د میګنیټرون سپټرینګ کوټینګ ځانګړتیاوې
(۳) د کمې انرژۍ سپټرینګ. د ټیټ کیتوډ ولټاژ له امله چې هدف ته تطبیق کیږي، پلازما د کیتوډ ته نږدې ځای کې د مقناطیسي ساحې سره تړلی دی، پدې توګه د لوړ انرژۍ چارج شوي ذرات د سبسټریټ اړخ ته منع کوي چې خلک یې ډزې کوي. له همدې امله، د چارج شوي ذراتو بمبارۍ له امله د سیمیکمډکټر وسیلو په څیر سبسټریټ ته د زیان کچه د نورو سپټرینګ میتودونو په پرتله ټیټه ده.
(۴) د سبسټریټ ټیټ تودوخه. د میګنیټرون سپټرینګ سپټرینګ کچه لوړه ده، ځکه چې د سیمې دننه مقناطیسي ساحه کې د کیتوډ هدف، دا دی، د الیکترون غلظت د یوې کوچنۍ سیمه ایزې سیمې دننه د هدف خارجیدو رن وی لوړ دی، پداسې حال کې چې د سیمې څخه بهر مقناطیسي اغیز کې، په ځانګړي توګه د نږدې سبسټریټ سطحې مقناطیسي ساحې څخه لرې، د الیکترون غلظت د خپریدو له امله خورا ټیټ دی، او حتی ممکن د ډایپول سپټرینګ څخه ټیټ وي (د اندازې د ترتیب د دوه کاري ګاز فشار ترمنځ توپیر له امله). له همدې امله، د میګنیټرون سپټرینګ شرایطو لاندې، د سبسټریټ سطحې بمبار کولو الکترونونو غلظت د عادي ډایډ سپټرینګ په پرتله خورا ټیټ دی، او د سبسټریټ په تودوخې کې د ډیر زیاتوالي څخه مخنیوی کیږي ځکه چې په سبسټریټ کې د الیکترون پیښې شمیر کم شوی. برسېره پردې، د میګنیټرون سپټرینګ میتود کې، د میګنیټرون سپټرینګ وسیلې انود د کیتوډ شاوخوا موقعیت لري، او د سبسټریټ هولډر هم بې بنسټه او د تعلیق پوټینشن کې کیدی شي، نو الکترونونه ممکن د ځمکني سبسټریټ هولډر څخه تیر نشي او د انود له لارې تیر نشي، په دې توګه د پلیټ شوي سبسټریټ بمباري کولو لوړ انرژي الکترونونه کموي، د الیکترونونو له امله رامینځته شوي سبسټریټ تودوخې زیاتوالی کموي، او د سبسټریټ ثانوي الیکترون بمباري خورا کموي چې پایله یې تودوخه تولید کیږي.
(۵) د هدف غیر مساوي ایچینګ. په دودیز مقناطیسي سپټرینګ هدف کې، د غیر مساوي مقناطیسي ساحې کارول، نو پلازما به د محلي همغږۍ اغیز تولید کړي، د سپټرینګ ایچینګ کچه به په محلي موقعیت کې هدف رامینځته کړي، پایله دا ده چې هدف به د پام وړ غیر مساوي ایچینګ تولید کړي. د هدف د کارولو کچه عموما شاوخوا 30٪ ده. د هدف موادو د کارولو کچه ښه کولو لپاره، تاسو کولی شئ د ښه والي مختلف اقدامات وکړئ، لکه د هدف مقناطیسي ساحې شکل او ویش ښه کول، ترڅو مقناطیس په هدف کیتوډ کې داخلي حرکت وکړي او داسې نور.
د مقناطیسي موادو د هدفونو د سپټر کولو کې مشکل. که چیرې د سپټر کولو هدف د لوړ مقناطیسي نفوذ وړتیا لرونکي موادو څخه جوړ شوی وي، د ځواک مقناطیسي کرښې به مستقیم د هدف داخلي برخې څخه تیریږي ترڅو د مقناطیسي لنډ سرکټ پدیده رامینځته شي، پدې توګه د مقناطیس خارجیدل ستونزمن کوي. د فضا مقناطیسي ساحې رامینځته کولو لپاره، خلکو مختلف مطالعات ترسره کړي دي، د مثال په توګه، د هدف موادو دننه مقناطیسي ساحه ډکول، په هدف کې ډیری تشې پریښودل ترڅو د مقناطیسي هدف د تودوخې زیاتوالي ډیر لیک تولید ته وده ورکړي، یا د هدف موادو مقناطیسي نفوذ کم کړي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: دسمبر-۰۱-۲۰۲۳