උපකරණ ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ තාක්ෂණය භාවිතා කරයි. කැතෝඩ සූත්රිකාවෙන් ඉලෙක්ට්රෝන විමෝචනය කර යම් කදම්භ ධාරාවකට නාභිගත කරනු ලබන අතර, එය කැතෝඩය සහ කබොල අතර විභවය මගින් ආලේපන ද්රව්ය උණු කර වාෂ්ප කිරීමට වේගවත් වේ. එය ඉහළ ශක්ති ඝනත්වයේ ලක්ෂණ ඇති අතර 3000 ℃ ට වැඩි ද්රවාංකයක් සහිත ආලේපන ද්රව්ය වාෂ්ප කළ හැකිය. පටලයට ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් සහ ඉහළ තාප කාර්යක්ෂමතාවයක් ඇත.
උපකරණ ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ ප්රභවය, අයන ප්රභවය, පටල ඝණකම අධීක්ෂණ පද්ධතිය, පටල ඝණකම නිවැරදි කිරීමේ ව්යුහය සහ ස්ථායී කුඩ වැඩ කොටස භ්රමණ පද්ධතියකින් සමන්විත වේ. අයන ප්රභව ආධාරක ආලේපනය හරහා, පටලයේ සංයුක්තතාවය වැඩි වේ, වර්තන දර්ශකය ස්ථාවර වේ, සහ තෙතමනය හේතුවෙන් තරංග ආයාම මාරුවේ සංසිද්ධිය වළක්වා ඇත. සම්පූර්ණ ස්වයංක්රීය පටල ඝණකම තත්ය කාලීන අධීක්ෂණ පද්ධතියට ක්රියාවලියේ පුනරාවර්තන හැකියාව සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කළ හැකිය. ක්රියාකරුගේ කුසලතා මත යැපීම අඩු කිරීම සඳහා එය ස්වයං දියවන ශ්රිතයකින් සමන්විත වේ.
උපකරණ විවිධ ඔක්සයිඩ සහ ලෝහ ආලේපන ද්රව්ය සඳහා අදාළ වන අතර, AR පටලය, දිගු තරංග පාස්, කෙටි තරංග පාස්, දීප්තිමත් පටලය, AS / AF පටලය, IRCUT, වර්ණ පටල පද්ධතිය, අනුක්රමික පටල පද්ධතිය වැනි බහු-ස්ථර නිරවද්ය දෘශ්ය පටලවලින් ආලේප කළ හැකිය. එය AR වීදුරු, දෘශ්ය කාච, කැමරා, දෘශ්ය කාච, පෙරහන්, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වී ඇත.