Mabda'a dahaarka uumiga vacuum
1. Qalabka iyo habka jirka ee daahan uumiga vacuum
Qalabka dahaarka uumi-baxa wuxuu inta badan ka kooban yahay qolka faakuumka iyo habka daadgureynta. Gudaha qolka faakuumka, waxaa jira isha uumiga (sida kuleyliyaha uumiga), substrate iyo frame frame, kuleyliyaha substrate, habka qiiqa, iwm.
Qalabka dahaarka ah waxaa lagu dhejiyaa isha uumiga ee qolka faakuumka, iyo xaaladaha faakuumka sare, waxaa lagu kululeeyaa isha uumiga si uu u baxo. Marka celceliska tirada xorta ah ee molecules uumiga uu ka weyn yahay cabbirka toosan ee qolka faakuumka, ka dib atamka iyo molecules-ka filimku uumiga ka soo baxsaday dusha isha uumiga, marar dhif ah ayaa caqabad ku noqda isku dhaca unugyo kale ama atamka, oo si toos ah u gaadha dusha sare ee substrate si loo daboolo. Heerkulka hoose ee substrate-ka awgeed, qaybaha uumiga filimka ayaa isku ururiya oo sameeya filim.
Si loo hagaajiyo ku-xidhka molecules uumi-baxa iyo substrate-ka, substrate-ka waxaa lagu hawlgelin karaa kuleyl habboon ama nadiifinta ion. Dahaarka uumiga faakiyuumku waxa uu maraa hababka jidheed ee soo socda laga bilaabo uumiga walxaha, gaadiidka ilaa meel dhigista filimka.
(1) Isticmaalka habab kala duwan si loogu beddelo noocyada kale ee tamarta tamarta kulaylka, walxaha filimku waa la kululeeyaa si ay u uumi-baxa ama u daadi qaybo gaas ah (atoms, molecules ama rucubyada atomiga) oo leh qadar tamar ah (0.1 ilaa 0.3 eV).
(2) Qaybaha gaaska waxay ka baxaan dusha sare ee filimka waxaana lagu geeyaa dusha sare ee substrate-ka xawaare gaar ah, asal ahaan iyada oo aan shil lahayn, oo toosan.
(3) Qaybaha gaaska oo gaadha dusha sare ee substrate-ku waxay isku daraan oo nukleate, ka dibna u koraan filim adag.
(4) Dib-u-habaynta ama isku-xidhka kiimikada ee atamka ka kooban filimka.
2. kululaynta uumiga
(1) Uumi kululaynta iska caabinta
Uumiga kululaynta iska caabintu waa habka ugu fudud uguna badan ee loo isticmaalo kulaylka, guud ahaan lagu dabaqi karo alaabta daahan oo leh dhibic dhalaalaysa ka hooseeya 1500 ℃, biraha dhibic dhalaalaysa sare ee silig ama sheet qaabka (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, iwm) waxaa sida caadiga ah loo sameeyey qaab ku habboon isha uumiga, raran alaabta uumiga, iyada oo loo marayo kulka Joule ee qaabka hadda korontada isha uumiga inta badan waxaa ka mid ah spiral multi-strand, U-qaabeeya, mawjada sinaha, saxan khafiif ah, doon, kolayba dambiisha, iwm Isla mar ahaantaana, habka u baahan yahay wax il uumiga si ay u leeyihiin dhibic dhalaalaysa sare, cadaadiska uumiga uumiga hooseeyo, guryaha kiimikaad deggan, ma laha falcelin kiimikaad la walxaha daahan heerkulka sare, kulaylka wanaagsan iska caabin ah, isbeddel yar ee cufnaanta filimka, iyo wixii la mid ah waxa ay kor u qaadida wax uumi kululeeyo. Kuleyl toos ah, ama ku rid walxaha filimka ku jira weel ka samaysan graphite iyo qaar ka mid ah oksaydhyada birta u adkaysta heerkulka sare (sida A202, B0) iyo agabyada kale ee kululaynta tooska ah si ay u uumibaxdo.
Dahaarka uumiga kululaynta iska caabintu waxay leedahay xaddidaadyo: biraha refractory waxay leeyihiin cadaadiska uumiga hooseeya, taas oo ay adag tahay in la sameeyo filim khafiif ah; walxaha qaarkood way fududahay in la sameeyo daawaha leh fiilada kuleylka; Ma fududa in la helo halbeeg isku mid ah oo ah filimka daawaha. Sababtoo ah qaab-dhismeedka fudud, qiimaha hooseeya iyo hawlgalka fudud ee habka kuleylka kuleylka, waa codsi aad u badan oo ah habka uumiga.
