Charakteristiky magnetrónového naprašovania
(3) Nízkoenergetické naprašovanie. V dôsledku nízkeho katódového napätia aplikovaného na terč je plazma viazaná magnetickým poľom v priestore blízko katódy, čím sa inhibujú vysokoenergetické nabité častice na strane substrátu, ktoré sú vystavené strelám. Preto je stupeň poškodenia substrátu, ako sú polovodičové súčiastky, spôsobený bombardovaním nabitými časticami, nižší ako pri iných metódach naprašovania.
(4) Nízka teplota substrátu. Rýchlosť naprašovania pri magnetrónovom naprašovaní je vysoká, pretože katódový terč je v oblasti magnetického poľa, teda v oblasti výboja terča, v malej lokalizovanej oblasti, kde je koncentrácia elektrónov vysoká. Zatiaľ čo mimo oblasti magnetického efektu, najmä mimo magnetického poľa v blízkosti povrchu substrátu, je koncentrácia elektrónov v dôsledku disperzie oveľa nižšia a môže byť dokonca nižšia ako pri dipólovom naprašovaní (kvôli rádovému rozdielu tlaku medzi týmito dvoma pracovnými plynmi). Preto je za podmienok magnetrónového naprašovania koncentrácia elektrónov bombardujúcich povrch substrátu oveľa nižšia ako pri bežnom diódovom naprašovaní a nadmernému zvýšeniu teploty substrátu sa zabráni vďaka zníženiu počtu elektrónov dopadajúcich na substrát. Okrem toho, pri metóde magnetrónového naprašovania môže byť anóda magnetrónového naprašovacieho zariadenia umiestnená v blízkosti katódy a držiak substrátu môže byť tiež neuzemnený a v suspenznom potenciáli, takže elektróny nemôžu prechádzať cez uzemnený držiak substrátu a prúdiť cez anódu, čím sa znižuje bombardovanie vysokoenergetickými elektrónmi pokovovaného substrátu, znižuje sa nárast tepla substrátu spôsobený elektrónmi a výrazne sa zmierňuje sekundárne bombardovanie substrátu elektrónmi, ktoré vedie k vývoju tepla.
(5) Nerovnomerné leptanie terča. V tradičnom magnetrónovom naprašovacom terči sa pri použití nerovnomerného magnetického poľa vytvára lokálny konvergenčný efekt plazmy, čo spôsobuje vysokú rýchlosť leptania naprašovaním terča v lokálnej polohe, čo vedie k výraznému nerovnomernému leptaniu terča. Miera využitia terča je vo všeobecnosti okolo 30 %. Na zlepšenie miery využitia materiálu terča je možné prijať rôzne opatrenia na zlepšenie, ako napríklad zlepšenie tvaru a rozloženia magnetického poľa terča, aby sa magnet vo vnútornom pohybe katódy terča pohyboval atď.
Ťažkosti s naprašovaním magnetických materiálových terčov. Ak je naprašovací terč vyrobený z materiálu s vysokou magnetickou permeabilitou, magnetické siločiary budú prechádzať priamo vnútrom terča, čo spôsobí magnetický skrat, čo sťaží magnetrónový výboj. Na generovanie priestorového magnetického poľa sa vykonalo množstvo štúdií, napríklad na saturáciu magnetického poľa vo vnútri terčového materiálu, pričom v terči zostalo veľa medzier, aby sa podporil vznik väčšieho úniku magnetického poľa v dôsledku zvýšenia teploty terča, alebo na zníženie magnetickej permeability terčového materiálu.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 1. decembra 2023