Fa'avae o le fa'alavalava fa'a'a'asa
1, Meafaigaluega ma le faagasologa faaletino o le gaogao evaporation coating
O le masini fa'a'ave'esea fa'amama e masani ona aofia ai potu gaogao ma faiga fa'asao. I totonu o le potu gaogao, o loʻo i ai faʻapogai faʻafefe (e pei o le faʻavevela afi), mea faʻapipiʻi ma mea faʻapipiʻi, faʻavevela substrate, faʻavevela, ma isi.
O le mea faʻapipiʻi o loʻo tuʻuina i totonu o le puna evaporation o le potu gaogao, ma i lalo o tulaga gaogao maualuga, e faamafanafanaina e le puna evaporation e evaporate. Pe a sili atu le tele o fualaʻau fua o le ausa nai lo le laina laina o le potu gaogao, pe a maeʻa ona sola ese mai le ausa o le ata tifaga mai luga o le puna o le ausa, e seasea faʻalavelaveina e le fetoʻai o isi molelaʻau poʻo atoms, ma oʻo saʻo i luga o le substrate e ufiufi. Ona o le maualalo o le vevela o le substrate, o le ausa o ata tifaga e faʻafefe i luga ma fausia ai se ata.
Ina ia faʻaleleia atili le faʻapipiʻiina o molelaʻau evaporation ma substrate, e mafai ona faʻagaoioia le substrate e ala i le faʻamafanafana lelei poʻo le faʻamamaina o le ion. O le fa'amama fa'afuifu fa'alavalava e alu i faiga fa'aletino nei mai le fa'asaoina o meafaitino, felauaiga i le tu'uina i totonu o se ata tifaga.
(1) Faʻaaogaina auala eseese e faʻaliliu ai isi ituaiga o le malosi i le malosi vevela, o mea ata tifaga e faʻavevela e faʻafefe pe faʻapipiʻi i totonu o mea kasa (atoms, molecules poʻo fuifui atomika) ma se aofaiga o le malosi (0.1 i le 0.3 eV).
(2) O vaega kasa e alu ese mai luga o le ata tifaga ma feaveaʻi i luga o le substrate i se saoasaoa o le gaioiga, e aunoa ma se faʻalavelave, i se laina saʻo.
(3) O mea kasa e o'o atu i luga o le substrate fa'afefiloi ma nucleate, ona tupu a'e lea i totonu o se ata tifaga malo.
(4) Toe fa'atulagaina po'o le fa'apipi'iina o vaila'au o atoma o lo'o fausia ai le ata.
2, fa'avevela fa'avevela
(1) Tete'e fa'avevela afi
O le faʻafefeteina o le vevela o le auala sili ona faigofie ma masani ona faʻaaogaina, e masani ona faʻaogaina i mea faʻapipiʻi ma le mea faʻafefe i lalo ole 1500 ℃, uʻamea maualuga maualuga i le uaea poʻo foliga laupepa (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, ma isi) e masani ona faia i se foliga talafeagai o le puna faʻafefe, faʻapipiʻiina i mea e faʻafefe ai, e ala i le eletise o loʻo i ai nei, e ala i le vevela o le Joule. foliga o puna evaporation e masani lava e aofia ai le tele-strand spiral, U-foliga, galu sine, ipu manifinifi, vaa, ato cone, ma isi. I le taimi lava lea e tasi, o le auala e manaomia ai le mea puna puna eva e maua ai le maualuga o le liusuavai, maualalo le malosi o le ausa saturation, mautu mea tau kemikolo, e le o iai ni vailaau faʻamaʻi ma le mea faʻapipiʻi i le vevela maualuga, lelei le vevela, suiga laiti i le vevela maualuga o loʻo i ai nei e ala i le faʻaogaina o le vevela vevela, ma isi. e ala i le fa'avevela sa'o, po'o le tu'u o mea ata tifaga i totonu o le ipu fa'ameamea e fai i le kalafi ma nisi u'amea u'amea e tete'e i le vevela (pei o le A202, B0) ma isi mea mo le fa'avevela fa'ato'a e fa'avela.
E iai tapula'a le pa'u fa'avevela fa'avevela fa'a'ese'ese: o u'amea fa'ato'a e maualalo le mamafa o le ausa, lea e faigata ona fai ata manifinifi; o nisi elemene e faigofie ona fai se mea faʻapipiʻi ma le uaea faʻamafanafana; e le faigofie ona maua se tu'uga tutusa o le ata fa'ameamea. Ona o le fausaga faigofie, tau maualalo ma le faagaioiina faigofie o le tetee faamafanafana auala evaporation, o se faʻaaogaina masani o le faʻaogaina o auala.
