அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பம்

படலங்களை வைப்பதற்கான வெற்றிட ஆவியாதல் முறையின் முக்கிய அம்சம் அதிக படிவு விகிதம் ஆகும். தெளித்தல் முறையின் முக்கிய அம்சம் கிடைக்கக்கூடிய படலப் பொருட்களின் பரந்த வரம்பு மற்றும் படல அடுக்கின் நல்ல சீரான தன்மை ஆகும், ஆனால் படிவு விகிதம் குறைவாக உள்ளது. அயன் பூச்சு என்பது இந்த இரண்டு செயல்முறைகளையும் இணைக்கும் ஒரு முறையாகும்.

அயன் பூச்சு கொள்கை மற்றும் படல உருவாக்க நிலைமைகள்
அயன் பூச்சு செயல்படும் கொள்கை படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது. வெற்றிட அறை 10-4 Pa க்கும் குறைவான அழுத்தத்திற்கு பம்ப் செய்யப்படுகிறது, பின்னர் 0.1~1 Pa அழுத்தத்திற்கு மந்த வாயுவால் (எ.கா. ஆர்கான்) நிரப்பப்படுகிறது. 5 kV வரை எதிர்மறை DC மின்னழுத்தம் அடி மூலக்கூறில் பயன்படுத்தப்பட்ட பிறகு, அடி மூலக்கூறுக்கும் சிலுவைக்கும் இடையில் ஒரு குறைந்த அழுத்த வாயு பளபளப்பு வெளியேற்ற பிளாஸ்மா மண்டலம் நிறுவப்படுகிறது. மந்த வாயு அயனிகள் மின்சார புலத்தால் துரிதப்படுத்தப்பட்டு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பைத் தாக்குகின்றன, இதனால் பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்கின்றன. இந்த சுத்தம் செய்யும் செயல்முறை முடிந்ததும், பூச்சு செயல்முறை சிலுவைக்குள் பூசப்பட வேண்டிய பொருளின் ஆவியாதலுடன் தொடங்குகிறது. ஆவியாக்கப்பட்ட நீராவி துகள்கள் பிளாஸ்மா மண்டலத்திற்குள் நுழைந்து பிரிக்கப்பட்ட மந்த நேர்மறை அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்களுடன் மோதுகின்றன, மேலும் சில நீராவி துகள்கள் பிரிக்கப்பட்டு, மின்சார புலத்தின் முடுக்கத்தின் கீழ் பணிப்பகுதியையும் பூச்சு மேற்பரப்பையும் தாக்குகின்றன. அயனி முலாம் பூசும் செயல்பாட்டில், படிவு மட்டுமல்ல, அடி மூலக்கூறில் நேர்மறை அயனிகளின் சிதறலும் ஏற்படுகிறது, எனவே படிவு விளைவு தெளிப்பு விளைவை விட அதிகமாக இருக்கும்போது மட்டுமே மெல்லிய படலத்தை உருவாக்க முடியும்.

அயனி பூச்சு செயல்முறை, இதில் அடி மூலக்கூறு எப்போதும் உயர் ஆற்றல் அயனிகளால் நிரப்பப்படுகிறது, இது மிகவும் சுத்தமானது மற்றும் தெளித்தல் மற்றும் ஆவியாதல் பூச்சுகளுடன் ஒப்பிடும்போது பல நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.

