Хусусиятҳои пӯшиши пошидани магнитрон
(3) Пӯшидани энергияи кам. Аз сабаби шиддати пасти катодӣ, ки ба ҳадаф истифода мешавад, плазма бо майдони магнитӣ дар фазо дар наздикии катод баста мешавад ва ба ин васила зарраҳои заряди энергияи баландро ба паҳлӯи субстрати одамони тирандозӣ бозмедорад. Аз ин рӯ, дараҷаи осеб ба субстрат ба монанди дастгоҳҳои нимноқилӣ, ки дар натиҷаи бомбаборони зарраҳои заряднок ба амал меоянд, нисбат ба дигар усулҳои пошидан камтар аст.
(4) Ҳарорати пасти субстрат. Суръати пошидани пошидани магнитрон баланд аст, зеро ҳадафи катод дар майдони магнитӣ дар дохили минтақа, яъне хати парвози ҳадаф дар як минтақаи хурди локализатсияшудаи консентратсияи электронҳо баланд аст, дар ҳоле ки дар таъсири магнитӣ берун аз минтақа, махсусан дуртар аз майдони магнитии сатҳи субстрат дар наздикӣ, консентратсияи электронҳо аз ҳисоби парокандашавии пошидани полезҳо ҳатто камтар буда метавонад (ҳатто метавонад камтар бошад. фарқияти байни ду фишори гази корӣ бо тартиби бузург). Аз ин рӯ, дар шароити пошидани магнетрон, консентратсияи электронҳое, ки рӯи заминро бомбаборон мекунанд, нисбат ба пошидани диодҳои муқаррарӣ хеле пасттар аст ва аз ҳисоби кам шудани шумораи электронҳои ба субстрат воридшуда аз ҳад зиёд баланд шудани ҳарорати субстрат пешгирӣ карда мешавад. Илова бар ин, дар усули пошидани магнетронӣ, аноди дастгоҳи пошидани магнетрон метавонад дар атрофи катод ҷойгир карда шавад ва дорандаи субстрат низ метавонад асоснок ва дар потенсиали таваққуф бошад, то электронҳо аз дорандаи субстрати асоснок нагузаранд ва аз анод равон шаванд ва ба ин васила гармии баландро дар қабати зеризаминии электроэнергияи баландро коҳиш диҳанд. ки тавассути электронҳо ба вуҷуд омадаанд ва бомбаборони дуюмдараҷаи электронии субстратро хеле суст мекунанд, ки дар натиҷа тавлиди гармӣ ба вуҷуд меояд.
(5) Нобаробар кашидани ҳадаф. Дар ҳадафи пошидани magnetron анъанавӣ, истифодаи майдони магнитии нобаробар, аз ин рӯ плазма таъсири конвергенсияи маҳаллӣ ба вуҷуд меорад, ҳадафро дар мавқеъи маҳаллии суръати etching sputtering бузург аст, натиҷа ин аст, ки ҳадаф як etching назаррас нобаробар истеҳсол хоҳад кард. Дараҷаи истифодаи мақсаднок умуман тақрибан 30% аст. Бо мақсади баланд бардоштани сатҳи истифодаи маводи мавриди ҳадаф, шумо метавонед як қатор чораҳои такмилдиҳӣ, ба монанди беҳтар кардани шакл ва тақсимоти майдони магнитии мақсаднок, то магнит дар ҳаракати дохилии катод ва ғайра.
Мушкилот дар пошидани ҳадафҳои маводи магнитӣ. Агар ҳадафи пошидан аз маводи дорои гузариши магнитии баланд сохта шуда бошад, хатҳои магнитии қувва мустақиман аз даруни ҳадаф гузашта, падидаи расиши кӯтоҳи магнитиро ба вуҷуд меорад ва ҳамин тавр разряди магнетронро душвор мегардонад. Барои тавлиди майдони магнитии кайҳон, одамон тадқиқотҳои гуногунро анҷом доданд, масалан, барои пур кардани майдони магнитӣ дар дохили маводи мавриди ҳадаф, холигии зиёдеро дар ҳадаф гузошта, ба тавлиди бештари ихроҷи магнитии баландшавии ҳарорати ҳадаф, ё кам кардани гузариши магнитии маводи мавриди ҳадаф.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: Декабри 01-2023