රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) තාක්ෂණය යනු සාමාන්ය හෝ අඩු පීඩනයක් යටතේ රසායනික ප්රතික්රියා හරහා උපස්ථර මතුපිට ඝන පටල නිපදවන වායුමය ද්රව්ය සෑදීමට උණුසුම, ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කිරීම, ඡායාරූප සහාය සහ වෙනත් ක්රම භාවිතා කරන පටල සෑදීමේ තාක්ෂණයකි.
සාමාන්යයෙන්, ප්රතික්රියාකාරකය වායුවක් වන අතර නිෂ්පාදනයක් ඝන ද්රව්යයක් වන ප්රතික්රියාව CVD ප්රතික්රියාව ලෙස හැඳින්වේ. විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලියේදී, CVD ප්රතික්රියාව මගින් සකස් කරන ලද ආලේපන වර්ග බොහොමයක් තිබේ. උදාහරණයක් ලෙස, අර්ධ සන්නායක ක්ෂේත්රයේ, අමුද්රව්ය පිරිපහදු කිරීම, උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක තනි ස්ඵටික පටල සකස් කිරීම සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපාංගවල සිට ඒකාබද්ධ පරිපථ දක්වා බහු ස්ඵටික සහ අස්ඵටික පටල වර්ධනය යන සියල්ල CVD තාක්ෂණයට සම්බන්ධ වේ. ඊට අමතරව, ද්රව්යවල මතුපිට ප්රතිකාරය මිනිසුන් විසින් ප්රිය කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, යන්ත්රෝපකරණ, ප්රතික්රියාකාරකය, අභ්යවකාශය, වෛද්ය සහ රසායනික උපකරණ වැනි විවිධ ද්රව්ය CVD පටල සෑදීමේ ක්රමය මගින් විඛාදන ප්රතිරෝධය, තාප ප්රතිරෝධය, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ මතුපිට ශක්තිමත් කිරීම සහිත ක්රියාකාරී ආලේපන සකස් කිරීමට භාවිතා කළ හැකිය.
—— මෙම ලිපිය නිෂ්පාදකයෙකු වන ගුවැන්ඩොං ෂෙන්හුවා විසින් ප්රකාශයට පත් කරන ලදීරික්ත ආලේපන උපකරණ
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-04-2023