(1) வலுவான ஒட்டுதல், பூச்சு அடுக்கு எளிதில் உரிக்கப்படுவதில்லை.
(அ) ​​அயன் பூச்சு செயல்பாட்டில், பளபளப்பு வெளியேற்றத்தால் உருவாக்கப்படும் அதிக எண்ணிக்கையிலான உயர் ஆற்றல் துகள்கள், அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒரு கத்தோடிக் ஸ்பட்டரிங் விளைவை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, முழு பூச்சு செயல்முறையும் முடியும் வரை அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் உறிஞ்சப்பட்ட வாயு மற்றும் எண்ணெயைத் தெளித்து சுத்தம் செய்கின்றன.
(ஆ) பூச்சு ஆரம்ப கட்டத்தில், தெளித்தல் மற்றும் படிதல் ஆகியவை இணைந்து வாழ்கின்றன, இது படத் தளத்தின் இடைமுகத்தில் கூறுகளின் ஒரு மாற்ற அடுக்கை உருவாக்கலாம் அல்லது படப் பொருள் மற்றும் அடிப்படைப் பொருளின் கலவையை "போலி-பரவல் அடுக்கு" என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது படத்தின் ஒட்டுதல் செயல்திறனை திறம்பட மேம்படுத்தும்.
(2) நல்ல சுற்று-சுற்று பண்புகள். ஒரு காரணம் என்னவென்றால், பூச்சுப் பொருள் அணுக்கள் அதிக அழுத்தத்தின் கீழ் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு, அடி மூலக்கூறை அடையும் செயல்பாட்டின் போது வாயு மூலக்கூறுகளுடன் பல முறை மோதுகின்றன, இதனால் பூச்சுப் பொருள் அயனிகள் அடி மூலக்கூறைச் சுற்றி சிதறடிக்கப்படலாம். கூடுதலாக, அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட பூச்சுப் பொருள் அணுக்கள் மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படிகின்றன, எனவே முழு அடி மூலக்கூறும் ஒரு மெல்லிய படலத்துடன் படிகிறது, ஆனால் ஆவியாதல் பூச்சு இந்த விளைவை அடைய முடியாது.
(3) பூச்சுகளின் உயர் தரம், டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படலத்தின் மீது நேர்மறை அயனிகள் தொடர்ந்து தாக்கப்படுவதால் ஏற்படும் கண்டன்சேட்டுகள் சிதறுவதால் ஏற்படுகிறது, இது பூச்சு அடுக்கின் அடர்த்தியை மேம்படுத்துகிறது.
(4) உலோகம் அல்லது உலோகம் அல்லாத பொருட்களில் பரந்த அளவிலான பூச்சு பொருட்கள் மற்றும் அடி மூலக்கூறுகளை பூசலாம்.
(5)வேதியியல் நீராவி படிவுடன் (CVD) ஒப்பிடும்போது, ​​இது குறைந்த அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையைக் கொண்டுள்ளது, பொதுவாக 500°C க்கும் குறைவாக இருக்கும், ஆனால் அதன் ஒட்டுதல் வலிமை வேதியியல் நீராவி படிவு படலங்களுடன் முழுமையாக ஒப்பிடத்தக்கது.
(6) அதிக படிவு விகிதம், வேகமான படல உருவாக்கம், மற்றும் பல்லாயிரக்கணக்கான நானோமீட்டர்கள் முதல் மைக்ரான்கள் வரையிலான படலங்களின் தடிமன் பூச முடியும்.

அயன் பூச்சுகளின் தீமைகள்: படத்தின் தடிமனை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியாது; நுண்ணிய பூச்சு தேவைப்படும்போது குறைபாடுகளின் செறிவு அதிகமாக இருக்கும்; பூச்சு செய்யும் போது வாயுக்கள் மேற்பரப்பில் நுழையும், இது மேற்பரப்பு பண்புகளை மாற்றும். சில சந்தர்ப்பங்களில், குழிகள் மற்றும் கருக்கள் (1 nm க்கும் குறைவானது) உருவாகின்றன.

படிவு விகிதத்தைப் பொறுத்தவரை, அயனி பூச்சு ஆவியாதல் முறையுடன் ஒப்பிடத்தக்கது. படலத் தரத்தைப் பொறுத்தவரை, அயனி பூச்சினால் தயாரிக்கப்படும் படலங்கள், தெளித்தல் மூலம் தயாரிக்கப்பட்ட படலங்களுக்கு அருகில் அல்லது சிறந்ததாக இருக்கும்.