Кристалл кремний күзәнәкләре технологиясен үстерү юнәлеше шулай ук PERT технологиясен һәм Topcon технологиясен үз эченә ала. Бу ике технология традицион диффузия ысулы күзәнәк технологиясенең киңәйтүе дип санала. Аларның уртак үзенчәлекләре - күзәнәкнең арткы ягындагы пассивация катламы, һәм икесендә дә арткы кыр буларак легирланган поликремний катламы кулланыла. Мәктәп күбесенчә югары температуралы оксидлаштырылган катламда кулланыла, ә легирланган поликремний катламы LPCVD һәм PECVD һ.б. рәвешендә кулланыла. PERC күзәнәкләрен зур күләмдә массакүләм җитештерүдә торбасыман PECVD һәм торбасыман PECVD һәм яссы пластиналы PECVD кулланылган.
Торбасыман PECVD зур сыйдырышлылыкка ия һәм гадәттә берничә дистә кГц түбән ешлыклы электр белән тәэмин итүне куллана. Ион бомбардированиесе һәм шунтлау каплавы проблемалары пассивация катламының сыйфатына тәэсир итә ала. Яссы пластиналы PECVD шунтлау каплавы проблемасына ия түгел, һәм каплау эшчәнлегендә зуррак өстенлеккә ия, һәм легирланган Si, SiOX, SiCX пленкаларын урнаштыру өчен кулланылырга мөмкин. Кимчелеге шунда ки, капланган пленкада күп водород бар, пленка катламында җиңел күбекләнү барлыкка килә, каплау калынлыгы чикләнгән. lpcvd каплау технологиясе, зур сыйдырышлы, калынрак поликремний пленкасы урнаштыра ала, ләкин каплау тирәсендә булачак, lpcvd процессында пленка катламы алынганнан соң тирә-яктагы каплау барлыкка килә һәм аскы катламга зыян китерми. Күпләп җитештерелгән Topcon күзәнәкләре уртача 23% конверсия нәтиҗәлелегенә иреште.
——Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасыГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 22 сентябре