1. Kjennetegn ved elektronstrøm fra lysbue
Tettheten av elektronstrøm, ionestrøm og høyenergiske nøytrale atomer i lysbueplasma generert av lysbueutladning er mye høyere enn for glødeutladning. Det er flere ioniserte gassioner og metallioner, eksiterte høyenergiatomer og forskjellige aktive grupper i beleggsrommet, som spiller en viktig rolle i oppvarmings-, rengjørings- og beleggstadiene i beleggprosessen. Virkningsformen til lysbueelektronstrøm er forskjellig fra ionestrålen, og ikke alle konvergerer til en "stråle", men for det meste i en divergerende tilstand, så det kalles lysbueelektronstrøm. Fordi lysbueelektroner strømmer mot anoden, rettes lysbueelektronstrømmen dit den positive elektroden til lysbuestrømforsyningen er koblet til, og anoden kan være et arbeidsstykke, en hjelpeanode, en digel osv.
2. Metode for å generere bueelektronstrøm
(1) Gasskilden genererer elektronstrøm fra lysbuen: lysbuestrømmen for hulkatodeutladning og varmtrådslysbueutladning kan nå omtrent 200A, og lysbuespenningen er 50–70V.
(2) Fast kilde genererer elektronstrøm fra en bue: katodebuekilde, inkludert liten buekilde, sylindrisk buekilde, rektangulær plan stor buekilde, osv. Buestrømmen for hver katodebuekildeutladning er 80–200 A, og buespenningen er 18–25 V.
Elektronstrømmen med høy tetthet og lav energi i to typer bueutladningsplasmaer kan generere intens kollisjonsionisering med gass- og metallfilmatomer, og dermed oppnå flere gasioner, metallioner og forskjellige høyenergiske aktive atomer og grupper, og dermed forbedre den totale aktiviteten til filmlagionene.
–Denne artikkelen ble publisert av Guangdong Zhenhua, enprodusent av vakuumbeleggsmaskiner
Publiseringstid: 31. mai 2023