ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ
(3) କମ୍ ଶକ୍ତି ସ୍ପଟରିଂ। ଟାର୍ଗେଟରେ ପ୍ରୟୋଗ ହେଉଥିବା କମ୍ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ଯୋଗୁଁ, ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ନିକଟବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ଥାନରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ଆବଦ୍ଧ ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଲୋକଙ୍କ ପାଖରେ ଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଚାର୍ଜ କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ବାଧା ଦେଇଥାଏ। ତେଣୁ, ଚାର୍ଜ୍ ହୋଇଥିବା କଣିକା ବୋମାମାଡ଼ ଦ୍ୱାରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଯେପରିକି ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣର କ୍ଷତିର ପରିମାଣ ଅନ୍ୟ ସ୍ପଟରିଂ ପଦ୍ଧତି ଦ୍ୱାରା ହେଉଥିବା କ୍ଷତି ତୁଳନାରେ କମ୍।
(୪) ନିମ୍ନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ସ୍ପଟରିଂ ହାର ଅଧିକ, କାରଣ ଅଞ୍ଚଳ ମଧ୍ୟରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରରେ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅର୍ଥାତ୍, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତାର ଏକ ଛୋଟ ସ୍ଥାନୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ମଧ୍ୟରେ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ରନୱେ ଅଧିକ, ଯେତେବେଳେ କ୍ଷେତ୍ର ବାହାରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ ପ୍ରଭାବରେ, ବିଶେଷକରି ନିକଟବର୍ତ୍ତୀ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠର ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରଠାରୁ ଦୂରରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ବହୁତ କମ୍ ବିସ୍ତାର ହେତୁ, ଏବଂ ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ସ୍ପଟରିଂ ଅପେକ୍ଷା ମଧ୍ୟ କମ୍ ହୋଇପାରେ (କାରଣ ପରିମାଣର କ୍ରମର ଦୁଇଟି କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଗ୍ୟାସ୍ ଚାପ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ)। ତେଣୁ, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ପରିସ୍ଥିତିରେ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ବୋମାମାଡ଼ କରୁଥିବା ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ଗୁଡ଼ିକର ସାନ୍ଦ୍ରତା ସାଧାରଣ ଡାଏଡ୍ ସ୍ପଟରିଂ ତୁଳନାରେ ବହୁତ କମ୍, ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ଘଟଣା ସଂଖ୍ୟା ହ୍ରାସ ହେତୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରାରେ ଅତ୍ୟଧିକ ବୃଦ୍ଧି ଏଡାଇ ଦିଆଯାଇଥାଏ। ଏହା ବ୍ୟତୀତ, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ପଦ୍ଧତିରେ, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଡିଭାଇସର ଆନୋଡ୍ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ନିକଟବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ଥାନର ଚାରିପାଖରେ ଅବସ୍ଥିତ ହୋଇପାରିବ, ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଧାରକକୁ ମଧ୍ୟ ଭୂମିହୀନ ଏବଂ ସସପେନସନ୍ ପୋଟେନସିଆଲ୍ ହୋଇପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ଗୁଡ଼ିକ ଭୂମିହୀନ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଧାରକ ଦେଇ ଯାଇ ଆନୋଡ୍ ଦେଇ ପ୍ରବାହିତ ହୋଇପାରିବେ ନାହିଁ, ଯାହା ଫଳରେ ପ୍ଲେଟେଡ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବୋମାମାଡ଼ କରୁଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ହ୍ରାସ ପାଇବ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଦ୍ୱାରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପ ବୃଦ୍ଧି ହ୍ରାସ ପାଇବ, ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଦ୍ୱିତୀୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବୋମାମାଡ଼କୁ ବହୁ ପରିମାଣରେ ହ୍ରାସ କରିବ ଯାହା ଫଳରେ ଉତ୍ତାପ ଉତ୍ପାଦନ ହୁଏ।
(୫) ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ଅସମାନ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍। ପାରମ୍ପରିକ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟରେ, ଏକ ଅସମାନ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ବ୍ୟବହାର, ତେଣୁ ପ୍ଲାଜମା ଏକ ସ୍ଥାନୀୟ ଅଭିସରଣ ପ୍ରଭାବ ସୃଷ୍ଟି କରିବ, ସ୍ପଟରିଂ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ହାରର ସ୍ଥାନୀୟ ସ୍ଥିତି ଉପରେ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳକୁ ଉତ୍ତମ କରିବ, ଫଳସ୍ୱରୂପ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଅସମାନ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ଉତ୍ପାଦନ କରିବ। ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ବ୍ୟବହାର ହାର ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରାୟ 30%। ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ବ୍ୟବହାର ହାର ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ, ଆପଣ ବିଭିନ୍ନ ଉନ୍ନତିମୂଳକ ପଦକ୍ଷେପ ନେଇପାରିବେ, ଯେପରିକି ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ଆକୃତି ଏବଂ ବଣ୍ଟନକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା, ଯାହା ଫଳରେ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ କ୍ୟାଥୋଡରେ ଚୁମ୍ବକ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଗତିବିଧି ଇତ୍ୟାଦି।
ଚୁମ୍ବକୀୟ ସାମଗ୍ରୀ ଲକ୍ଷ୍ୟକୁ ସ୍ପଟର କରିବାରେ କଷ୍ଟକର। ଯଦି ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ଉଚ୍ଚ ଚୁମ୍ବକୀୟ ପାରଗମ୍ୟତା ସହିତ ଏକ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି ହୋଇଥାଏ, ତେବେ ଚୁମ୍ବକୀୟ ବଳର ରେଖା ସିଧାସଳଖ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ଭିତର ଦେଇ ଗତି କରି ଏକ ଚୁମ୍ବକୀୟ ସର୍ଟ-ସର୍କିଟ୍ ଘଟଣା ଘଟିବ, ଯାହା ଫଳରେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ନିର୍ଗମନ କଷ୍ଟକର ହେବ। ସ୍ଥାନ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ, ଲୋକମାନେ ବିଭିନ୍ନ ଅଧ୍ୟୟନ କରିଛନ୍ତି, ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଭିତରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ପରିପୂର୍ଣ୍ଣ କରିବା ପାଇଁ, ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରେ ଅନେକ ଫାଙ୍କ ଛାଡି ଚୁମ୍ବକୀୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା ବୃଦ୍ଧିର ଅଧିକ ଲିକେଜ୍ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ, କିମ୍ବା ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ଚୁମ୍ବକୀୟ ପାରଗମ୍ୟତା ହ୍ରାସ କରିବାକୁ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୦୧-୨୦୨୩