வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு கொள்கை
1、வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சுக்கான உபகரணங்கள் மற்றும் இயற்பியல் செயல்முறை
வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு உபகரணங்கள் முக்கியமாக வெற்றிட அறை மற்றும் வெளியேற்ற அமைப்பைக் கொண்டுள்ளன. வெற்றிட அறைக்குள், ஆவியாதல் மூல (அதாவது ஆவியாதல் ஹீட்டர்), அடி மூலக்கூறு மற்றும் அடி மூலக்கூறு சட்டகம், அடி மூலக்கூறு ஹீட்டர், வெளியேற்ற அமைப்பு போன்றவை உள்ளன.
பூச்சுப் பொருள் வெற்றிட அறையின் ஆவியாதல் மூலத்தில் வைக்கப்படுகிறது, மேலும் அதிக வெற்றிட நிலைமைகளின் கீழ், அது ஆவியாதல் மூலத்தால் ஆவியாக்க வெப்பப்படுத்தப்படுகிறது. நீராவி மூலக்கூறுகளின் சராசரி இலவச வரம்பு வெற்றிட அறையின் நேரியல் அளவை விட பெரியதாக இருக்கும்போது, ஆவியாதல் மூலத்தின் மேற்பரப்பில் இருந்து படல நீராவியின் அணுக்கள் மற்றும் மூலக்கூறுகள் தப்பித்த பிறகு, மற்ற மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக்களின் மோதலால் அரிதாகவே தடைபட்டு, பூசப்பட வேண்டிய அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை நேரடியாக அடைகிறது. அடி மூலக்கூறின் குறைந்த வெப்பநிலை காரணமாக, படல நீராவி துகள்கள் அதன் மீது ஒடுங்கி ஒரு படலத்தை உருவாக்குகின்றன.
ஆவியாதல் மூலக்கூறுகள் மற்றும் அடி மூலக்கூறின் ஒட்டுதலை மேம்படுத்த, அடி மூலக்கூறை சரியான வெப்பமாக்கல் அல்லது அயனி சுத்தம் செய்வதன் மூலம் செயல்படுத்தலாம். வெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு பொருள் ஆவியாதல், போக்குவரத்து முதல் படலத்தில் படிதல் வரை பின்வரும் இயற்பியல் செயல்முறைகள் வழியாக செல்கிறது.
(1) மற்ற வகையான ஆற்றலை வெப்ப ஆற்றலாக மாற்ற பல்வேறு வழிகளைப் பயன்படுத்தி, படலப் பொருள் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு ஆற்றலுடன் (0.1 முதல் 0.3 eV வரை) ஆவியாகவோ அல்லது வாயுத் துகள்களாகவோ (அணுக்கள், மூலக்கூறுகள் அல்லது அணுக் கொத்துகள்) பதங்கமாவதற்கு வெப்பப்படுத்தப்படுகிறது.
(2) வாயுத் துகள்கள் படலத்தின் மேற்பரப்பை விட்டு வெளியேறி, ஒரு குறிப்பிட்ட இயக்க வேகத்தில், அடிப்படையில் மோதல் இல்லாமல், நேர்கோட்டில் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்புக்கு கொண்டு செல்லப்படுகின்றன.
(3) அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை அடையும் வாயுத் துகள்கள் ஒன்றிணைந்து அணுக்கருவாக மாறி, பின்னர் ஒரு திட-கட்ட படலமாக வளர்கின்றன.
(4) படலத்தை உருவாக்கும் அணுக்களின் மறுசீரமைப்பு அல்லது வேதியியல் பிணைப்பு.
