ويڪيوم وانپيوريٽنگ ڪوٽنگ جو اصول
1، ويڪيوم وانپيريشن ڪوٽنگ جو سامان ۽ جسماني عمل
ويڪيوم وانپيوريشن ڪوٽنگ جو سامان بنيادي طور تي ويڪيوم چيمبر ۽ ايويوڪيشن سسٽم تي مشتمل هوندو آهي. ويڪيوم چيمبر جي اندر، وانپيوريشن سورس (يعني وانپيوريشن هيٽر)، سبسٽريٽ ۽ سبسٽريٽ فريم، سبسٽريٽ هيٽر، ايگزاسٽ سسٽم وغيره هوندا آهن.
ڪوٽنگ مواد کي ويڪيوم چيمبر جي بخارات جي ذريعن ۾ رکيو ويندو آهي، ۽ اعلي ويڪيوم حالتن ۾، ان کي بخارات جي ذريعن ذريعي گرم ڪيو ويندو آهي ته جيئن بخارات بڻجي وڃي. جڏهن بخارات جي ماليڪيولن جي سراسري آزاد رينج ويڪيوم چيمبر جي لڪير واري سائيز کان وڏي هوندي آهي، ته فلم بخارات جا ايٽم ۽ ماليڪيول بخارات جي ذريعن جي مٿاڇري کان فرار ٿيڻ کان پوءِ، ٻين ماليڪيولن يا ايٽمن جي ٽڪراءَ کان گهٽ ئي رڪاوٽ بڻجن ٿا، ۽ سڌو سنئون سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي پهچن ٿا جنهن کي ڪوٽ ڪيو وڃي. سبسٽريٽ جي گهٽ درجه حرارت جي ڪري، فلم بخارات جا ذرڙا ان تي گانڌي ٿي ويندا آهن ۽ هڪ فلم ٺاهيندا آهن.
بخارات جي ماليڪيولن ۽ سبسٽريٽ جي چپکڻ کي بهتر بڻائڻ لاءِ، سبسٽريٽ کي مناسب گرم ڪرڻ يا آئن صفائي ذريعي چالو ڪري سگهجي ٿو. ويڪيوم بخارات جي ڪوٽنگ مواد جي بخارات، نقل و حمل کان وٺي فلم ۾ جمع ٿيڻ تائين هيٺين جسماني عملن مان گذري ٿي.
(1) توانائي جي ٻين شڪلن کي حرارتي توانائي ۾ تبديل ڪرڻ لاءِ مختلف طريقن کي استعمال ڪندي، فلمي مواد کي گرم ڪيو ويندو آهي ته جيئن هڪ خاص مقدار ۾ توانائي (0.1 کان 0.3 eV) سان گيس جي ذرڙن (ايٽم، ماليڪيول يا ايٽمي ڪلسٽر) ۾ بخارات بڻجي يا ذيلي ٿي وڃي.
(2) گيسي ذرڙا فلم جي مٿاڇري مان نڪرندا آهن ۽ هڪ خاص رفتار سان سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي منتقل ڪيا ويندا آهن، بنيادي طور تي ٽڪراءَ کان سواءِ، هڪ سڌي لڪير ۾.
(3) گيس جا ذرڙا جيڪي سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي پهچن ٿا، گڏ ٿين ٿا ۽ نيوڪليئيٽ ٿين ٿا، ۽ پوءِ هڪ مضبوط مرحلي واري فلم ۾ وڌن ٿا.
(4) فلم ٺاهڻ وارن ايٽمن جي ٻيهر ترتيب يا ڪيميائي بانڊنگ.
