د ویکیوم تبخیر کوټینګ ټیکنالوژۍ معرفي کول

۲، د تبخیر تودوخه

(۱) د تودوخې د تبخیر مقاومت
د مقاومت د تودوخې تبخیر ترټولو ساده او عام کارول شوی تودوخه طریقه ده، چې عموما د کوټینګ موادو لپاره د 1500 ℃ څخه ښکته د خټکي نقطې سره پلي کیږي، د تار یا شیټ شکل کې د لوړ خټکي نقطې فلزات (W، Mo، Ti، Ta، بوران نایټرایډ، او نور) معمولا د تبخیر سرچینې مناسب شکل کې جوړیږي، د تبخیر موادو سره بار کیږي، د برقی جریان د جول تودوخې له لارې د پلیټینګ موادو د خټکي کولو، تبخیر کولو یا لوړولو لپاره، د تبخیر سرچینې شکل په عمده توګه د څو سټرینډ سرپل، U شکل، ساین څپې، پتلی پلیټ، کښتۍ، مخروط ټوکرۍ، او نور شامل دي. په ورته وخت کې، دا طریقه د تبخیر سرچینې موادو ته اړتیا لري چې لوړ خټکي نقطه ولري، د ټیټ سنتریت بخار فشار، مستحکم کیمیاوي ملکیتونه ولري، په لوړه تودوخه کې د کوټینګ موادو سره کیمیاوي تعامل ونلري، د تودوخې ښه مقاومت، د بریښنا کثافت کې کوچنی بدلون، او نور. دا د تبخیر سرچینې له لارې لوړ جریان غوره کوي ترڅو دا تودوخه کړي او د فلم مواد د مستقیم تودوخې له لارې تبخیر کړي، یا د فلم مواد د ګرافایټ او ځینې لوړ تودوخې مقاومت لرونکي فلزي اکسایډونو (لکه A202، B0) او نورو موادو څخه جوړ شوي کروسیبل کې واچوي ترڅو غیر مستقیم تودوخې ته ورسیږي. تبخیر کول.
د مقاومت تودوخې تبخیر کوټینګ محدودیتونه لري: د انعطاف وړ فلزات ټیټ بخار فشار لري، کوم چې د پتلی فلم جوړول ستونزمن دي؛ ځینې عناصر د تودوخې تار سره د الیاژ جوړول اسانه دي؛ د الیاژ فلم یونیفورم ترکیب ترلاسه کول اسانه ندي. د ساده جوړښت، ټیټ نرخ او د مقاومت تودوخې تبخیر میتود اسانه عملیاتو له امله، دا د تبخیر میتود خورا عام غوښتنلیک دی.

(۲) د الکترون بیم د تودوخې تبخیر
د الکترون بیم تبخیر د پوښښ موادو د تبخیر کولو یوه طریقه ده چې د لوړ انرژۍ کثافت الکترون بیم سره یې د اوبو په یخ شوي مسو په کروسیبل کې ځای په ځای کولو سره بمبار کوي. د تبخیر سرچینه د الکترون اخراج سرچینه، د الکترون سرعت بریښنا سرچینه، یو کروسیبل (معمولا د مسو کروسیبل)، د مقناطیسي ساحې کویل، او د یخولو اوبو سیټ، او نور لري. پدې وسیله کې، تودوخه شوي مواد د اوبو په یخ شوي کروسیبل کې ځای په ځای کیږي، او د الکترون بیم یوازې د موادو ډیره کوچنۍ برخه بمباروي، پداسې حال کې چې د پاتې موادو ډیری برخه د کروسیبل د یخولو اغیزې لاندې په خورا ټیټ حرارت کې پاتې کیږي، کوم چې د کروسیبل د بمبار شوي برخې په توګه ګڼل کیدی شي. په دې توګه، د تبخیر لپاره د الکترون بیم د تودوخې طریقه کولی شي د پوښښ موادو او د تبخیر سرچینې موادو ترمنځ د ککړتیا مخه ونیسي.
د الکترون بیم د تبخیر سرچینې جوړښت په دریو ډولونو ویشل کیدی شي: مستقیم ټوپکونه (بولس ټوپکونه)، حلقوي ټوپکونه (برقی انحراف شوي) او ای-ټوپونه (مقناطیسي انحراف شوي). یو یا څو کروسیبلونه د تبخیر په تاسیساتو کې ځای په ځای کیدی شي، کوم چې کولی شي تبخیر وکړي او ډیری مختلف مواد په یو وخت یا جلا توګه زیرمه کړي.

