Kenyelletso ea theknoloji ea ho roala mouoane oa vacuum

2, Mouoane futhumatsang

(1) Ho hanyetsa mocheso ho tsoa mouoane
Resistance heat evaporation ke mokhoa o bonolo ka ho fetisisa oa ho futhumatsa o sebelisoang ka ho fetesisa, oo ka kakaretso o sebetsang ho thepa ea ho roala e nang le ntlha e qhibilihang ka tlase ho 1500 ℃, tšepe e phahameng e qhibilihang ka terata kapa sebopeho sa lakane (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, jj.) lintho tse bonahalang plating, sebōpeho sa mohloli e le mouoane haholo-holo akarelletsa mefuta e mengata ea spiral, U-shaped, sine wave, poleiti tšesaane, sekepe, cone baskete, joalo-joalo Ka nako e tšoanang, mokhoa o hloka hore mohloli oa mouoane o be le ntlha e phahameng ea ho qhibiliha, khatello e tlaase ea mouoane, thepa e tsitsitseng ea lik'hemik'hale, e se ke ea e-ba le lik'hemik'hale tse nang le lik'hemik'hale tse nang le thepa ea ho roala ka mocheso o phahameng, phetoho e phahameng ea mocheso, phetoho e ntle ea mocheso, joalo-joalo. mohloli ho etsa hore ho futhumatsa le mouoane lintho tse bonahalang filimi ka ho futhumatsa ka ho toba, kapa beha lintho tse bonahalang filimi ka crucible entsoe ka graphite le itseng mocheso phahameng manganga oxides tšepe (joaloka A202, B0) le lisebelisoa tse ling bakeng sa futhumatsang e sa tobang ho fetoha mouoane.
Ho hanyetsa mocheso oa ho futhumatsa mouoane ho na le mefokolo: litšepe tse refractory li na le khatello e tlaase ea mouoane, eo ho leng thata ho etsa filimi e tšesaane; likarolo tse ling li bonolo ho etsa motsoako o nang le terata e futhumatsang; ha ho bonolo ho fumana sebopeho se ts'oanang sa filimi ea alloy. Ka lebaka la sebopeho se bonolo, theko e tlase le ts'ebetso e bonolo ea ho hanyetsa mocheso oa mouoane mokhoa, ke ts'ebeliso e tloaelehileng haholo ea mokhoa oa mouoane.

(2) Mouoane oa mocheso oa mollo oa elektrone
Elektrone beam evaporation ke mokhoa oa ho etsa mouoane thepa ea ho roala ka ho e phunya ka sekhahla sa elektrone se nang le matla a phahameng ka ho se beha ka har'a crucible ea koporo e pholileng ka metsi. Mohloli oa mouoane o na le mohloli oa motlakase oa elektronike, mohloli oa matla a ho potlakisa elektronike, crucible (hangata ke koporo ea koporo) , coil ea magnetic field, le sete ea metsi a pholileng, joalo-joalo ka sesebelisoa sena, thepa e futhumetseng e kenngoa ka har'a crucible e pholileng ea metsi, 'me sefate sa elektronike se ntse se phatloha, ha karolo e nyenyane haholo ea mocheso o ntse o le tlase haholo, e ntse e le karolo e nyenyane haholo ea mocheso o fokolang haholo. crucible, e ka nkoang e le karolo e phunyeletsoeng ea crucible. Kahoo, mokhoa oa ho futhumatsa sefate sa elektronike bakeng sa mouoane o ka qoba tšilafalo pakeng tsa thepa ea ho roala le mohloli oa mohloli oa mouoane.
Sebopeho sa mohloli oa elektrone beam evaporation e ka aroloa ka mefuta e meraro: lithunya tse otlolohileng (lithunya tsa Boules), lithunya tsa lesale (tse khelohileng ka motlakase) le li-e-guns (tse khelohileng ka matla). Sekoahelo se le seng kapa ho feta se ka beoa sebakeng sa mouoane, se ka fetohang mouoane le ho beha lintho tse ngata tse fapaneng ka nako e le 'ngoe kapa ka thoko.

Mehloli ea elektrone beam evaporation e na le melemo e latelang.
① Bongata bo phahameng ba mahlaseli a mohloli oa mouoane oa electron beam bombardment bo ka fumana matla a matla ho feta mohloli oa mocheso o hanyetsang, o ka ntšang lisebelisoa tse phahameng tsa ho qhibiliha, joalo ka W, Mo, Al2O3, joalo-joalo.
② Thepa ea ho roala e kenngoa ka har'a crucible ea koporo e pholileng ka metsi, e ka qobang ho tsoa mouoane oa mohloli oa mouoane, le karabelo pakeng tsa bona.
③Mocheso o ka eketsoa ka kotloloho holim'a thepa ea ho roala, e etsang hore ts'ebetso ea mocheso e be holimo le ho lahleheloa ke mocheso oa mocheso le mahlaseli a mocheso tlaase.
The go tlhoka mesola ea elektrone lebanta futhumatsang mouoane mokhoa ke hore lielektrone ka sehloohong ho tloha sethunya elektrone le lielektrone bobeli ho tloha holim'a thepa barbotage tla ionize liathomo evaporating le mesaletsa ea limolek'hule khase, e leng tla ama boleng ba filimi ka linako tse ling.

(3) Mouoane o phahameng oa mocheso oa ho futhumatsa
Mofuthu oa mocheso o phahameng oa maqhubu ke ho beha crucible ka thepa ea ho roala bohareng ba sepakapaka se phahameng sa maqhubu, e le hore thepa ea ho roala e hlahise eddy e matla hona joale le phello ea hysteresis tlas'a ho kenngoa ha tšimo e phahameng ea maqhubu a motlakase, e etsang hore lesela la filimi le futhumale ho fihlela le fetoha mouoane le ho fetoha mouoane. Mohloli oa mouoane hangata o na le khoele ea maqhubu a phahameng a pholileng ka metsi le graphite kapa ceramic (magnesium oxide, aluminium oxide, boron oxide, joalo-joalo). Matla a matla a maqhubu a phahameng a sebelisa maqhubu a likete tse leshome ho isa ho tse makholo a 'maloa a Hz, matla a ho kenya ke li-kilowatts tse' maloa ho isa ho tse makholo a 'maloa, ho fokotseha ha molumo oa lisebelisoa tsa membrane, ho phahamisa maqhubu a induction. Hangata li-coil tsa induction li entsoe ka tube ea koporo e pholileng ka metsi.
Bobebe ba mokhoa oa ho futhumala ha mocheso o phahameng oa maqhubu ke hore ha ho bonolo ho lokisa matla a ho kenya, o na le melemo e latelang.
①Sekhahla se phahameng sa mouoane
② Thempereichara ea mohloli oa mouoane e ts'oana ebile e tsitsitse, ka hona ha ho bonolo ho hlahisa ts'ebetso ea marotholi a ho roala, hape e ka qoba ts'ebetso ea li-pinholes filiming e kentsoeng.
③Mohloli oa mouoane o laeloa hang, 'me mocheso o batla o le bonolo ebile o bonolo ho o laola.