1. Značilnosti elektronskega toka v obločni svetlobi
Gostota elektronskega toka, ionskega toka in visokoenergijskih nevtralnih atomov v obločni plazmi, ki jo ustvari obločni razelektritev, je veliko večja kot pri žarilni razelektritvi. V prostoru za nanos je več ioniziranih plinskih ionov in kovinskih ionov, vzbujenih visokoenergijskih atomov in različnih aktivnih skupin, ki igrajo pomembno vlogo pri fazah segrevanja, čiščenja in nanašanja premaza. Oblika delovanja elektronskega toka obloka se razlikuje od oblike ionskega snopa, saj se vsi ne zbližajo v "snop", ampak večinoma v divergentnem stanju, zato se imenuje tok elektronskih lokov. Ker elektroni obloka tečejo proti anodi, je tok elektronskih lokov usmerjen tja, kjer je priključena pozitivna elektroda napajalnika obloka, anoda pa je lahko obdelovanec, pomožna anoda, lonček itd.
2. Metoda ustvarjanja toka elektronskih oblokov
(1) Vir plina ustvarja tok elektronskih oblokov: obločni tok pri obločnem razelektritvi z votlo katodo in obločnem razelektritvi z vročo žico lahko doseže približno 200 A, napetost obloka pa je 50-70 V.
(2) Trdni vir ustvarja tok elektronskih oblokov: vir katodne loke, vključno z majhnimi viri lokov, valjastimi viri lokov, velikimi viri pravokotne ravnine itd. Tok obloka vsakega praznjenja katodnega vira loka je 80-200 A, napetost obloka pa 18-25 V.
Visokogostotni in nizkoenergijski elektronski tok v dveh vrstah plazme obločnega praznjenja lahko povzroči intenzivno trčno ionizacijo z atomi plina in kovinskega filma, s čimer se pridobi več plinskih ionov, kovinskih ionov in različnih visokoenergijskih aktivnih atomov in skupin, s čimer se izboljša splošna aktivnost ionov filmske plasti.
–Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua,proizvajalec strojev za vakuumsko lakiranje
Čas objave: 31. maj 2023