1. Características do fluxo de elétrons da luz de arco
A densidade do fluxo de elétrons, fluxo de íons e átomos neutros de alta energia no plasma de arco gerado pela descarga de arco é muito maior do que a da descarga luminescente. Há mais íons gasosos e íons metálicos ionizados, átomos excitados de alta energia e vários grupos ativos no espaço de revestimento, que desempenham um papel importante nas etapas de aquecimento, limpeza e revestimento do processo de revestimento. A forma de ação do fluxo de elétrons do arco é diferente daquela do feixe de íons, nem todos convergem em um "feixe", mas principalmente em um estado divergente, por isso é chamado de fluxo de elétrons do arco. Como os elétrons do arco fluem em direção ao ânodo, o fluxo de elétrons do arco é direcionado para onde quer que o eletrodo positivo da fonte de alimentação do arco esteja conectado, e o ânodo pode ser uma peça de trabalho, ânodo auxiliar, cadinho, etc.
2. Método de geração de fluxo de elétrons de arco
(1) A fonte de gás gera fluxo de elétrons de arco: a corrente de arco da descarga de arco de cátodo oco e da descarga de arco de fio quente pode atingir cerca de 200 A, e a tensão do arco é de 50-70 V.
(2) Fonte sólida gera fluxo de elétrons de arco: fonte de arco catódico, incluindo fonte de arco pequeno, fonte de arco cilíndrico, fonte de arco grande de plano retangular, etc. A corrente de arco de cada descarga de fonte de arco catódico é de 80-200 A, e a tensão do arco é de 18-25 V.
O fluxo de elétrons de arco de alta densidade e baixa energia em dois tipos de plasmas de descarga de arco pode gerar intensa ionização de colisão com átomos de gás e filme metálico, obtendo mais íons de gás, íons metálicos e vários átomos e grupos ativos de alta energia, melhorando assim a atividade geral dos íons da camada do filme.
–Este artigo foi publicado pela Guangdong Zhenhua, umafabricante de máquinas de revestimento a vácuo
Data de publicação: 31 de maio de 2023