كىرىستال كرېمنىي ھۈجەيرە تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىيات يۆنىلىشى PERT تېخنىكىسى ۋە Topcon تېخنىكىسىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ، بۇ ئىككى تېخنىكا ئەنئەنىۋى دىففۇزىيە ئۇسۇلى ھۈجەيرە تېخنىكىسىنىڭ كېڭەيتىلگەن نۇسخىسى دەپ قارىلىدۇ، ئۇلارنىڭ ئورتاق ئالاھىدىلىكى ھۈجەيرىنىڭ ئارقا تەرىپىدىكى پاسسىۋاتسىيە قەۋىتى، ھەمدە ئىككىسى ئارقا مەيدان سۈپىتىدە قوشۇلغان پولى كرېمنىي قەۋىتىنى ئىشلىتىدۇ، مەكتەپ ئاساسلىقى يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوكسىدلانغان قەۋەتتە ئىشلىتىلىدۇ، قوشۇلغان پولى كرېمنىي قەۋىتى LPCVD ۋە PECVD قاتارلىقلاردا ئىشلىتىلىدۇ. تۇرۇبا شەكىللىك PECVD، تۇرۇبا شەكىللىك PECVD ۋە ياپىلاق تاختا PECVD PERC ھۈجەيرىلىرىنى كەڭ كۆلەمدە كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشتا ئىشلىتىلدى.
تۇرۇبا شەكىللىك PECVD چوڭ سىغىمغا ئىگە بولۇپ، ئادەتتە نەچچە ئون كىلوگېرتسلىق تۆۋەن چاستوتالىق توك بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئىئون بومباردىمان قىلىش ۋە ئايلىنىپ ئۆتۈش قەۋىتى مەسىلىسى پاسسىۋلىشىش قەۋىتىنىڭ سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ياپىلاق تاختا PECVD ئايلىنىپ ئۆتۈش قەۋىتى مەسىلىسىگە ئۇچرىمايدۇ، ھەمدە قاپلاش ئىقتىدارى جەھەتتە تېخىمۇ چوڭ ئەۋزەللىككە ئىگە، ھەمدە قوشۇلغان Si، SiOX، SiCX پەردىلىرىنى چۆكتۈرۈشكە ئىشلىتىلىدۇ. كەمچىلىكى شۇكى، قاپلانغان پەردىدە نۇرغۇن ھىدروگېن بار، پەردە قەۋىتىدە ئاسانلا پۇراق پەيدا قىلىدۇ، پەردە قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى چەكلىك. تۇرۇبا ئوچاق قاپلاش تېخنىكىسىنى ئىشلەتكەن lpcvd قاپلاش تېخنىكىسى چوڭ سىغىمغا ئىگە بولۇپ، قېلىنراق پولىسېترىلىي پەردىسىنى چۆكتۈرەلەيدۇ، ئەمما پەردە ئەتراپىدا قاپلاش يۈز بېرىدۇ، lpcvd جەريانىدا پەردە قەۋىتىنى چىقىرىۋەتكەندىن كېيىن پەردە قەۋىتىنى چىقىرىۋېتىدۇ ۋە ئاستىنقى قەۋەتكە زىيان يەتكۈزمەيدۇ. كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىلغان Topcon ھۈجەيرىلىرى ئوتتۇرىچە ئۆزگەرتىش ئۈنۈمى %23 كە يەتتى.
——بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 9-ئاينىڭ 22-كۈنى