Parabot ngadopsi téknologi évaporasi sinar éléktron. Éléktron dipancarkeun tina filamén katoda sareng dipokuskeun kana arus sinar anu tangtu, anu digancangan ku poténsi antara katoda sareng crucible pikeun ngalembereh sareng nguap bahan palapis. Cai mibanda ciri dénsitas énergi anu luhur sareng tiasa nguap bahan palapis kalayan titik lebur langkung ti 3000 ℃. pilem ngabogaan purity tinggi jeung efisiensi termal tinggi.
Alat-alatna dilengkepan sumber évaporasi sinar éléktron, sumber ion, sistem ngawaskeun ketebalan pilem, struktur koreksi ketebalan pilem sareng sistem rotasi workpiece payung anu stabil. Ngaliwatan palapis ditulungan sumber ion, compactness film ngaronjat, indéks réfraktif stabilized, sarta fenomena shift panjang gelombang alatan Uap dihindari. The full-otomatis ketebalan pilem real-time Sistim ngawaskeun bisa mastikeun repeatability jeung stabilitas prosés. Hal ieu dilengkepan fungsi timer lebur pikeun ngurangan gumantungna kana kaahlian operator urang.
Alat-alatna lumaku pikeun sagala rupa oksida sareng bahan palapis logam, sareng tiasa dilapis ku pilem optik precision multi-lapisan, sapertos pilem AR, gelombang panjang, gelombang pondok, pilem cerah, pilem AS / AF, IRCUT, sistem pilem warna, sistem pilem gradién, jsb.