Кристаллдык кремний клетка технологиясын иштеп чыгуу багыты PERT технологиясын жана Topcon технологиясын да камтыйт, бул эки технология салттуу диффузиялык ыкма клетка технологиясынын кеңейтүүсү катары каралат, алардын жалпы мүнөздөмөсү - клетканын арткы бетиндеги пассивдештирүү катмары жана экөө тең арткы талаа катары легирленген поликремний катмарын колдонушат, мектеп көбүнчө жогорку температурадагы кычкылданган катмарда колдонулат, ал эми легирленген поликремний катмары LPCVD жана PECVD ж.б. сыяктуу колдонулат. Түтүк PECVD жана түтүк PECVD жана жалпак пластина PECVD PERC клеткаларын ири масштабдуу массалык өндүрүүдө колдонулган.
Түтүк PECVD чоң кубаттуулукка ээ жана жалпысынан бир нече ондогон кГц төмөнкү жыштыктагы кубаттуулукту колдонот. Иондук бомбалоо жана айланып өтүү менен каптоо көйгөйлөрү пассивдештирүү катмарынын сапатына таасир этиши мүмкүн. Жалпак пластина PECVD айланып өтүү менен каптоо көйгөйүнө ээ эмес жана каптоонун иштөөсүндө чоң артыкчылыкка ээ жана легирленген Si, SiOX, SiCX пленкаларын чөктүрүү үчүн колдонулушу мүмкүн. Кемчилиги - капталган пленкада көп суутек бар, пленка катмарынын ыйлаакчаларга айланышы оңой, каптоонун калыңдыгы чектелүү. Түтүк меш каптоосун колдонгон lpcvd каптоо технологиясы чоң кубаттуулукта калыңыраак поликремний пленкасын чөктүрүшү мүмкүн, бирок каптоо айланасында болот, lpcvd процессинде пленка катмарынын айланасында каптоо алынып салынгандан кийин жана астыңкы катмарга зыян келтирбейт. Массалык түрдө өндүрүлгөн Topcon клеткалары орточо 23% конвертациялоо эффективдүүлүгүнө жетишти.
——Бул макаланы жарыялаганвакуумдук каптоочу машинаГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 22-сентябры