2、ஆவியாதல் வெப்பமாக்கல்
(1) எதிர்ப்பு வெப்ப ஆவியாதல்
எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் ஆவியாதல் என்பது எளிமையான மற்றும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வெப்பமாக்கல் முறையாகும், இது பொதுவாக 1500℃ க்கும் குறைவான உருகுநிலை கொண்ட பூச்சுப் பொருட்களுக்குப் பொருந்தும், கம்பி அல்லது தாள் வடிவத்தில் உள்ள அதிக உருகுநிலை உலோகங்கள் (W, Mo, Ti, Ta, போரான் நைட்ரைடு, முதலியன) பொதுவாக பொருத்தமான வடிவ ஆவியாதல் மூலத்தை உருவாக்கி, ஆவியாதல் பொருட்களால் ஏற்றப்படுகின்றன, மின்சாரத்தின் ஜூல் வெப்பத்தின் மூலம் முலாம் பூசும் பொருளை உருக்க, ஆவியாக்க அல்லது பதங்கப்படுத்த, ஆவியாதல் மூலத்தின் வடிவத்தில் முக்கியமாக பல-ஸ்ட்ராண்ட் சுழல், U- வடிவ, சைன் அலை, மெல்லிய தட்டு, படகு, கூம்பு கூடை போன்றவை அடங்கும். அதே நேரத்தில், இந்த முறைக்கு ஆவியாதல் மூலப் பொருள் அதிக உருகுநிலை, குறைந்த செறிவூட்டல் நீராவி அழுத்தம், நிலையான வேதியியல் பண்புகள், அதிக வெப்பநிலையில் பூச்சுப் பொருளுடன் வேதியியல் எதிர்வினை இல்லாதது, நல்ல வெப்ப எதிர்ப்பு, சக்தி அடர்த்தியில் சிறிய மாற்றம் போன்றவற்றைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். இது ஆவியாதல் மூலத்தின் மூலம் அதிக மின்னோட்டத்தை ஏற்றுக்கொள்கிறது, அதை நேரடி வெப்பமாக்குவதன் மூலம் படப் பொருளை வெப்பமாக்கி ஆவியாக்குகிறது, அல்லது படப் பொருளை கிராஃபைட் மற்றும் சில உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு உலோக ஆக்சைடுகள் (A202, B0 போன்றவை) மற்றும் மறைமுக வெப்பமாக்கலுக்கான பிற பொருட்களால் ஆன சிலுவைக்குள் வைக்கிறது. ஆவியாகின்றன.
எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் பூச்சு வரம்புகளைக் கொண்டுள்ளது: பயனற்ற உலோகங்கள் குறைந்த நீராவி அழுத்தத்தைக் கொண்டுள்ளன, இது மெல்லிய படலத்தை உருவாக்குவது கடினம்; சில கூறுகள் வெப்பமூட்டும் கம்பியுடன் ஒரு கலவையை உருவாக்குவது எளிது; அலாய் படலத்தின் சீரான கலவையைப் பெறுவது எளிதல்ல. எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் எளிய அமைப்பு, குறைந்த விலை மற்றும் எளிதான செயல்பாடு காரணமாக, இது ஆவியாதல் முறையின் மிகவும் பொதுவான பயன்பாடாகும்.
(2) எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமாக்கல் ஆவியாதல்
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் என்பது பூச்சுப் பொருளை நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்பு சிலுவைக்குள் வைப்பதன் மூலம் உயர் ஆற்றல் அடர்த்தி கொண்ட எலக்ட்ரான் கற்றை மூலம் குண்டு வீசுவதன் மூலம் ஆவியாக்கும் ஒரு முறையாகும். ஆவியாதல் மூலமானது ஒரு எலக்ட்ரான் உமிழ்வு மூலம், ஒரு எலக்ட்ரான் முடுக்கம் சக்தி மூலம், ஒரு சிலுவை (பொதுவாக ஒரு செப்பு சிலுவை), ஒரு காந்தப்புல சுருள் மற்றும் ஒரு குளிரூட்டும் நீர் தொகுப்பு போன்றவற்றைக் கொண்டுள்ளது. இந்த சாதனத்தில், சூடான பொருள் நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட சிலுவைக்குள் வைக்கப்படுகிறது, மேலும் எலக்ட்ரான் கற்றை பொருளின் மிகச் சிறிய பகுதியை மட்டுமே தாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் மீதமுள்ள பெரும்பாலான பொருள் சிலுவையின் குளிரூட்டும் விளைவின் கீழ் மிகக் குறைந்த வெப்பநிலையில் இருக்கும், இது சிலுவையின் குண்டு வீசப்பட்ட பகுதியாகக் கருதப்படுகிறது. எனவே, ஆவியாதலுக்கான எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பப்படுத்தும் முறை பூச்சுப் பொருளுக்கும் ஆவியாதல் மூலப் பொருளுக்கும் இடையிலான மாசுபாட்டைத் தவிர்க்கலாம்.
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலத்தின் அமைப்பை மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: நேரான துப்பாக்கிகள் (பவுல்ஸ் துப்பாக்கிகள்), வளைய துப்பாக்கிகள் (மின்சாரத்தால் திசைதிருப்பப்பட்டவை) மற்றும் மின்-துப்பாக்கிகள் (காந்தத்தால் திசைதிருப்பப்பட்டவை). ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட சிலுவைகளை ஒரு ஆவியாதல் வசதியில் வைக்கலாம், அவை ஒரே நேரத்தில் அல்லது தனித்தனியாக ஆவியாகி பல வேறுபட்ட பொருட்களைப் படிய வைக்கும்.
எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் மூலங்கள் பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன.
① எலக்ட்ரான் கற்றை குண்டுவீச்சு ஆவியாதல் மூலத்தின் உயர் கற்றை அடர்த்தி, எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் மூலத்தை விட மிக அதிக ஆற்றல் அடர்த்தியைப் பெறலாம், இது W, Mo, Al2O3 போன்ற உயர் உருகுநிலை பொருட்களை ஆவியாக்கக்கூடும்.
②பூச்சுப் பொருள் நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்பு சிலுவையில் வைக்கப்படுகிறது, இது ஆவியாதல் மூலப் பொருளின் ஆவியாதல் மற்றும் அவற்றுக்கிடையேயான எதிர்வினையைத் தவிர்க்கலாம்.
③பூச்சுப் பொருளின் மேற்பரப்பில் வெப்பத்தை நேரடியாகச் சேர்க்கலாம், இது வெப்பத் திறனை அதிகமாகவும், வெப்பக் கடத்தல் மற்றும் வெப்பக் கதிர்வீச்சு இழப்பைக் குறைக்கவும் செய்கிறது.
எலக்ட்ரான் கற்றை வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் தீமை என்னவென்றால், எலக்ட்ரான் துப்பாக்கியிலிருந்து முதன்மை எலக்ட்ரான்களும், பூச்சுப் பொருளின் மேற்பரப்பில் இருந்து இரண்டாம் நிலை எலக்ட்ரான்களும் ஆவியாகும் அணுக்கள் மற்றும் எஞ்சிய வாயு மூலக்கூறுகளை அயனியாக்கும், இது சில நேரங்களில் படத்தின் தரத்தை பாதிக்கும்.
(3) உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல்
உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் என்பது உயர் அதிர்வெண் சுழல் சுருளின் மையத்தில் பூச்சுப் பொருளுடன் கூடிய சிலுவையை வைப்பதாகும், இதனால் பூச்சுப் பொருள் உயர் அதிர்வெண் மின்காந்த புலத்தின் தூண்டலின் கீழ் வலுவான சுழல் மின்னோட்டத்தையும் ஹிஸ்டெரிசிஸ் விளைவையும் உருவாக்குகிறது, இது பட அடுக்கு ஆவியாகி ஆவியாகும் வரை வெப்பமடைகிறது. ஆவியாதல் மூலமானது பொதுவாக நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட உயர்-அதிர்வெண் சுருள் மற்றும் கிராஃபைட் அல்லது பீங்கான் (மெக்னீசியம் ஆக்சைடு, அலுமினியம் ஆக்சைடு, போரான் ஆக்சைடு, முதலியன) சிலுவையைக் கொண்டுள்ளது. உயர் அதிர்வெண் மின்சாரம் பத்தாயிரம் முதல் பல லட்சம் ஹெர்ட்ஸ் அதிர்வெண்ணைப் பயன்படுத்துகிறது, உள்ளீட்டு சக்தி பல முதல் பல நூறு கிலோவாட் வரை இருக்கும், சவ்வுப் பொருளின் அளவு சிறியதாக இருந்தால், தூண்டல் அதிர்வெண் அதிகமாகும். தூண்டல் சுருள் அதிர்வெண் பொதுவாக நீர்-குளிரூட்டப்பட்ட செப்புக் குழாயால் ஆனது.
உயர் அதிர்வெண் தூண்டல் வெப்பமூட்டும் ஆவியாதல் முறையின் தீமை என்னவென்றால், உள்ளீட்டு சக்தியை நன்றாக சரிசெய்வது எளிதல்ல, இது பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது.
①அதிக ஆவியாதல் விகிதம்
②ஆவியாதல் மூலத்தின் வெப்பநிலை சீரானது மற்றும் நிலையானது, எனவே பூச்சு துளிகள் தெறிக்கும் நிகழ்வை உருவாக்குவது எளிதானது அல்ல, மேலும் இது டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படலத்தில் துளைகள் ஏற்படும் நிகழ்வையும் தவிர்க்கலாம்.
③ ஆவியாதல் மூலமானது ஒரு முறை ஏற்றப்படுகிறது, மேலும் வெப்பநிலை ஒப்பீட்டளவில் எளிதானது மற்றும் கட்டுப்படுத்த எளிதானது.
இடுகை நேரம்: அக்டோபர்-28-2022