ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਿਧੀ ਦੀ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਹੈ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿਧੀ ਦੀ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਉਪਲਬਧ ਫਿਲਮ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਿਸ਼ਾਲ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਚੰਗੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਹੈ, ਪਰ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਘੱਟ ਹੈ। ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਅਜਿਹਾ ਤਰੀਕਾ ਹੈ ਜੋ ਇਹਨਾਂ ਦੋ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦਾ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਸਿਧਾਂਤ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਨਿਰਮਾਣ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ
ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦਾ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਤਸਵੀਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ 10-4 Pa ਤੋਂ ਘੱਟ ਦਬਾਅ 'ਤੇ ਪੰਪ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ 0.1~1 Pa ਦੇ ਦਬਾਅ 'ਤੇ ਅਯੋਗ ਗੈਸ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਰਗਨ) ਨਾਲ ਭਰਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ 5 kV ਤੱਕ ਦਾ ਨੈਗੇਟਿਵ DC ਵੋਲਟੇਜ ਲਗਾਉਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਇੱਕ ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਵਾਲਾ ਗੈਸ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜ਼ੋਨ ਸਥਾਪਤ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਨਰਟ ਗੈਸ ਆਇਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਪੂਰਾ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਿੱਚ ਲੇਪ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥ ਦੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਨਾਲ ਸ਼ੁਰੂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੀਤੇ ਭਾਫ਼ ਦੇ ਕਣ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਵਿਘਨ ਕੀਤੇ ਅਯੋਗ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਕੁਝ ਭਾਫ਼ ਦੇ ਕਣ ਵਿਘਨ ਪਾਏ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਪ੍ਰਵੇਗ ਅਧੀਨ ਵਰਕਪੀਸ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਨਾ ਸਿਰਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ ਸਗੋਂ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵੀ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਉਦੋਂ ਹੀ ਬਣਾਈ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ ਜਦੋਂ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਹਮੇਸ਼ਾ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਬਹੁਤ ਸਾਫ਼ ਹੈ ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਇਸਦੇ ਕਈ ਫਾਇਦੇ ਹਨ।

(1) ਮਜ਼ਬੂਤ ​​ਚਿਪਕਣ, ਪਰਤ ਦੀ ਪਰਤ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਨਹੀਂ ਛਿੱਲਦੀ।
(a) ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਵਾਲੇ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਗਿਣਤੀ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਕੈਥੋਡਿਕ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸੋਖੇ ਗਏ ਗੈਸ ਅਤੇ ਤੇਲ ਨੂੰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਸ਼ੁੱਧ ਕਰਨ ਲਈ ਜਦੋਂ ਤੱਕ ਪੂਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪੂਰੀ ਨਹੀਂ ਹੋ ਜਾਂਦੀ।
(b) ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਪੜਾਅ 'ਤੇ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਇਕੱਠੇ ਰਹਿੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਫਿਲਮ ਬੇਸ ਦੇ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਹਿੱਸਿਆਂ ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਪਰਤ ਜਾਂ ਫਿਲਮ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਬੇਸ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਣ, ਜਿਸਨੂੰ "ਸੂਡੋ-ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਪਰਤ" ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਬਣਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਫਿਲਮ ਦੇ ਅਡੈਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੁਧਾਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।
(2) ਚੰਗੀਆਂ ਲਪੇਟਣ ਵਾਲੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ। ਇੱਕ ਕਾਰਨ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ ਉੱਚ ਦਬਾਅ ਹੇਠ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਕਈ ਵਾਰ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਜੋ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਆਇਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਆਲੇ-ਦੁਆਲੇ ਖਿੰਡੇ ਜਾ ਸਕਣ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ ਬਿਜਲੀ ਖੇਤਰ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਅਧੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਪੂਰਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਨਾਲ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਪਰ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ ਇਸ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਨਹੀਂ ਕਰ ਸਕਦੀ।
(3) ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਈ ਫਿਲਮ 'ਤੇ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਨਾਲ ਲਗਾਤਾਰ ਬੰਬਾਰੀ ਕਾਰਨ ਸੰਘਣੇਪਣ ਦੇ ਥੁੱਕਣ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕੋਟਿੰਗ ਪਰਤ ਦੀ ਘਣਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
(4) ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਚੋਣ ਨੂੰ ਧਾਤੂ ਜਾਂ ਗੈਰ-ਧਾਤੂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ 'ਤੇ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
(5) ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ (CVD) ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਇਸਦਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ ਘੱਟ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 500°C ਤੋਂ ਘੱਟ, ਪਰ ਇਸਦੀ ਅਡੈਸ਼ਨ ਤਾਕਤ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾਂ ਫਿਲਮਾਂ ਨਾਲ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਤੁਲਨਾਯੋਗ ਹੈ।
(6) ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ, ਤੇਜ਼ ਫਿਲਮ ਨਿਰਮਾਣ, ਅਤੇ ਦਸਾਂ ਨੈਨੋਮੀਟਰਾਂ ਤੋਂ ਮਾਈਕਰੋਨ ਤੱਕ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਕੋਟਿੰਗ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਹਨ: ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਕੰਟਰੋਲ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ; ਜਦੋਂ ਬਰੀਕ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਨੁਕਸਾਂ ਦੀ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ; ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਗੈਸਾਂ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋ ਜਾਣਗੀਆਂ, ਜੋ ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਗੁਣਾਂ ਨੂੰ ਬਦਲ ਦੇਣਗੀਆਂ। ਕੁਝ ਮਾਮਲਿਆਂ ਵਿੱਚ, ਕੈਵਿਟੀਜ਼ ਅਤੇ ਨਿਊਕਲੀਅਸ (1 nm ਤੋਂ ਘੱਟ) ਵੀ ਬਣਦੇ ਹਨ।

ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਦੇ ਸੰਬੰਧ ਵਿੱਚ, ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਿਧੀ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਹੈ। ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਦੇ ਸੰਬੰਧ ਵਿੱਚ, ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਗਈਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਨੇੜੇ ਜਾਂ ਬਿਹਤਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।