1. Charakteristiky toku elektrónov v oblúkovom svetle
Hustota toku elektrónov, iónov a vysokoenergetických neutrálnych atómov v oblúkovej plazme generovanej oblúkovým výbojom je oveľa vyššia ako v prípade tlejúceho výboja. V priestore nanášania je ionizovaných viac plynových iónov a kovových iónov, excitovaných vysokoenergetických atómov a rôznych aktívnych skupín, ktoré hrajú dôležitú úlohu vo fázach ohrevu, čistenia a nanášania v procese nanášania. Forma pôsobenia toku elektrónov oblúka sa líši od formy iónového lúča, nie všetky sa zbiehajú do „lúča“, ale väčšinou v divergujúcom stave, preto sa nazýva tok elektrónov oblúka. Pretože elektróny oblúka prúdia smerom k anóde, tok elektrónov oblúka je smerovaný všade, kde je pripojená kladná elektróda zdroja napájania oblúka, a anódou môže byť obrobok, pomocná anóda, téglik atď.
2. Metóda generovania toku elektrónov v oblúku
(1) Zdroj plynu generuje tok elektrónov v oblúku: prúd oblúka pri výboji s dutou katódou a výboji s horúcim drôtom môže dosiahnuť približne 200 A a napätie oblúka je 50 – 70 V.
(2) Pevný zdroj generuje tok oblúkových elektrónov: katódový oblúkový zdroj vrátane malého oblúkového zdroja, valcového oblúkového zdroja, obdĺžnikového rovinného veľkého oblúkového zdroja atď. Oblúkový prúd každého výboja katódového oblúkového zdroja je 80 – 200 A a napätie oblúka je 18 – 25 V.
Tok elektrónov v oblúku s vysokou hustotou a nízkou energiou v dvoch typoch plazmy oblúkového výboja môže generovať intenzívnu kolíznu ionizáciu s atómami plynu a kovového filmu, čím sa získa viac plynových iónov, kovových iónov a rôznych vysokoenergetických aktívnych atómov a skupín, čím sa zlepší celková aktivita iónov vo vrstve filmu.
–Tento článok vydala spoločnosť Guangdong Zhenhua,výrobca vákuových lakovacích strojov
Čas uverejnenia: 31. mája 2023