ìṣẹ̀dá ibi-iṣẹ́ ńlá ti àwọn sẹ́ẹ̀lì PERC.
PECVD Tubular ní agbára tó pọ̀, ó sì sábà máa ń gba agbára ìgbóná tó kéré ní ìwọ̀n kHz. Àwọn ìṣòro ìbọn ion àti ìbọn bypass lè ní ipa lórí dídára ìpele passivation. PECVD kò ní ìṣòro bypass plating, ó sì ní àǹfààní tó pọ̀ jù nínú iṣẹ́ ìbòrí, a sì lè lò ó fún fífi àwọn fíìmù Si, Si0X, SiCX tí a ti fi doped ṣe síbẹ̀. Àléébù rẹ̀ ni pé fíìmù tí a fi pa á ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ hydrogen, ó rọrùn láti fa ìbọn fíìmù náà, ó sì ní ìwọ̀n tó pọ̀ nínú ìbòrí náà. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbò lpcvd tí ó ń lo ìbòrí tube inura, pẹ̀lú agbára tó pọ̀, lè fi polysilicon fíìmù tó nípọn sí i, ṣùgbọ́n àwọn fíìmù polysilicon tó nípọn sí i yóò wà ní àyíká ìbòrí náà, nínú ilana lpcvd lẹ́yìn yíyọ ìbòrí yíká ìpele fíìmù náà kúrò, kò sì ní pa ìpele ìsàlẹ̀ náà lára. Àwọn sẹ́ẹ̀lì Topcon tí a ṣe ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ti ṣàṣeyọrí iṣẹ́ ìyípadà tó jẹ́ 23%.
——A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ àwọn olùgbékalẹ̀ rẹ̀ẹrọ fifọ aṣọ igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-22-2023