ক্রিস্টালাইন সিলিকন সেল প্রযুক্তির উন্নয়নের ধারার মধ্যে PERT প্রযুক্তি এবং Topcon প্রযুক্তিও অন্তর্ভুক্ত। এই দুটি প্রযুক্তিকে প্রচলিত ডিফিউশন পদ্ধতির সেল প্রযুক্তির সম্প্রসারণ হিসেবে বিবেচনা করা হয়। এদের সাধারণ বৈশিষ্ট্য হলো সেলের পেছনের দিকে প্যাসিভেশন লেয়ার থাকা এবং উভয় ক্ষেত্রেই ব্যাক ফিল্ড হিসেবে ডোপড পলিসিলিকনের একটি স্তর ব্যবহার করা হয়। এক্ষেত্রে বেশিরভাগ ক্ষেত্রে উচ্চ-তাপমাত্রায় অক্সিডাইজড লেয়ার ব্যবহার করা হয় এবং PERC সেলের বৃহৎ পরিসরে গণ-উৎপাদনের জন্য LPCVD, PECVD, টিউবুলার PECVD এবং ফ্ল্যাট প্লেট PECVD ইত্যাদি পদ্ধতি ব্যবহার করা হয়ে আসছে।
টিউবুলার পিইসিভিডি-র ধারণক্ষমতা বেশি এবং এতে সাধারণত কয়েক দশ কিলোহার্টজ-এর একটি নিম্ন-ফ্রিকোয়েন্সির পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা হয়। আয়ন বোম্বার্ডমেন্ট এবং বাইপাস প্লেটিং-এর সমস্যা প্যাসিভেশন লেয়ারের গুণমানকে প্রভাবিত করতে পারে। ফ্ল্যাট প্লেট পিইসিভিডি-তে বাইপাস প্লেটিং-এর সমস্যা নেই এবং কোটিং পারফরম্যান্সে এর একটি বড় সুবিধা রয়েছে, এবং এটি ডোপড Si, Si0X, SiCX ফিল্মের ডিপোজিশনের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে। এর অসুবিধা হলো, প্লেটেড ফিল্মে প্রচুর পরিমাণে হাইড্রোজেন থাকে, যা ফিল্ম লেয়ারে সহজে ফোসকা সৃষ্টি করে এবং কোটিং-এর পুরুত্ব সীমিত করে। টিউব ফার্নেস কোটিং ব্যবহার করে এলপিসিভিডি কোটিং প্রযুক্তির ধারণক্ষমতা বেশি এবং এটি আরও পুরু পলিসিলিকন ফিল্ম ডিপোজিট করতে পারে, কিন্তু এতে ফিল্ম লেয়ারের চারপাশে প্লেটিং ঘটে, যা এলপিসিভিডি প্রক্রিয়ায় ফিল্ম লেয়ারের চারপাশের প্লেটিং অপসারণ করার পরে নিচের লেয়ারের কোনো ক্ষতি করে না। ব্যাপকভাবে উৎপাদিত টপকন সেলগুলো গড়ে ২৩% রূপান্তর দক্ষতা অর্জন করেছে।
এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিনগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২২-সেপ্টেম্বর-২০২৩