O equipamento utiliza a tecnologia de evaporação por feixe de elétrons. Os elétrons são emitidos pelo filamento catódico e concentrados em uma determinada corrente de feixe, que é acelerada pelo potencial entre o cátodo e o cadinho para derreter e evaporar o material de revestimento. Possui alta densidade de energia e pode evaporar o material de revestimento com um ponto de fusão superior a 3000 ℃. O filme possui alta pureza e alta eficiência térmica.
O equipamento é equipado com fonte de evaporação por feixe de elétrons, fonte de íons, sistema de monitoramento da espessura do filme, estrutura de correção da espessura do filme e sistema de rotação estável da peça de trabalho tipo guarda-chuva. Através do revestimento assistido por fonte de íons, a compactação do filme é aumentada, o índice de refração é estabilizado e o fenômeno de deslocamento do comprimento de onda devido à umidade é evitado. O sistema de monitoramento da espessura do filme em tempo real, totalmente automático, garante a repetibilidade e a estabilidade do processo. É equipado com função de autofusão para reduzir a dependência da habilidade do operador.
O equipamento é aplicável a vários óxidos e materiais de revestimento de metal e pode ser revestido com filmes ópticos de precisão multicamadas, como filme AR, passagem de onda longa, passagem de onda curta, filme de clareamento, filme AS/AF, IRCUT, sistema de filme colorido, sistema de filme gradiente, etc. Ele tem sido amplamente utilizado em óculos AR, lentes ópticas, câmeras, lentes ópticas, filtros, indústrias de semicondutores, etc.