Značilnosti magnetronskega naprševanja
(3) Nizkoenergijsko naprševanje. Zaradi nizke napetosti katode, ki se uporablja na tarči, magnetno polje veže plazmo v prostoru blizu katode in tako zavira visokoenergijske nabite delce ob strani substrata, ki ga ustrelijo ljudje. Zato je stopnja poškodb substrata, kot so polprevodniške naprave, zaradi bombardiranja z nabitimi delci manjša kot pri drugih metodah naprševanja.
(4) Nizka temperatura substrata. Hitrost magnetronskega razprševanja je visoka, ker je katodna tarča znotraj območja magnetnega polja, torej ciljna izpustna steza znotraj majhnega lokaliziranega območja, kjer je koncentracija elektronov visoka, medtem ko je zunaj območja magnetnega učinka, zlasti stran od magnetnega polja bližnje površine substrata, koncentracija elektronov zaradi disperzije precej nižja in je lahko celo nižja kot pri dipolnem razprševanju (zaradi razlike v tlaku med obema delovnima plinoma za velikostni red). Zato je pri pogojih magnetronskega razprševanja koncentracija elektronov, ki bombardirajo površino substrata, precej nižja kot pri običajnem diodnem razprševanju, prekomerno zvišanje temperature substrata pa se prepreči zaradi zmanjšanja števila elektronov, ki padejo na substrat. Poleg tega se lahko pri metodi magnetronskega razprševanja anoda magnetronske razpršilne naprave nahaja v bližini katode, držalo substrata pa je lahko tudi neozemljeno in v suspenzijskem potencialu, tako da elektroni ne morejo preiti skozi ozemljeno držalo substrata in odtekati skozi anodo, s čimer se zmanjšajo visokoenergijski elektroni, ki bombardirajo prevlečeni substrat, zmanjša se povečanje toplote substrata, ki ga povzročajo elektroni, in močno se zmanjša sekundarno bombardiranje substrata z elektroni, ki povzroči nastajanje toplote.
(5) Neenakomerno jedkanje tarče. Pri tradicionalni magnetronski brizgalni tarči se z uporabo neenakomernega magnetnega polja ustvari lokalni konvergenčni učinek plazme, zaradi česar je hitrost jedkanja pri brizganju visoka in posledično jedkanje tarče znatno neenakomerno. Stopnja izkoriščenosti tarče je običajno približno 30 %. Za izboljšanje stopnje izkoriščenosti materiala tarče lahko uporabite različne ukrepe za izboljšanje, kot je izboljšanje oblike in porazdelitve magnetnega polja tarče, tako da se magnet v katodi tarče premika znotraj tarče in tako naprej.
Težave pri naprševanju magnetnih materialnih tarč. Če je naprševalna tarča izdelana iz materiala z visoko magnetno prepustnostjo, bodo magnetne silnice potekale neposredno skozi notranjost tarče in povzročile magnetni kratek stik, kar bo otežilo magnetronsko razelektritev. Da bi ustvarili prostorsko magnetno polje, so ljudje izvedli različne študije, na primer za nasičenje magnetnega polja znotraj materiala tarče, pri čemer je v tarči ostalo veliko vrzeli, da bi spodbudili nastanek večjega uhajanja magnetnega polja zaradi povečanja temperature tarče ali za zmanjšanje magnetne prepustnosti materiala tarče.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 1. dec. 2023