2، بخارات جي گرمائش
(1) مزاحمتي گرمائش جي بخارات
مزاحمتي حرارتي بخارات سڀ کان سادو ۽ عام طور تي استعمال ٿيندڙ حرارتي طريقو آهي، جيڪو عام طور تي ڪوٽنگ مواد تي لاڳو ٿئي ٿو جن جي پگھلڻ واري نقطي 1500 ℃ کان گهٽ آهي، تار يا شيٽ جي شڪل ۾ اعليٰ پگھلڻ واري نقطي واريون ڌاتو (ڊبليو، مو، ٽي، ٽا، بوران نائٽرائڊ، وغيره) عام طور تي بخارات جي ذريعن جي مناسب شڪل ۾ ٺاهيون وينديون آهن، بخارات جي مواد سان ڀريل، پليٽنگ مواد کي پگھلڻ، بخارات ڪرڻ يا تيز ڪرڻ لاءِ برقي ڪرنٽ جي جول گرمي ذريعي، بخارات جي ذريعن جي شڪل ۾ بنيادي طور تي ملٽي اسٽرينڊ سرپل، يو-شڪل، سائن ويو، پتلي پليٽ، ٻيڙي، مخروطي ٽوڪري، وغيره شامل آهن. ساڳئي وقت، طريقو بخارات جي ذريعن جي مواد کي اعلي پگھلڻ واري نقطي، گهٽ سنترپتي بخارات جو دٻاء، مستحڪم ڪيميائي خاصيتون، ڪوٽنگ مواد سان اعلي گرمي پد تي ڪيميائي رد عمل نه هجڻ، سٺي گرمي مزاحمت، طاقت جي کثافت ۾ ننڍڙي تبديلي، وغيره جي ضرورت آهي. اهو بخارات جي ذريعن ذريعي اعلي ڪرنٽ کي اختيار ڪري ٿو ته جيئن ان کي گرم ڪري سگهجي ۽ فلم مواد کي سڌو سنئون گرم ڪرڻ سان بخارات بڻائي سگهجي، يا فلم مواد کي گريفائٽ ۽ ڪجهه اعلي درجه حرارت مزاحمتي ڌاتو آڪسائيڊ (جهڙوڪ A202، B0) ۽ ٻين مواد مان ٺهيل ڪروسيبل ۾ وجهي سگهجي. بخارات ٿيڻ.
مزاحمتي حرارتي بخاراتي ڪوٽنگ جون حدون آهن: ريفريڪٽري ڌاتو ۾ گهٽ بخاراتي دٻاءُ هوندو آهي، جنهن ڪري پتلي فلم ٺاهڻ ڏکيو هوندو آهي؛ ڪجهه عنصرن کي حرارتي تار سان مصر ٺاهڻ آسان هوندو آهي؛ مصر جي فلم جي هڪجهڙائي حاصل ڪرڻ آسان ناهي. مزاحمتي حرارتي بخاراتي طريقي جي سادي بناوت، گهٽ قيمت ۽ آسان آپريشن جي ڪري، اهو بخاراتي طريقي جو هڪ تمام عام استعمال آهي.
(2) اليڪٽران بيم گرم ڪرڻ جو بخارات
اليڪٽران بيم بخارات ڪوٽنگ مواد کي بخارات بڻائڻ جو هڪ طريقو آهي جنهن ۾ هڪ اعليٰ توانائي جي کثافت واري اليڪٽران بيم سان بمباري ڪري ان کي پاڻي سان ٿڌي ٿيل ڪاپر ڪروسيبل ۾ رکي سگهجي ٿو. بخارات جي ذريعن ۾ هڪ اليڪٽران جي اخراج جو ذريعو، هڪ اليڪٽران تيز ڪرڻ واري طاقت جو ذريعو، هڪ ڪروسيبل (عام طور تي هڪ ٽامي ڪروسيبل)، هڪ مقناطيسي فيلڊ ڪوئل، ۽ هڪ ٿڌي پاڻي جو سيٽ وغيره شامل آهن. هن ڊوائيس ۾، گرم ڪيل مواد کي پاڻي سان ٿڌي ٿيل ڪروسيبل ۾ رکيو ويندو آهي، ۽ اليڪٽران بيم مواد جي صرف هڪ تمام ننڍڙي حصي تي بمباري ڪندو آهي، جڏهن ته باقي گهڻو مواد ڪروسيبل جي ٿڌي اثر هيٺ تمام گهٽ درجه حرارت تي رهي ٿو، جنهن کي ڪروسيبل جو بمبار ٿيل حصو سمجهي سگهجي ٿو. اهڙيءَ طرح، بخارات لاءِ اليڪٽران بيم کي گرم ڪرڻ جو طريقو ڪوٽنگ مواد ۽ بخارات جي ذريعن جي مواد جي وچ ۾ آلودگي کان بچي سگهي ٿو.
اليڪٽران بيم جي بخارات جي ذريعن جي بناوت کي ٽن قسمن ۾ ورهائي سگهجي ٿو: سڌي بندوقون (بولس بندوقون)، رنگ بندوقون (بجلي طور تي موڙيل) ۽ اي-گن (مقناطيسي طور تي موڙيل). هڪ يا وڌيڪ ڪروسيبلز کي بخارات جي سهولت ۾ رکي سگهجي ٿو، جيڪي بخارات بڻجي سگهن ٿا ۽ هڪ ئي وقت يا الڳ الڳ ڪيترائي مختلف مادا جمع ڪري سگهن ٿا.
