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Breve introdução à tecnologia de deposição química de vapor (CVD)

Fonte do artigo: aspirador de pó Zhenhua
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Publicado: 23-03-04

A tecnologia de deposição química de vapor (CVD) é uma tecnologia de formação de filme que usa aquecimento, aprimoramento de plasma, fotoassistido e outros meios para fazer com que substâncias gasosas produzam filmes sólidos na superfície do substrato por meio de reação química sob pressão normal ou baixa.

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Geralmente, a reação na qual o reagente é um gás e um dos produtos é um sólido é chamada de reação CVD. Existem muitos tipos de revestimentos preparados pela reação CVD, especialmente em processos de semicondutores. Por exemplo, no campo de semicondutores, o refino de matérias-primas, a preparação de filmes monocristalinos semicondutores de alta qualidade e o crescimento de filmes policristalinos e amorfos, de dispositivos eletrônicos a circuitos integrados, estão todos relacionados à tecnologia CVD. Além disso, o tratamento de superfície de materiais é favorecido pela população. Por exemplo, diversos materiais, como máquinas, reatores, equipamentos aeroespaciais, médicos e químicos, podem ser usados ​​para preparar revestimentos funcionais com resistência à corrosão, resistência ao calor, resistência ao desgaste e reforço de superfície pelo método de formação de filme CVD, de acordo com seus diferentes requisitos.

—— Este artigo é publicado pela Guangdong Zhenhua, fabricante deequipamento de revestimento a vácuo


Horário da postagem: 04/03/2023