Utrustningen använder elektronstråleavdunstningsteknik. Elektroner avges från katodtråden och fokuseras till en viss strålström, som accelereras av potentialen mellan katoden och degeln för att smälta och avdunsta beläggningsmaterialet. Den har egenskaper som hög energitäthet och kan avdunsta beläggningsmaterialet med en smältpunkt på mer än 3000 ℃. Filmen har hög renhet och hög termisk verkningsgrad.
Utrustningen är utrustad med elektronstråleförångningskälla, jonkälla, system för övervakning av filmtjocklek, korrigeringsstruktur för filmtjocklek och stabilt paraplysystem för arbetsstyckets rotation. Genom jonkällassisterad beläggning ökas filmens kompakthet, brytningsindex stabiliseras och fenomenet med våglängdsförskjutning på grund av fukt undviks. Det helautomatiska realtidsövervakningssystemet för filmtjocklek kan säkerställa processens repeterbarhet och stabilitet. Den är utrustad med självsmältande funktion för att minska beroendet av operatörens färdigheter.
Utrustningen är tillämplig på olika oxider och metallbeläggningsmaterial och kan beläggas med flerskiktade precisionsoptiska filmer, såsom AR-film, långvågsfilm, kortvågsfilm, ljusfilm, AS/AF-film, IRCUT, färgfilmssystem, gradientfilmssystem etc. Den har använts i stor utsträckning i AR-glasögon, optiska linser, kameror, optiska linser, filter, halvledarindustrier etc.