(2) Uumi kululaynta alwaax koronto
Uumi-baxa korantada waa hab lagu soo daadiyo walxaha dahaarka ah iyadoo lagu duqeeyo laydhka elektarooniga ah ee cufnaanta tamarta sare leh iyadoo la gelinayo weel biyo qaboojiye ah oo naxaas ah. Ilaha uumi-baxa wuxuu ka kooban yahay isha qiiqa elektarooniga ah, isha dardargelinta elektiroonigga ah, qulqulka (sida caadiga ah crucible copper) , gariiradda magnetic field, iyo qaboojinta biyaha, iwm. Qalabkan, walxaha kulaylka ah waxaa lagu dhejiyaa weel biyo qaboojin ah, iyo alwaax elektaroonig ah ayaa duqeeya kaliya qayb aad u yar oo ka mid ah walxaha ugu hooseeya ee heerkulka hoostiisa. crucible, kaas oo loo arki karo inay tahay qaybta la duqeeyay ee saqafka. Sidaa darteed, habka kuleylka elektarooniga ah ee uumiga wuxuu ka fogaan karaa wasakheynta u dhaxaysa walxaha daahan iyo walxaha isha uumiga.
Qaab-dhismeedka isha uumi-baxa elektarooniga ah waxa loo qaybin karaa saddex nooc: qoryaha tooska ah (Boules guns) , gunnada giraanta (koronto ahaan la leexiyo) iyo e-guns (magnetically leexday) . Hal ama in ka badan oo crucibles ah ayaa la gelin karaa goob uumiga, kaas oo uumi karo oo dhigi kara walxo badan oo kala duwan isku mar ama si gooni gooni ah.
Ilaha uumiga korontadu waxay leeyihiin faa'iidooyinka soo socda.
① The cufnaanta beam sare ee isha uumiga bam elektarooniga heli kartaa cufnaanta tamar fog ka weyn yahay isha kulaylka iska caabin ah, kaas oo uumi karaa qalabka dhibic dhalaalaysa sare, sida W, Mo, Al2O3, iwm.
②Waxyaabaha dahaadhka ah waxaa lagu dhejiyaa weel naxaas ah oo biyo qaboojiye ah, kaas oo ka fogaan kara uumiga alaabta ilaha uumiga, iyo falcelinta dhexdooda.
③ Kulaylka ayaa si toos ah loogu dari karaa dusha sare ee alaabta daahan, taas oo ka dhigaysa waxtarka kulaylka sare iyo luminta kulaylka iyo shucaaca kulaylku hooseeyo.
Khasaaraha ka jira habka uumiga kululaynta alwaax elektarooniga ah waa in electrons aasaasiga ah ee qoriga elektarooniga ah iyo elektarooniga sare ee dusha alaabta daahan ionize doonaa atamka uumi iyo molecules gaaska haraaga ah, taas oo saamayn doonta tayada filimka mararka qaarkood.
(3) Uumi kululaynta soo noqnoqda ee soo noqnoqoshada badan
Uumiga kuleylka soo noqnoqda ee soo noqnoqda ayaa ah in la dhigo qulqulka leh walxaha dahaarka ee xarunta gariiradda-soo noqnoqda-sare ee gariiradda, sidaa darteed maaddada dahaarka ayaa soo saarta qulqulka xooggan ee hadda jira iyo saamaynta hysteresis ee hoos yimaada soo-saarka heerka-sare ee elektromagnetic, taas oo sababta lakabka filimku inuu kululeeyo ilaa uu uumi baxo oo uumi baxo. Isha uumiga guud ahaan waxa uu ka kooban yahay gariiradda sare-sare ee biyaha qaboojiyey iyo graphite ama dhoobada (magnesium oxide, aluminium oxide, boron oxide, iwm) qolof ah. Korontada soo noqnoqda ee sarreeya waxay isticmaashaa inta jeer ee toban kun ilaa dhowr boqol oo kun oo Hz ah, awoodda wax gelinta waa dhowr ilaa dhowr boqol oo kilowatts, yaraanta mugga walxaha xuubka, ayaa sarreeya inta jeer ee soo-saarka. Inta jeer ee gariiradda induction induction waxaa badanaa laga sameeyaa tuubo naxaas ah oo biyaha qaboojiyay.
Khasaaraha sare ee habka uumiga kuleylka induction induction waa in aysan sahlaneyn in si fiican loo hagaajiyo awoodda wax gelinta, waxay leedahay faa'iidooyinka soo socda.
①Heerka uumiga sare
② Heerkulka isha uumiga waa mid isku mid ah oo deggan, sidaa darteed ma fududa in la soo saaro ifafaale ee dhibco daahan firidhsan, iyo waxa ay sidoo kale ka fogaan kartaa ifafaale pinholes on filimka kaydsan.
③Isha uumiga ayaa la raray hal mar, heerkulkuna aad buu u fudud yahay oo fudud in la xakameeyo.
Waqtiga boostada: Oct-28-2022