اليڪٽران بيم جي بخارات جي ذريعن جا هيٺيان فائدا آهن.
① اليڪٽران بيم بمباري بخارات جي ذريعن جي اعلي بيم کثافت مزاحمتي حرارتي ذريعن کان تمام گهڻي توانائي جي کثافت حاصل ڪري سگهي ٿي، جيڪا اعلي پگھلڻ واري نقطي مواد، جهڙوڪ W، Mo، Al2O3، وغيره کي بخارات بڻائي سگهي ٿي.
② ڪوٽنگ مواد کي پاڻي سان ٿڌي ٽامي جي ڪرسيبل ۾ رکيو ويندو آهي، جيڪو بخارات جي ذريعن جي مواد جي بخارات ۽ انهن جي وچ ۾ رد عمل کان بچي سگهي ٿو.
③ گرمي کي سڌو سنئون ڪوٽنگ مواد جي مٿاڇري تي شامل ڪري سگهجي ٿو، جيڪو حرارتي ڪارڪردگي کي وڌيڪ ۽ گرمي جي وهڪري ۽ گرمي جي تابڪاري جي نقصان کي گهٽائي ٿو.
اليڪٽران بيم کي گرم ڪرڻ واري بخارات جي طريقي جو نقصان اهو آهي ته اليڪٽران گن مان پرائمري اليڪٽران ۽ ڪوٽنگ مواد جي مٿاڇري مان سيڪنڊري اليڪٽران بخارات پيدا ڪندڙ ايٽمن ۽ باقي گئس ماليڪيولن کي آئنائيز ڪندا، جيڪو ڪڏهن ڪڏهن فلم جي معيار کي متاثر ڪندو.
(3) هاءِ فريڪوئنسي انڊڪشن هيٽنگ واپرائڻ
هاءِ فريڪوئنسي انڊڪشن هيٽنگ ايوپوريشن جو مطلب آهي ڪروسيبل کي ڪوٽنگ مواد سان گڏ هاءِ فريڪوئنسي سرپل ڪوئل جي مرڪز ۾ رکڻ، ته جيئن ڪوٽنگ مواد هاءِ فريڪوئنسي اليڪٽرو ميگنيٽڪ فيلڊ جي انڊڪشن هيٺ مضبوط ايڊي ڪرنٽ ۽ هسٽريسس اثر پيدا ڪري، جيڪو فلم جي پرت کي گرم ڪرڻ جو سبب بڻائيندو آهي جيستائين اهو بخارات نه بڻجي ۽ بخارات نه بڻجي. ايوپوريشن جو ذريعو عام طور تي پاڻي سان ٿڌو ٿيل هاءِ فريڪوئنسي ڪوئل ۽ گريفائيٽ يا سيرامڪ (ميگنيشيم آڪسائيڊ، ايلومينيم آڪسائيڊ، بوران آڪسائيڊ، وغيره) ڪروسيبل تي مشتمل هوندو آهي. هاءِ فريڪوئنسي پاور سپلائي ڏهه هزار کان ڪيترائي لک هرٽز جي فريڪوئنسي استعمال ڪري ٿي، ان پٽ پاور ڪيترن ئي کان ڪيترائي سئو ڪلواٽ آهي، جھلي جي مواد جو حجم جيترو ننڍو هوندو، انڊڪشن فريڪوئنسي اوترو ئي وڌيڪ هوندي. انڊڪشن ڪوئل فريڪوئنسي عام طور تي پاڻي سان ٿڌي ڪاپر ٽيوب مان ٺهيل هوندي آهي.
هاءِ فريڪوئنسي انڊڪشن هيٽنگ وانپيوريشن طريقي جو نقصان اهو آهي ته ان پٽ پاور کي ٺيڪ ڪرڻ آسان ناهي، ان جا هيٺيان فائدا آهن.
①وڌيڪ بخارات جي شرح
② بخارات جي ذريعن جو گرمي پد هڪجهڙو ۽ مستحڪم آهي، تنهنڪري ڪوٽنگ بوندن جي ڦاٽڻ جو رجحان پيدا ڪرڻ آسان ناهي، ۽ اهو جمع ٿيل فلم تي پن هولز جي رجحان کان به بچي سگهي ٿو.
③ بخارات جو ذريعو هڪ ڀيرو لوڊ ڪيو ويندو آهي، ۽ گرمي پد ڪنٽرول ڪرڻ ۾ نسبتاً آسان ۽ سادو آهي.
پوسٽ جو وقت: آڪٽوبر-28-2022