1.Характеристики потока электронов дугового света
Плотность потока электронов, потока ионов и высокоэнергетических нейтральных атомов в плазме дуги, генерируемой дуговым разрядом, намного выше, чем у тлеющего разряда. В пространстве покрытия больше ионов газа и ионов металла, ионизированных, возбужденных высокоэнергетических атомов и различных активных групп, которые играют важную роль на этапах нагрева, очистки и нанесения покрытия в процессе покрытия. Форма действия потока электронов дуги отличается от формы действия ионного пучка, не все из которых сходятся в «пучок», а в основном в расходящемся состоянии, поэтому его называют потоком электронов дуги. Поскольку электроны дуги текут к аноду, поток электронов дуги направлен туда, куда подключен положительный электрод источника питания дуги, а анодом может быть заготовка, вспомогательный анод, тигель и т. д.
2.Способ генерации дугового электронного потока
(1) Источник газа генерирует поток электронов дуги: ток дуги дугового разряда с полым катодом и дугового разряда с горячей проволокой может достигать около 200 А, а напряжение дуги составляет 50–70 В.
(2) Твердый источник генерирует поток дуговых электронов: катодный дуговой источник, включая малый дуговой источник, цилиндрический дуговой источник, прямоугольный плоский большой дуговой источник и т. д. Ток дуги каждого разряда катодного дугового источника составляет 80–200 А, а напряжение дуги составляет 18–25 В.
Высокоплотный и низкоэнергетический поток электронов дуги в двух типах плазмы дугового разряда может генерировать интенсивную ионизацию при столкновении с атомами газа и металлической пленки, получая больше ионов газа, ионов металла и различных высокоэнергетических активных атомов и групп, тем самым улучшая общую активность ионов пленочного слоя.
–Эта статья была опубликована компанией Guangdong Zhenhua,производитель вакуумных напылительных машин
Время публикации: 31 мая 2023 г.