የክሪስታሊን ሲሊከን የፀሐይ ሴል ሽፋን ቴክኖሎጂ ልማት

የክሪስታሊን ሲሊከን ሴል ቴክኖሎጂ ልማት አቅጣጫ የPERT ቴክኖሎጂን እና የቶፕኮን ቴክኖሎጂን ያካትታል። እነዚህ ሁለት ቴክኖሎጂዎች እንደ ባህላዊው የስርጭት ዘዴ የሴል ቴክኖሎጂ ማራዘሚያ ተደርገው ይወሰዳሉ፣ የተለመዱ ባህሪያቸው በሴል ጀርባ ላይ ያለው የፓሲቭሽን ንብርብር ናቸው፣ እና ሁለቱም እንደ የኋላ መስክ የዶፒድ ፖሊ ሲሊከን ንብርብር ይጠቀማሉ፣ ትምህርት ቤቱ በአብዛኛው በከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድ ንብርብር ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና ዶፒድ ፖሊ ሲሊከን ንብርብር እንደ LPCVD እና PECVD ወዘተ ጥቅም ላይ ይውላል። ቱቡላር PECVD እና Tubular PECVD እና ጠፍጣፋ ሳህን PECVD በPERC ሴሎች ሰፊ የጅምላ ምርት ውስጥ ጥቅም ላይ ውለዋል።

ቱቡላር PECVD ትልቅ አቅም ያለው ሲሆን በአጠቃላይ በርካታ አስር kHz ዝቅተኛ ድግግሞሽ የኃይል አቅርቦትን ይቀበላል። የአዮን ቦምብ ድብደባ እና የማለፊያ ፕላቲንግ ችግሮች የማለፊያ ንብርብሩን ጥራት ሊነኩ ይችላሉ። ጠፍጣፋ ሳህን PECVD የማለፊያ ፕላቲንግ ችግር የለውም፣ እና በሽፋን አፈጻጸም ላይ የበለጠ ጥቅም አለው፣ እና የተከተፉ Si፣ Si0X፣ SiCX ፊልሞችን ለማስቀመጥ ሊያገለግል ይችላል። ጉዳቱ የተለጠፈው ፊልም ብዙ ሃይድሮጂን የያዘ መሆኑ ነው፣ ይህም የፊልም ንብርብር በቀላሉ እንዲወዛወዝ ያደርጋል፣ በሽፋኑ ውፍረት የተገደበ ነው። የቱቦ ምድጃ ሽፋንን የሚጠቀም የlpcvd ሽፋን ቴክኖሎጂ፣ ትልቅ አቅም ያለው፣ ወፍራም ፖሊሲሊኮን ፊልም ሊያስቀምጥ ይችላል፣ ነገር ግን በፕላቲንግ ዙሪያ ይከሰታል፣ በLPcvd ሂደት ውስጥ፣ የፊልም ንብርብር ሽፋን ከተወገዱ በኋላ እና የታችኛውን ንብርብር አይጎዳም። በጅምላ የተመረቱ የቶፕኮን ሴሎች አማካይ የልወጣ ውጤታማነት 23% አግኝተዋል።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽንጓንግዶንግ ዠንዋ