(2) Fa'asao fa'avevela fa'avevela
Electron beam evaporation o se auala e fa'asao ai le mea fa'apipi'i e ala i le tu'iina i se fa'alava eletise eletise maualuga e ala i le tu'uina i totonu o se kopa kopa fa'afefe vai. O le puna evaporation e aofia ai se puna emission eletonika, o se puna eletise faatelevaveina eletise, o se ipu (e masani lava o se kopa kopa), o se maneta coil, ma se seti vai malulu, ma isi. I totonu o lenei masini, o le mea vevela e tuu i totonu o se ipu vai-cooled, ma o le afi eletise pomu na o se vaega itiiti lava o le mea e sili ona maualalo, ae tumau pea le tele o le vevela o mea o totoe i lalo o le vevela. u'amea, lea e mafai ona ta'ua o le vaega tu'ipo'a o le u'umea. O le mea lea, o le auala o le faʻamafanafanaina o le eletise eletise mo le faʻasao e mafai ona aloese mai le faʻaleagaina i le va o mea faʻapipiʻi ma mea faʻapogai.
E mafai ona vaevaeina le fausaga o le puna eletise alafua evaporation e tolu ituaiga: fana sa'o (Boules fana), mama mama (electrically deflected) ma e-fana (magnetically deflected). E mafai ona tu'u se tasi po'o le sili atu fo'i i totonu o se nofoaga e fa'asao ai, lea e mafai ona fa'amama ma fa'aputu le tele o mea 'ese'ese i le taimi e tasi pe ta'itasi.
Electron beam puna'aga evaporation maua mea lelei nei.
①O le maualuga o le uila o le puna eletise e mafai ona maua ai se malosi sili atu le malosi nai lo le faʻavevela faʻavevela, lea e mafai ona faʻafefe ai mea faʻafefe maualuga, e pei o W, Mo, Al2O3, ma isi.
②O mea faʻapipiʻi e tuʻuina i totonu o se kopa kopa faʻafefe vai, lea e mafai ona aloese mai le faʻafefe o le mea e faʻafefe ai mea, ma le tali i le va oi latou.
③E mafai ona faʻapipiʻi saʻo le vevela i luga o le mea faʻapipiʻi, lea e faʻamalosia ai le maualuga o le vevela ma le leiloa o le vevela ma le vevela vevela maualalo.
O le le lelei o le auala e faamafanafana ai le eletise eletise e faapea o le eletise muamua mai le fana eletise ma le eletise lona lua mai luga o le mea faʻapipiʻi o le a ionize le evaporating atoms ma mole kesi totoe, lea o le a aafia ai le lelei o le ata i nisi taimi.
(3) Fa'asao fa'avevela fa'avevela fa'aoso maualuga
O le fa'avevelaina o le fa'avevelaina o le fa'aoso maualuga o le tu'uina lea o le mea fa'apipi'i i le totonugalemu o le ta'amilosaga ta'avale maualuga, ina ia fa'atupuina e le mea fa'apipi'i le malosi o le eddy i le taimi nei ma le hysteresis i lalo o le fa'aogaina o le eletise eletise maualuga, lea e mafua ai le vevela o le ata tifaga seia o'o ina fa'afu ma fa'asa. O le puna o le fa'asao e masani lava ona aofia ai se vai-cooled maualuga-alave coil ma se graphite po'o sima (magnesium oxide, alumini oxide, boron oxide, ma isi) ipu. O le faʻaogaina o le eletise maualuga e faʻaaogaina ai le tele o le sefulu afe i le selau afe Hz, o le malosiaga faʻaogaina e tele i le selau kilowatts, o le laʻititi o le voluma o mea membrane, o le maualuga o le faʻaogaina o taimi. E masani lava ona faia i le fa'afefe vai fa'a'a'alili le fa'amalo.
O le le lelei o le faʻaogaina o le faʻavevelaina o le faʻavevelaina o auala e le faigofie ona fetuunai le mana faʻaoga, o loʻo i ai tulaga lelei nei.
①Malaga maualuga le sua
②O le vevela o le puna e faʻafefeteina e tutusa ma mautu, o lea e le faigofie ai ona faʻaalia le faʻalavelave o le paʻu o le paʻu, ma e mafai foi ona aloese mai le faʻalavelave o pine i luga o le ata na teuina.
③O le puna evaporation e uta tasi, ma o le vevela e fai si faigofie ma faigofie ona pulea.
Taimi meli: Oke-28-2022