Оборудование использует технологию электронно-лучевого испарения. Электроны испускаются катодной нитью и фокусируются в определенный ток пучка, который ускоряется потенциалом между катодом и тиглем для расплавления и испарения материала покрытия. Он обладает характеристиками высокой плотности энергии и может испарять материал покрытия с температурой плавления более 3000 ℃. Пленка имеет высокую чистоту и высокую тепловую эффективность.
Оборудование оснащено источником испарения электронного луча, источником ионов, системой контроля толщины пленки, структурой коррекции толщины пленки и стабильной системой вращения заготовки зонтика. Благодаря покрытию с помощью источника ионов увеличивается компактность пленки, стабилизируется показатель преломления и исключается явление сдвига длины волны из-за влаги. Полностью автоматическая система контроля толщины пленки в реальном времени может обеспечить повторяемость и стабильность процесса. Она оснащена функцией самоплавления для снижения зависимости от навыков оператора.
Оборудование применимо к различным оксидам и материалам металлических покрытий и может покрываться многослойными точными оптическими пленками, такими как AR-пленка, длинноволновая пропускающая пленка, коротковолновая пропускающая пленка, осветляющая пленка, AS/AF-пленка, IRCUT, система цветной пленки, система градиентной пленки и т. д. Оно широко используется в AR-очках, оптических линзах, камерах, фильтрах, полупроводниковой промышленности и т. д.