د الکترون بیم تبخیر سرچینې لاندې ګټې لري.
① د الکترون بیم بمبارۍ د تبخیر سرچینې لوړ بیم کثافت کولی شي د مقاومت تودوخې سرچینې په پرتله خورا ډیر انرژي کثافت ترلاسه کړي، کوم چې کولی شي د لوړ خټکي نقطې موادو تبخیر وکړي، لکه W، Mo، Al2O3، او نور.
②د پوښ کولو مواد د اوبو په یخ شوي مسو په کروسیبل کې ځای پر ځای شوي، کوم چې کولی شي د تبخیر سرچینې موادو د تبخیر او د دوی ترمنځ د تعامل مخه ونیسي.
③تودوخه په مستقیم ډول د پوښ کولو موادو سطحې ته اضافه کیدی شي، کوم چې د تودوخې موثریت لوړوي او د تودوخې لیږد او تودوخې وړانګو ضایع کول کموي.
د الکترون بیم د تودوخې د تبخیر طریقې نیمګړتیا دا ده چې د الکترون ټوپک څخه لومړني الکترونونه او د کوټینګ موادو له سطحې څخه ثانوي الکترونونه به د تبخیر کونکي اتومونو او پاتې ګاز مالیکولونو ته ایونیز ورکړي، کوم چې ځینې وختونه د فلم کیفیت اغیزه کوي.

(۳) د لوړ فریکونسۍ انډکشن تودوخې تبخیر
د لوړ فریکونسۍ انډکشن تودوخې تبخیر دا دی چې کروسیبل د کوټینګ موادو سره د لوړ فریکونسۍ سرپل کویل په مرکز کې ځای په ځای شي، ترڅو د کوټینګ مواد د لوړ فریکونسۍ الکترومقناطیسي ساحې د انډکشن لاندې قوي ایډي جریان او هیسټریسیس اغیز رامینځته کړي، کوم چې د فلم طبقه د تودوخې لامل کیږي تر هغه چې بخار شي او تبخیر شي. د تبخیر سرچینه عموما د اوبو یخ شوي لوړ فریکونسۍ کویل او ګرافایټ یا سیرامیک (مګنیزیم اکسایډ، المونیم اکسایډ، بوران اکسایډ، او نور) کروسیبل څخه جوړه وي. د لوړ فریکونسۍ بریښنا رسولو فریکونسۍ له لسو زرو څخه تر څو سوه زره هرټز پورې کاروي، د ان پټ بریښنا له څو څخه تر څو سوه کیلو واټ پورې وي، د غشا موادو حجم څومره کوچنی وي، د انډکشن فریکونسۍ لوړه وي. د انډکشن کویل فریکونسي معمولا د اوبو یخ شوي مسو ټیوب څخه جوړه شوې وي.
د لوړ فریکونسۍ انډکشن تودوخې تبخیر میتود نیمګړتیا دا ده چې د ان پټ بریښنا تنظیم کول اسانه ندي، دا لاندې ګټې لري.
① د تبخیر لوړه کچه
② د تبخیر سرچینې تودوخه یوشان او مستحکم ده، نو د کوټینګ څاڅکو د خپریدو پدیده رامینځته کول اسانه ندي، او دا کولی شي په زیرمه شوي فلم کې د پن سوراخونو پدیدې څخه هم مخنیوی وکړي.
③ د تبخیر سرچینه یو ځل بار کیږي، او تودوخه یې نسبتا اسانه او کنټرول یې ساده دی.