Карактеристике магнетронског распршивања премаза
(3) Распршивање ниске енергије. Због ниског напона катоде примењеног на мету, плазма је везана магнетним пољем у простору близу катоде, чиме се инхибирају наелектрисане честице високе енергије са стране подлоге коју су људи погодили. Стога је степен оштећења подлоге, као што су полупроводнички уређаји, изазван бомбардовањем наелектрисаним честицама, мањи него код других метода распршивања.
(4) Ниска температура подлоге. Брзина магнетронског распршивања је висока, јер се катодна мета налази у магнетном пољу унутар региона, односно на стази за пражњење мете унутар мале локализоване области, где је концентрација електрона висока, док је ван региона магнетног ефекта, посебно далеко од магнетног поља у близини површине подлоге, концентрација електрона због дисперзије знатно нижа, а може бити чак и нижа него код диполног распршивања (због разлике у притиску два радна гаса за ред величине). Стога, под условима магнетронског распршивања, концентрација електрона који бомбардују површину подлоге је знатно нижа него код обичног диодног распршивања, а прекомерно повећање температуре подлоге се избегава због смањења броја електрона који падају на подлогу. Поред тога, код методе магнетронског распршивања, анода уређаја за магнетронско распршивање може бити постављена око катоде, а држач подлоге такође може бити неуземљен и у потенцијалу суспензије, тако да електрони не могу проћи кроз уземљени држач подлоге и отићи кроз аноду, чиме се смањују високоенергетски електрони који бомбардују позлаћену подлогу, смањујући повећање топлоте подлоге изазвано електронима и значајно слабећи секундарно електронско бомбардовање подлоге што резултира стварањем топлоте.
(5) Неравномерно нагризање мете. Код традиционалне магнетронске распршивачке мете, употреба неравномерног магнетног поља ствара ефекат локалне конвергенције плазме, што доводи до велике брзине распршивања нагризања мете на локалном положају, што резултира значајним неравномерним нагризањем. Стопа искоришћења мете је генерално око 30%. Да би се побољшала стопа искоришћења материјала мете, могу се предузети разне мере за побољшање, као што је побољшање облика и расподеле магнетног поља мете, тако да се магнет у унутрашњем покрету катоде мете помера и тако даље.
Тешкоће у распршивању магнетних материјалних мета. Ако је мета за распршивање направљена од материјала са високом магнетном пермеабилношћу, магнетне линије силе ће проћи директно кроз унутрашњост мете, што ће довести до феномена магнетног кратког споја, што отежава магнетронско пражњење. Да би се генерисало просторно магнетно поље, људи су спровели разне студије, на пример, да би се заситило магнетно поље унутар материјала мете, остављајући много празнина у мети како би се подстакло стварање већег цурења услед повећања температуре магнетне мете или да би се смањила магнетна пермеабилност материјала мете.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 01.12.2023.