1. Egenskaper hos elektronflödet i ljusbåge
Densiteten hos elektronflöde, jonflöde och högenergiska neutrala atomer i bågplasma som genereras av bågurladdning är mycket högre än den hos glimurladdning. Det finns fler joniserade gasjoner och metalljoner, exciterade högenergiska atomer och olika aktiva grupper i beläggningsutrymmet, vilka spelar en viktig roll i uppvärmnings-, rengörings- och beläggningsstegen i beläggningsprocessen. Verkningsformen för bågelektronflöde skiljer sig från jonstrålens, vilka inte alla konvergerar till en "stråle", utan mestadels i ett divergerande tillstånd, så det kallas bågelektronflöde. Eftersom bågelektroner flödar mot anoden riktas bågelektronflödet dit den positiva elektroden på bågströmförsörjningen är ansluten, och anoden kan vara ett arbetsstycke, en hjälpanod, en degel etc.
2. Metod för att generera bågelektronflöde
(1) Gaskällan genererar bågelektronflöde: bågströmmen för urladdning av hålkatodbågar och urladdning av hettrådsbågar kan nå cirka 200 A, och bågspänningen är 50-70 V.
(2) En fast källa genererar elektronflöde från en båge: katodbågskälla, inklusive liten bågskälla, cylindrisk bågskälla, rektangulär plan stor bågskälla, etc. Bågströmmen för varje katodbågskällas urladdning är 80-200A, och bågspänningen är 18-25V.
Elektronflödet med hög densitet och låg energi i två typer av urladdningsplasmor i ljusbågen kan generera intensiv kollisionisering med gas- och metallfilmatomer, vilket ger fler gasjoner, metalljoner och olika högenergiska aktiva atomer och grupper, vilket förbättrar den totala aktiviteten hos filmskiktjonerna.
–Denna artikel publicerades av Guangdong Zhenhua, entillverkare av vakuumbeläggningsmaskiner
Publiceringstid: 31 maj 2023